一种定量卸料装置的制作方法

本实用新型涉及定量卸料装置，尤其涉及一种CVD排气系统的定量卸料装置。

背景技术：

CVD是ChemicalVaporDeposition的简称，是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术最初是作为涂层的手段而开发的，但不只应用于耐热物质的涂层，而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等，是一个颇具特征的技术领域。

CVD的装置由气化部分、载气精练部分、反应部分和排除气体处理部分所构成。此系统中的排气经过设备端POU装置处理后排气中会带有大量的粉尘，粉尘堆积在制程排气的风管中会严重影响整个排气系统的工作效率，粉尘堆积严重时会因为影响了排气压力及排气量导致设备无法正常运转使得制程中的设备发生当机，所以需要一种将粉尘排除的定量卸料装置。

市场存在的此类定量卸料装置主要有以下几种：1、依靠电机及减速机进行配合传动，致使阀门体积及占用安装空间过大；2、若使叶片间歇运转，则需要不停切换电机的启停，易造成电机的损坏；3、无密封机构，导致阀门漏风量较大。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有定量卸料装置的缺点，提供一种通过机械结构来实现定量卸料的装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种定量卸料装置，包括卸料室，所述卸料室设置有进料口和出料口，所述卸料室内设置有贯穿所述卸料室的中心轴，所述中心轴的外侧带有多个分隔叶片，所述分隔叶片呈辐射状等圆心角的分布在所述中心轴上，所述中心轴一端突出所述卸料室，在所述中心轴的突出部分连接间歇传动机构，所述间歇传动机构包括连接在所述中心轴上的从动轮和连接有动力源的主动轮，所述从动轮上开设有多个通孔槽，所述通孔槽的开口位置在相邻两片所述分隔叶片的圆周方向的中心位置，所述主动轮包括底盘和设置在底盘上的销，主动轮转动，当所述销进入所述通孔槽时，主动轮带动从动轮转动，当所述销离开所述通孔槽时，从动轮停止转动。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括任一两个所述通孔槽之间的扇形面外侧开设有曲面，所述主动轮的低盘上设置有与底盘连接为一体的偏心盘，所述偏心圆的圆弧与所述曲面相匹配。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片的数量、所述通孔槽的数量、所述曲面的数量相同。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片、通孔槽和曲面的数量均为6个。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片远离中心轴的一端延伸至与所述卸料室的内壁相接触。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述分隔叶片远离中心轴的一端的边缘贴有密封胶条。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述密封胶贴为EPDM密封条。

本实用新型一个较佳实施例中，进一步包括所述进料口和所述出料口均设置有与所述卸料室匹配的收口。

本实用新型的定量卸料装置，在使用过程中主要依靠外部间歇运动机构进行调节，使得分隔叶片始终可以间歇性可调节的进行转动，保证每次卸料量均匀；且边缘密封设计，保证卸料过程中系统中的风压稳定。

附图说明

图1是本实用新型的一种定量卸料装置的结构示意图。

图2是本实用新型的一种定量卸料装置的卸料室内的结构图。

图3是本实用新型的一种定量卸料装置的间歇传动机构的结构示意图。

其中：1-进料口，2-卸料室，21-中心轴，22-分隔叶片，23-间歇传动结构，231-从动轮，2311通孔槽，2312-曲面，232-主动轮，2321-底盘，2322偏心盘，2323-销，24-密封条，3-出料口，4-收口。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

实施例

如图1所示，本实施例公开了一种定量卸料装置，其特征在于，包括卸料室2，所述卸料室设置有进料口1和出料口3，所述卸料室2内设置有贯穿所述卸料室的中心轴21，所述中心轴21的外侧带有若干分隔叶片22，所述分隔叶片22呈辐射状等圆心角的分布在所述中心轴21上，每个分隔叶片22远离中心轴的一端均能够抵接到卸料室2内壁上，所述分隔叶片22外侧贴有密封胶条24，保证了接触处的密封性，从而保证了整个装置的密封性，保证卸料过程中的风压稳定，所述中心轴21一端突出所述卸料室2，在所述中心轴21的突出部分连接间歇传动机构23，所述间歇传动机构23带动所述中心轴21转动，所述间歇传动结构23包括连接在所述中心轴21上的从动轮和连接有动力源的主动轮，所述从动轮上开设有多个通孔槽2311，所述通孔槽2311的开口位置在相邻两片所述分隔叶片22的圆周方向的中心位置，该设计保证在所述间歇传动机构23中所述从动轮232停止转动时，所述空腔能够正对所述进料口1和出料口3，在两个所述通孔槽2311之间的扇形面外侧开设有曲面2312，所述主动轮232包括底盘2321、与底盘2321连接为一体的偏心盘2322和嵌设在所述底盘上的销2323，主动轮232转动，当所述销2323进入所述通孔槽2311时，主动轮232带动从动轮231转动，当所述销2323离开所述通孔槽2311时，所述曲面2312与所述偏心盘2322的圆弧相匹配，从动轮231停止转动，同时能够对从动轮231起到限位作用，防止从动轮231转动。

其中，所述分隔叶片22的数量、所述通孔槽2311的数量、所述曲面2322的数量相同，该设计能够保证一个间歇传动机构2的卸料周期对应一个由两块分隔叶片22形成的空腔。

在本实施例中，优选地，设置有所述分隔叶片22、通孔槽2311和曲面2322的数量均为6个，所述分隔叶片22将所述卸料室2分隔为6个部分，首先驱动装置驱动所述主动轮232转动，所述销2323进入所述从动轮231中的通孔槽2311中，带动所述从动轮231运动，所述从动轮231通过中心轴21带动所述分隔叶片22转动，当旋转60°后，所述销2323脱离所述从动轮231中的通孔槽2311，所述偏心盘2322的圆弧与所述曲面2312相匹配，此时所述从动轮231停止转动，所述进料口1的料卸到所述卸料室2，当主动轮232旋转一周后，所述销2323再次进入到所述通孔槽2311中，重复之前过程。这样就实现了驱动装置在不停机的情况下，通过外部机械结构完成每次均匀卸料的要求。

优选地，所述密封胶贴24为EPDM密封条，此材料密封条具有良好的抗氧化性和耐腐蚀性。

优选地，所述进料口1和所述出料口3均设置有与所述卸料室2匹配的收口4。

以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。