一种真空存储柜的真空系统的制作方法

1.本发明涉及真空存储柜领域，具体是一种真空存储柜的真空系统。


背景技术：

2.在电子产品生产领域，真空存储柜是常见的生产加工设备之一，适用于半导体、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件等电子产品的真空存贮，以达到防潮、防氧化的目的。
3.现有的大部分真空存储柜，其存储腔室通常为一个整体的密闭腔室，将不同的电子产品放置在此腔室内进行统一存储，当需要取出部分电子产品而开启柜门时，极易窜入空气，破坏柜内的真空环境，给其他电子产品的正常存储造成干扰，甚至会影响一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的防潮、防氧化效果。
4.虽然也有部分的真空存储柜，将其存储腔室划分成了相互独立的若干个密闭腔室，以达到独立存储，避免相互干扰的目的。但是，在放入电子产品后，通常对所有的密闭腔室进行统一的抽真空，使得每个密闭腔室内的真空度保持一致，然而不同的电子产品对所处密闭腔室的真空环境的要求并不相同，例如一些较为精密的电子产品对真空环境的要求较高，显然，此种真空存储柜不能满足对不同电子产品进行存储的需要。另外，对于此种真空存储柜，无论腔室内是否有存储有电子产品，均与存储有电子产品的其他密闭腔室同时进行抽真空，造成了资源的浪费。


技术实现要素：

5.本发明的目的是为了克服现有技术存在的缺陷和不足，提供一种真空存储柜的真空系统，在能够进行独立存储、避免相互干扰的前提下，来满足不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求，来避免因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费，并满足一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。
6.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
7.一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体和设置于箱体内的控制器，其特征在于：所述箱体内的前侧分别设有相互独立的若干个腔室，每个腔室的前侧分别敞口并分别安装有密封门，每个腔室的侧壁上均设有二个安装孔，所述的二个安装孔内分别对应安装有用于检测腔室内有无电子产品的光电开关和用于检测腔室内真空度的真空计；每个腔室的侧壁上均设有第一抽真空接口和第二抽真空接口，所述的第一抽真空接口和第二抽真空接口分别对应连接有第一高真空挡板阀和第二高真空挡板阀；
8.所述的箱体内分别设置有粗抽真空管路和精抽真空管路，所述的粗抽真空管路一方面与每个腔室上的第一高真空挡板阀之间分别对应连接有第一抽气管路，另一方面连接有粗抽泵，所述的精抽真空管路一方面与每个腔室上的第二高真空挡板阀之间分别对应连接有第二抽气管路，另一方面连接有精抽泵；
9.所述的控制器一方面分别与所述光电开关和真空计电连接，另一方面分别与所述
第一高真空挡板阀、第二高真空挡板阀、粗抽泵和精抽泵电连接。
10.进一步的，所述的若干个腔室中，一部分腔室为大腔室，另一部分腔室为小腔室。
11.进一步的，所述的密封门通过把手式压紧锁安装在所在腔室的前侧，密封门的内侧在与所在腔室的敞口端相接触的部位连接有环形密封条。
12.进一步的，所述的箱体内在所述若干个腔室的后方固定有支撑架，所述的粗抽真空管路和精抽真空管路均呈横向设置并固定在所述支撑架上。
13.进一步的，所述的第一抽气管路包括有相连接的第一不锈钢波纹管和第一不锈钢管，所述的第一不锈钢波纹管与相对应的第一高真空挡板阀相连接，所述的第一不锈钢管与所述粗抽真空管路相连接；所述的第二抽气管路包括有相连接的第二不锈钢波纹管和第二不锈钢管，所述的第二不锈钢波纹管与相对应的第二高真空挡板阀相连接，所述的第二不锈钢管与所述精抽真空管路相连接。
14.进一步的，所述的粗抽泵采用涡旋泵，所述的精抽泵采用分子泵。
15.进一步的，所述粗抽泵和精抽泵的供电回路中均连接有继电器，所述的控制器与所述继电器电连接。
16.进一步的，所述的继电器采用常开型继电器。
17.进一步的，所述的控制器采用plc。
18.与现有技术相比，本发明的有益效果是：
19.1、本发明设置相互独立的若干个腔室，在能够进行独立存储、避免相互干扰的前提下，每个腔体可独立的进行抽真空，使得各腔室能够达到不同的真空度，能够提供不同的真空环境，满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求。
20.2、本发明设置光电开关，能够检测所在腔室内有无电子产品，且进一步通过控制器与真空泵(粗抽泵和精抽泵)实现联动，避免了因某个或某些腔室内无电子产品而仍与其他腔室进行抽真空所造成的资源浪费。
21.3、本发明采用粗抽泵、精抽泵以及相应的高真空挡板阀和管路对腔室进行抽真空处理，在粗抽使得腔室内的真空度达到10pa后立即开始精抽，在真空度达到10-3
pa后停止粗抽而继续进行精抽，使得腔室内的最终真空度可达10-5
pa，满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。
附图说明
22.图1为本发明外部结构示意图。
23.图2为本发明内部结构示意图。
24.图3为本发明中单个腔室的抽真空部分结构示意图。
25.图4为本发明电气控制原理框图。
具体实施方式
26.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
27.参见图1-4，一种真空存储柜的真空系统，包括有箱体1和设置于箱体1内的控制器2，箱体1内的前侧分别设有相互独立的若干个腔室3，每个腔室的前侧分别敞口并分别安装有密封门4，每个腔室的侧壁上均设有二个安装孔，二个安装孔内分别对应安装有用于检测腔室内有无电子产品(主要包括半导体、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件，下同)的光电开关5和用于检测腔室内真空度的真空计6；每个腔室的侧壁上均设有第一抽真空接口7和第二抽真空接口8，第一抽真空接口7和第二抽真空接口8 分别对应连接有第一高真空挡板阀9和第二高真空挡板阀10；
28.箱体1内分别设置有粗抽真空管路11和精抽真空管路12，粗抽真空管路11一方面与每个腔室上的第一高真空挡板阀9之间分别对应连接有第一抽气管路13，另一方面连接有粗抽泵14，精抽真空管路12一方面与每个腔室上的第二高真空挡板阀10之间分别对应连接有第二抽气管路15，另一方面连接有精抽泵16；
29.控制器2一方面分别与光电开关5和真空计6电连接，另一方面分别与第一高真空挡板阀9、第二高真空挡板阀10、粗抽泵14和精抽泵16电连接。
30.本发明中，若干个腔室3中，一部分腔室为大腔室，另一部分腔室为小腔室。
31.需要说明的是，若干个腔室3的具体数量需要根据实际使用需要和箱体1的体积大小进行确定，在此不做限定；当然出于节约成本、减少占用空间和现有的电子产品越来越小型化、集成化等方面考虑，箱体1的体积通常较小，因此若干个腔室3的具体数量通常为 10～20个，其宽度、深度和高度通常为200～300mm。若干个腔室3中大腔室和小腔室的数量比例也需要根据实际使用需要进行确定，在此不做限定；而大腔室与小腔室的高度通常相当，大腔室与小腔室的宽度或深度之间的差值通常在100mm以内。
32.本发明中，密封门4通过把手式压紧锁17安装在所在腔室的前侧，密封门4的内侧在与所在腔室的敞口端相接触的部位连接有环形密封条18。
33.由此，能够便于密封门4的开启和关闭，并能够实现对密封门4的有效锁紧和保证密封效果。
34.本发明中，箱体1内在若干个腔室的后方固定有支撑架19，粗抽真空管路11和精抽真空管路12均呈横向设置并固定在支撑架19上。
35.由此，能够便于对粗抽真空管路11和精抽真空管路12进行固定，且能够充分利用箱体1内的空间。
36.本发明中，第一抽气管路13包括有相连接的第一不锈钢波纹管131和第一不锈钢管132，第一不锈钢波纹管131与相对应的第一高真空挡板阀9相连接，第一不锈钢管 132与粗抽真空管路11相连接；第二抽气管路15包括有相连接的第二不锈钢波纹管151 和第二不锈钢管152，第二不锈钢波纹管151与相对应的第二高真空挡板阀10相连接，第二不锈钢管152与精抽真空管路12相连接。
37.由此，一方面能够便于布管，有利于不同抽气管路之间的相互错位，避免相互干扰；另一方面能够保证各抽气管路具有足够的强度，以适应抽真空作业。
38.本发明中，粗抽泵14采用涡旋泵，具有结构简单、体积小、不占用空间、扬程高等特点，能够满足进行粗抽真空作业的需要；精抽泵16采用分子泵，具有抽速大、抽气时间短、效率高等特点，使得各腔室能够获得无油污染的清洁真空环境，能够满足进行精抽真空作业的需要。
39.本发明中，粗抽泵14和精抽泵16的供电回路中均连接有继电器20，控制器2与继电器20电连接。
40.相应的，继电器采用常开型继电器。
41.本发明中，控制器2采用plc。
42.以下结合附图对本发明作进一步的说明：
43.本发明箱体1的材质为q235a，具有较高的强度和良好的机械性能；若干个腔室 3的材质为sus304，具有较高的强度和良好的耐腐蚀、抗氧化性能，可根据实际使用需要在各腔室内配备用于承托电子产品的支架、托盘等。
44.使用时，开启密封门4，打开对应的腔室(以下称为此腔室)，将需要存储的电子产品放置于此腔室内，然后关闭密封门4，锁紧把手式压紧锁17；光电开关5检测到此腔室内有电子产品，并向控制器2发送信号。
45.控制器2接收到信号后向粗抽泵14的供电回路中所连接的继电器发出控制指令(电平信号，下同)，此继电器吸合，粗抽泵14的供电回路导通，开启工作，对此腔室进行粗抽真空作业；真空计6在粗抽真空作业过程中实时检测此腔室内的真空度，将检测得到的数据发送至控制器2。
46.当此腔室内的压力由正常大气压下降至10pa时，控制器2向精抽泵16的供电回路中所连接的继电器发出控制指令，此继电器吸合，精抽泵16的供电回路导通，开启工作，对此腔室进行精抽真空作业；同样，真空计6在精抽真空作业过程中实时检测此腔室内的真空度，将检测得到的数据发送至控制器2，在真空度达到10-3
pa后，控制器2向粗抽泵14的供电回路中所连接的继电器发出控制指令，此继电器断开，粗抽泵14停止工作，即停止粗抽真空作业，而继续进行精抽真空作业，在真空度达到10-5
pa后，控制器2向精抽泵16的供电回路中所连接的继电器发出控制指令，此继电器断开，精抽泵16停止工作，即停止精抽真空作业，整个抽真空作业完成。
47.在进行粗抽真空作业或精抽真空作业过程中，控制器2控制第一高真空挡板阀9或第二高真空挡板阀10开启；在粗抽真空作业或精抽真空作业完成后，控制器2则控制第一高真空挡板阀9或第二高真空挡板阀10关闭，由此能够避免粗抽与精抽真空作业之间相互干扰，并有效维持此腔室内的真空度。
48.虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
49.故以上所述仅为本申请的较佳实施例，并非用来限定本申请的实施范围；即凡依本申请的权利要求范围所做的各种等同变换，均为本申请权利要求的保护范围。