处理液容置装置的制作方法

本实用新型涉及一种处理液容置装置，特别涉及一种可以避免处理液被漏液污染，且可以立即检知漏液的处理液容置装置。

背景技术：

在保存半导体制程所需的化学药液时，通常会将化学药液存放在具有冷却功效的处理液槽中，以避免化学药液受到高温影响而变质。如图1所示，一般的处理液槽900具有一槽体910和一u型的冷却液管920。槽体910用来存放化学药液。u型的冷却液管920的两端连接槽体910的顶部，冷却液管920内部设有冷却液；如此一来，槽体910内的化学药液可接触冷却液管920表面而降温。

然而，u型的冷却液管920和槽体910的顶部的连接点可能因为熔接不确实或强度不足，使得冷却液管920和槽体910顶部的连接点逐渐松脱而造成漏液，让槽体910内的化学药液浓度改变而影响制程良率；另外，连接点松脱而造成的漏液往往无法立即被检知，故无法及时通报工作人员来维修处理液槽900。

因此，有必要提供一种可以避免化学药液被漏液污染，并且可以立即检知漏液的处理液槽。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种可以避免处理液被漏液污染，且可以立即检知漏液的处理液容置装置。

为达成上述的目的，本实用新型的一种处理液容置装置包括一槽体、一防漏单元和一冷液传输单元。槽体容置一处理液。防漏单元设置于槽体上侧。冷液传输单元供一冷却液流通，冷液传输单元包括一管体组、一第一固定端以及一第二固定端，管体组设置于槽体内，第一固定端以及第二固定端为管体组两侧且和防漏单元连接。当冷却液由第一固定端或第二固定端中的至少之一泄漏时，冷却液流至防漏单元。

根据本实用新型的一实施例，其中管体组包括多个子管体，冷液传输单元还包括一间隔板，间隔板包括多个穿孔。多个穿孔相互间隔。多个子管体穿设于多个穿孔中，以使冷却液流过多个子管体时，提高多个子管体与处理液的一冷热交换面积。

根据本实用新型的一实施例，其中防漏单元包括一第一隔离槽以及一第二隔离槽，第一固定端设置于第一隔离槽且和一冷却液供应管连通，第二固定端设置于第二隔离槽且和一冷却液排出管连通。

根据本实用新型的一实施例，其中管体组环绕状地设置于槽体内，以使管体组具有至少一相交点。

根据本实用新型的一实施例，其中防漏单元包括一第一液体检测件以及一第二液体检测件，第一液体检测件设置于第一隔离槽，第二液体检测件设置于第二隔离槽，以各自检测判断第一固定端和第二固定端是否发生漏液。

根据本实用新型的一实施例，其中防漏单元包括一第一排液管以及一第二排液管，第一排液管和第一隔离槽连通，第二排液管和第二隔离槽连通；当冷却液由第一固定端或第二固定端中的至少一者泄漏时，冷却液自第一排液管或第二排液管排出。

根据本实用新型的一实施例，其中防漏单元包括一第三液体检测件以及一第四液体检测件，第三液体检测件设置于第一排液管外侧，第四液体检测件设置于第二排液管外侧，以各自检测判断第一固定端和第二固定端是否发生漏液。

根据本实用新型的一实施例，其中第一排液管和第一隔离槽的一第一侧壁连通，第二排液管和第二隔离槽的一第二侧壁连通。第一排液管和第一隔离槽的一连通处与第一隔离槽的一底壁相距一第一高度，第一侧壁包括供管体组穿设的一第一开口，第一开口与第一隔离槽的底壁相距一第二高度，第一高度小于第二高度。第二排液管和第二隔离槽的一连通处与第二隔离槽的一底壁相距一第三高度，第二侧壁包括供管体组穿设的一第二开口，第二开口与第二隔离槽的底壁相距一第四高度，第三高度小于第四高度。

根据本实用新型的一实施例，其中防漏单元包括一气体供应管，气体供应管分别和第一隔离槽以及第二隔离槽连通并提供一气体，使第一隔离槽以及第二隔离槽的气压大于槽体的气压。

根据本实用新型的一实施例，其中设置于槽体部分的管体组以水平方向穿入第一侧壁以及第二侧壁，第一固定端以及第二固定端分别设置于第一侧壁以及第二侧壁，使设置于第一隔离槽以及第二隔离槽部分的管体组呈现水平，以使冷却液自第一固定端或第二固定端中的至少一者泄漏时，不会沿着管体组流至槽体。

根据本实用新型的一实施例，其中设置于槽体部分的管体组以倾斜方向穿入第一侧壁以及第二侧壁，第一固定端以及第二固定端分别设置于第一侧壁以及第二侧壁，使设置于第一隔离槽以及第二隔离槽部分的管体组呈现倾斜，以使冷却液自第一固定端或第二固定端中的至少一者泄漏时，不会沿着管体组流至槽体。

通过本实用新型的处理液容置装置的设计，可以用低温的方式保存处理液，并且让漏液隔离于隔离槽内并流出至外部，防止漏液流入槽体，以避免槽体内的处理液被漏液的冷却液污染，且处理液容置装置可以立即检知漏液，以通报工作人员维修。

附图说明

图1为现有技术的处理液槽的示意图。

图2为本实用新型的第一实施例的处理液容置装置的示意图。

图3为本实用新型的第一实施例的处理液容置装置的部分剖面图。

图4为本实用新型的第一实施例的子管体和间隔板的示意图。

图5为本实用新型的第二实施例的处理液容置装置的示意图。

其中，附图标记：

处理液槽900槽体910

冷却液管920

处理液容置装置1、1a槽体10

防漏单元20、20a第一隔离槽21、21a

第一侧壁211第一开口2111

第二隔离槽22、22a第二侧壁221

第二开口2211第一液体检测件23

第二液体检测件24第一排液管25

第二排液管26第三液体检测件27

第四液体检测件28气体供应管29

冷液传输单元30、30a管体组31、31a

子管体311相交点312

第一固定端32第二固定端33

间隔板34穿孔341

冷却液供应管800冷却液排出管900

冷却液c第一高度h1

第二高度h2第三高度h3

第四高度h4处理液l

流出方向m、n

具体实施方式

为能更了解本实用新型的技术内容，特举较佳具体实施例说明如下。

以下请一并参考图2至图4关于本实用新型的第一实施例的处理液容置装置。图2为本实用新型的第一实施例的处理液容置装置的示意图；图3为本实用新型的第一实施例的处理液容置装置的部分剖面图；图4为本实用新型的第一实施例的子管体和间隔板的示意图。

如图2和图3所示，在本实用新型的第一实施例中，处理液容置装置1可以用低温的方式保存处理液l，并且避免处理液l被漏液的冷却液c污染，且可以立即检知漏液。处理液容置装置1包括一槽体10、一防漏单元20和一冷液传输单元30。

在本实用新型的第一实施例中，槽体10容置一处理液l。防漏单元20用以容纳漏液的冷却液c，以防止冷却液c流入槽体10而污染处理液l。防漏单元20设置于槽体10上侧。防漏单元20包括一第一隔离槽21、一第二隔离槽22、一第一液体检测件23、一第二液体检测件24、一第一排液管25、一第二排液管26、一第三液体检测件27、一第四液体检测件28和一气体供应管29。

第一隔离槽21和第二隔离槽22用以容纳漏液的冷却液c，以使冷却液c和处理液l隔离。第一隔离槽21包括一第一侧壁211，其为环绕第一隔离槽21的底壁的长方管状壁面。第二隔离槽22包括一第二侧壁221，其为环绕第二隔离槽22的底壁的长方管状壁面。第一侧壁211包括供冷液传输单元30穿设的一第一开口2111。第二侧壁221包括供冷液传输单元30穿设的一第二开口2211。气体供应管29分别和第一隔离槽21以及第二隔离槽22连通并提供一气体，使第一隔离槽21以及第二隔离槽22的气压大于槽体10的气压。

第一液体检测件23设置于第一隔离槽21内，并且可以检测到液体。第二液体检测件24设置于第二隔离槽22内，并且可以检测到液体。第一液体检测件23和第二液体检测件24可通过检测液体的功能而各自判断是否发生漏液。第一排液管25和第一隔离槽21的第一侧壁211连通，第一排液管25用以让漏液的冷却液c流出至外部。第二排液管26和第二隔离槽22的第二侧壁221连通，第二排液管26用以让漏液的冷却液c流出至外部。第三液体检测件27设置于第一排液管25外侧，并且可以检测到液体是否从第一排液管25流出。第四液体检测件28设置于第二排液管26外侧，并且可以检测到液体是否从第二排液管26流出。第三液体检测件27和第四液体检测件28用以各自检测判断是否发生漏液；在本实用新型中，第一液体检测件23、第二液体检测件24、第三液体检测件27和第四液体检测件28可电性连接至一外部计算机(图未示)，以便在检测到发生漏液时，传输通知至外部计算机以警示工作人员。

如图2和图3所示，第一排液管25和第一隔离槽21的一连通处与第一隔离槽21的底壁相距一第一高度h1，第一开口2111与第一隔离槽21的底壁相距一第二高度h2，第一高度h1小于第二高度h2；因此，若发生漏液，且第一隔离槽21内的冷却液c的高度达到第一高度h1时，冷却液c便会沿着流出方向m流至外部，冷却液c的高度不会达到第二高度h2故不会从第一开口2111流至槽体10。第二排液管26和第二隔离槽22的一连通处与第二隔离槽22的底壁相距一第三高度h3，第二开口2211与第二隔离槽22的底壁相距一第四高度h4，第三高度h3小于第四高度h4；因此，若发生漏液，则当第二隔离槽22内的冷却液c的高度达到第三高度h3时，冷却液c便会沿着流出方向n流至外部，冷却液c的高度不会达到第四高度h4故不会从第二开口2211流至槽体10。

在本实用新型的第一实施例中，如图2至图4所示，冷液传输单元30供一冷却液c流通，以使接触到冷液传输单元30表面的处理液l降温。冷液传输单元30包括一管体组31、一第一固定端32、一第二固定端33和一间隔板34。管体组31包括多个子管体311。设置于槽体10内的部分的管体组31的两端以水平方向分别穿设第一开口2111和第二开口2211。管体组31环绕状地设置于槽体10内，以使环绕的管体组31具有至少一相交点312；环绕状的设置方式可以让管体组31的各个子管体311不会过度弯折而产生折角，如此一来可以确保冷却液c的流通平稳滑顺，且可避免子管体311因过度弯折而破损。

第一固定端32以及第二固定端33为管体组31两侧，第一固定端32设置于第一隔离槽21的第一侧壁211且和一冷却液供应管800连通，第二固定端33设置于第二隔离槽22的第二侧壁221且和一冷却液排出管900连通；第一固定端32和第二固定端33的设置方式使设置于第一隔离槽21以及第二隔离槽22部分的管体组31呈现水平，以使冷却液c自第一固定端32或第二固定端33中的至少一者泄漏时，不会沿着管体组31流至槽体10，冷却液c会流至防漏单元20的第一隔离槽21或第二隔离槽22，且冷却液c会自第一排液管25或第二排液管26排出。

间隔板34包括多个穿孔341，多个穿孔341相互间隔。多个子管体311穿设于多个穿孔341中，因此多个子管体311可以彼此相距一定距离而不会互相接触，以提升多个子管体311的表面积(即为与处理液l的一冷热交换面积)；因此，当冷却液c流过多个子管体311时，可通过多个子管体311与处理液l之间的较佳的冷热交换面积，而提高冷却效率。

当用户需要运用处理液容置装置1来储存处理液l时，如图2和图3所示，使用者可以先将处理液l置于槽体10内，再通过冷却液供应管800输入冷却液c至冷液传输单元30的第一固定端32；冷却液c会沿着管体组31流动，并且使管体组31周围的处理液l降温，以确保处理液l不会因为温度而变质。最后冷却液c会从第二固定端33流出至冷却液排出管900。

若是第一固定端32和第二固定端33中的至少之一发生漏液，则冷却液c会流至对应的防漏单元20的第一隔离槽21或第二隔离槽22，且冷却液c会自第一排液管25或第二排液管26排出。第一液体检测件23可以通过检测第一隔离槽21内是否有液体，或是第三液体检测件27可以通过检测是否有液体从第一排液管25流出，而实时判断第一固定端32是否发生漏液；第二液体检测件24也可以通过检测第二隔离槽22内是否有液体，或是第四液体检测件28可以通过检测是否有液体从第二排液管26流出，而实时判断第二固定端33是否发生漏液；如此一来，检测到漏液的检测件会实时通知外部计算机，以告知工作人员来维修。

以下请一并参考图5关于本实用新型的第二实施例的处理液容置装置。图5为本实用新型的第二实施例的处理液容置装置的示意图。

如图5所示，本实用新型的第二实施例与第一实施例的差别在于，在第二实施例的处理液容置装置1a中，设置于槽体10部分的冷液传输单元30a的管体组31a以倾斜方向穿入第一侧壁211以及第二侧壁221。第一固定端32以及第二固定端33分别设置于第一侧壁211以及第二侧壁221；第二实施例的第一固定端32和第一侧壁211的连接高度低于第一实施例的第一固定端32和第一侧壁211的连接高度，第二实施例的第二固定端33和第二侧壁221的连接高度低于第一实施例的第二固定端33和第二侧壁221的连接高度；如此一来，可以使设置于防漏单元20a的第一隔离槽21a以及第二隔离槽22a内的部分的管体组31a呈现倾斜，以使冷却液c自第一固定端32或第二固定端33中的至少一者泄漏时，不会沿着管体组31a流至槽体10。

通过本实用新型的处理液容置装置1、1a的设计，可以用低温的方式保存处理液，并且让漏液隔离于隔离槽内并流出至外部，防止漏液流入槽体，以避免槽体内的处理液被漏液的冷却液污染，且处理液容置装置1、1a可以立即检知漏液，以通报工作人员维修。

需注意的是，上述仅为实施例，而非限制于实施例。譬如此不脱离本实用新型基本架构者，皆应为本专利所主张的权利范围，而应以权利要求的保护范围为准。