硅片抽离装置的制作方法

文档序号:18428017发布日期:2019-08-13 21:20阅读:241来源:国知局
硅片抽离装置的制作方法

本实用新型涉及一种硅片出盒装置,尤其涉及一种硅片抽离装置。



背景技术:

现市面上硅片出盒是通过人工操作从料盒上一片一片的取出硅片,再将硅片置于输送线上输送至厚道工序。

在生产操作中,因为人力无法完全把控,会导致工人对硅片的作用力不稳定,当用力过度时极易产生硅片的破损,造成资源的浪费,另一方面,通过人力将硅片从料盒中取出已经不能满足日益增加的生产节奏的需求。



技术实现要素:

为了能够实现自动化的硅片抽离,实现较快的硅片出盒效率,本实用新型的技术方案提供了一种硅片抽离装置。技术方案如下:

第一方面,本实用新型提供了一种硅片抽离装置,包括至少一个料盒升降部与至少一个硅片分离部,料盒升降部包括料盒承载部与升降动力装置,升降动力装置带动料盒承载部做升降动作,硅片分离部包括硅片输送带与带动输送带运动的输送动力装置,硅片输送带与料盒承载部在水平面上的投影具有相互嵌入的部分。

通过硅片分离部从料盒升降部上的料盒中抽出硅片同时通过料盒升降部将同一个料盒中的另一片硅片置于硅片分离部上,从而实现了在料盒升降部不断下降的同时硅片分离部能不断的分离料盒中的硅片,进而让料盒中的硅片不间断的被取走的,实现了硅片抽离的自动化生产,节约了人力成本的同时加快了生产效率。

在第一方面的第一种可能的实现方式中,硅片抽离装置还包括料盒供给线和空料盒出料线,料盒供给线与硅片分离部安装在料盒升降部两侧,空料盒出料线安装在料盒供给线正下方。

通过料盒供给线和空料盒出料线的设置配合硅片分离部,实现了带硅片料盒的自动上料和取完硅片的料盒的自动出料,进一步加大了硅片取出部位的自动化程度,进一步加快了生产效率。

结合第一方面或第一方面的第一种可能的实现方式,在第一方面的第二种可能的实现方式中,升降动力装置为伺服电机与滚珠丝杠副的配合安装。

通过伺服电机与滚珠丝杠副的配合设置,实现了料盒升降部稳定微量的下降或升起,提高了升降行程精度,保证硅片不会被压碎在硅片分离部上,从而提高了硅片出盒的稳定性。

结合第一方面或第一方面的第二种可能的实现方式,在第一方面的第三种可能的实现方式中,料盒承部包括料盒输送带和带动料盒输送带运动的输送带动力装置。

结合第一方面至第一方面的第三种可能的实现方式,在第一方面的第四种可能的实现方式中,硅片分离部靠近料盒升降部的位置设有感应器。

通过感应器的设置,使得硅片分离部能够在料盒到位时进行自动的分离操作,避免了硅片分离部在料盒未曾到位时做大量的无用分离操作,节约了生产资源的同时增加了硅片出盒的自动化程度。

结合第一方面至第一方面的第四种可能的实现方式,在第一方面的第五种可能的实现方式中,硅片分离部与料盒升降部均设有八个,硅片分离部与料盒升降部一一对应设置。

通过八个硅片分离部和料盒升降部的设置,可以实现八个料盒同时抽取硅片,提升了装置的物料消化效率并增加了物料输出量。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成说明书的一部分,示出了符合本实用新型的实施例,并与说明书一起用于解释本发明的原理,其中:

图1为本实用新型一种实施方式所示的硅片抽离装置的俯视图;

图2为本实用新型另一种实施例中所示的硅片抽离装置的俯视图;

图3为本实用新型的实施例中一种带料盒供给线和空料盒出料线的硅片抽离装置的立体结构示意图;

图4为图3中去除料盒供给线的硅片抽离装置的立体结构示意图;

图5为硅片料盒的立体结构示意图。

具体实施方式

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本实用新型。此外,本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母,这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外,本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

现市面上硅片出盒是通过人工操作从料盒上一片一片的取出硅片,再将硅片置于输送线上输送至厚道工序。

在生产操作中,因为人力无法完全把控,会导致工人对硅片的作用力不稳定,当用力过度时极易产生硅片的破损,造成资源的浪费,另一方面,通过人力将硅片从料盒中取出已经不能满足日益增加的生产节奏的需求。

为了能够实现自动化的硅片抽离,实现较快的硅片出盒效率,本实用新型提供了一种硅片抽离装置,技术方案如下:

下面根据附图1至图5对本实用新型做进一步详细说明。

如图5所示,每个硅片料盒中设有多层空缺,每层空缺里装有一片硅片,硅片抽取时将硅片面朝下,将料盒置于料盒升降部1即可。

如图1所示,一种硅片抽离装置,包括至少一个料盒升降部1与至少一个硅片分离部2,料盒升降部1包括料盒承载部11与升降动力装置12,升降动力装置12带动料盒承载部11做升降动作,硅片分离部2包括硅片输送带21与带动输送带运动的输送动力装置22,硅片输送带21与料盒承载部11在水平面上的投影具有相互嵌入的部分。

通过硅片分离部2从料盒升降部1上的料盒中抽出硅片同时通过料盒升降部1将同一个料盒中的另一片硅片置于硅片分离部2上,从而实现了在料盒升降部1不断下降的同时硅片分离部2能不断的分离料盒中的硅片,进而让料盒中的硅片不间断的被取走的,实现了硅片抽离的自动化生产,节约了人力成本的同时加快了生产效率。

为了进一步的提高硅片取出的自动化程度,如图3和图4所示,硅片抽离装置还包括料盒供给线3和空料盒出料线4,料盒供给线3与硅片分离部2安装在料盒升降部1两侧,空料盒出料线4安装在料盒供给线3正下方。

如图3和图4所示,料盒承载部11包括料盒输送带111和带动料盒输送带111运动的输送带动力装置112,其中输送带动力装置112可以为伺服电机,这里对电机的种类不加以限制,料盒输送带111与输送带动力装置112通过同步带连接。

为了实现料盒升降部1稳定微量的下降或升起,提高升降行程精度,保证硅片不会被压碎在硅片分离部2上,升降动力装置12设置为伺服电机与滚珠丝杠副的配合安装,从而提高了硅片出盒的稳定性。

进一步的,硅片分离部2靠近料盒升降部1的位置设有感应器211。

通过感应器211的设置,使得硅片分离部2能够在料盒到位时进行自动的分离操作,避免了硅片分离部2在料盒未曾到位时做大量的无用分离操作,节约了生产资源的同时增加了硅片出盒的自动化程度。

其中感应器211可以为漫反射式光电传感器,也可为接近开关,在此不做过多解释。

如图2所示,硅片分离部2与料盒升降部1均设有八个,硅片分离部2与料盒升降部1一一对应设置。

通过八个硅片分离部2和料盒升降部1的设置,可以实现八个料盒同时抽取硅片,提升了装置的物料消化效率并增加了物料输出量。

除非另作定义,此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语不代表任何顺序,数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。同样“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“一端”、“另一端”仅表示相对的位置关系,当被描述的对象的绝对位置关系改变后,则该想对应的位置关系也相应的改变。另外文中所讲的“至少一个”包括一个、两个或两个以上。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里发明的实用新型后,将容易想到本实用新型的其它实施方案。本申请旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化,这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本实用新型的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的,本实用新型的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是,本实用新型并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构,并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本实用新型的范围仅由所附的权利要求来限制。

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