一种气悬浮运输装置的制作方法

本实用新型涉及运输装置领域，具体涉及一种适用于光伏、面板、玻璃等高要求清洁度的板式物料传输行业的气悬浮运输装置。

背景技术：

目前光伏行业内的硅片传输普遍使用皮带式传输结构，皮带传输硅片存在以下两大问题：

1、硅片与皮带直接接触，在加速或减速的时候容易与皮带产生摩擦，造成划痕；

2、由于两根皮带传输，会存在不同步的问题，在硅片薄片化的趋势下，容易造成硅片碎片。

技术实现要素：

为了至少解决上述现有技术中存在的问题之一，本申请提供一种气悬浮运输装置，能实现硅片等板料气悬浮加速或/和减速的传输效果。

为了实现上述技术效果，本实用新型的具体技术方案如下：

一种气悬浮运输装置，包括长条形载板，所述载板的长度方向即为硅片的传输方向；所述载板顶面上等间距设置若干个出气机构，所述载板内部设有向上述出气机构供气的供气管路；

其中，出气机构包括圆形凹盘，所述凹盘通过一竖直穿过凹盘圆心的侧挡板被分为相同构造的两侧，该侧挡板与载板的长度方向垂直，所述侧挡板顶端水平固定有与凹盘同圆心设置的圆形压气板，位于侧挡板两侧的所述压气板底面均设有内凹的导气槽，所述导气槽顶面为一半圆平面、侧面为向外倾斜的平直面；

供气管路包括第一进气口、第二进气口，第一进气口通过第一总管连通有数量对应于出气机构个数的第一支管，上述各第一支管均分布于侧挡板同一侧的凹盘下方；第二进气口通过第二总管连通有数量对应于出气机构个数的第二支管，上述各第二支管均分布于侧挡板另一侧的凹盘下方；上述第一支管、第二支管分别通过竖直向上的通气管向上排气，上述通气管分别正对着相应一侧的导气槽。假定第一进气口及相关的供气管路、出气机构是用于硅片的正常传输推动，当加大通过第一进气口的压缩空气时，便可实现对硅片的加速；当第一进气口及相关的供气管路、出气机构在对硅片进行正常推动时，此时同时通过第二进气口及相关的供气管路、出气机构输入一定条件的压缩空气，便可实现对硅片的减速。

进一步地，位于侧挡板两侧的所述凹盘，其底面也为一半圆平面、侧面为向上翻起的圆弧形曲面。经过供气管路最终从通气管向上排出的压缩空气，压缩空气的气路：首先是碰撞到导气槽，在导气槽的作用下压缩空气转为向下倾斜流动，并且流速加快；然后压缩空气贴着凹盘的半圆平面水平流动，最后贴着向上翻起的圆弧形曲面向外冲出来顶起硅片并推动或减速硅片的移动；其中，压缩空气的流动路径由导气槽和凹盘的表面形状决定，压缩空气最终向外冲出的路径及角度由圆弧形曲面决定，这样的设计一方面使得压缩空气有一小部分用于顶起硅片，使硅片处于悬浮状态，同时压缩空气中的大部分是用于推动或减速硅片，相比于其他的倾斜的平直面或内凹的圆弧形曲面，我们把决定最终压缩空气向外冲出的路径及角度的凹盘侧面形状设计为向上翻起的圆弧形曲面，经多次试验发现，由于该设计中大部分压缩空气的流向更贴近水平方向，在提供同样的压缩空气下，硅片的传输速度更快，使得硅片的传输效率更高。

进一步地，所述圆弧形曲面与载板顶面相交的点的斜率在tan15°—tan30°之间。在该角度限制下，相比于其他角度，在提供同样的压缩空气下，硅片的传输速度相对更快，使得硅片的传输效率更高。

进一步地，所述压气板的最底端不高于载板顶面。

依据上述技术方案，本装置通过设置的出气机构、供气管路，能实现硅片等板料悬浮传输的效果，避免硅片等与其他装置直接接触，在传输的过程中能很好地保护硅片。

附图说明

下面通过具体实施方式结合附图对本申请作进一步详细说明。

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为图1中a-a向剖面图；

图3为图2中的局部a放大图；

图4为本实用新型由载板顶面往下看的一剖视图；

图5为本实用新型载板内的供气管路示意图；

其中，1、载板；2、凹盘；21、凹盘底面；22、凹盘侧面；3、侧挡板；4、压气板；5、导气槽；51、导气槽顶面；52、导气槽侧面；6、第一进气口；7、第二进气口；8、第一总管；9、第一支管；10、第二总管；11、第二支管；12、通气管。

具体实施方式

为使本实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实施方式中的附图，对本实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上端”、“下端”、“尾端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例

一种气悬浮运输装置，包括长条形载板1，所述载板1的长度方向即为硅片的传输方向；所述载板1顶面上等间距设置若干个出气机构，所述载板1内部设有向上述出气机构供气的供气管路；

其中参考图1、图2，出气机构包括圆形凹盘2，所述凹盘2通过一竖直穿过凹盘圆心的侧挡板3被分为相同构造的两侧，该侧挡板3与载板1的长度方向垂直，所述侧挡板3顶端水平固定有与凹盘2同圆心设置的圆形压气板4，位于侧挡板3两侧的所述压气板4底面均设有内凹的导气槽5，导气槽顶面51为一半圆平面、导气槽侧面52为向外倾斜的平直面；所述压气板4的最底端不高于载板1顶面。

参考图4、图5，供气管路包括第一进气口6、第二进气口7，第一进气口6通过第一总管8连通有数量对应于出气机构个数的第一支管9，上述各第一支管9均分布于侧挡板3同一侧的凹盘2下方；第二进气口7通过第二总管10连通有数量对应于出气机构个数的第二支管11，上述各第二支管11均分布于侧挡板3另一侧的凹盘2下方；上述第一支管9、第二支管11分别通过竖直向上的通气管12向上排气，上述通气管12分别正对着相应一侧的导气槽5。假定第一进气口6及相关的供气管路、出气机构是用于硅片的正常传输推动，当加大通过第一进气口6的压缩空气时，便可实现对硅片的加速；当第一进气口6及相关的供气管路、出气机构在对硅片进行正常推动时，此时同时通过第二进气口7及相关的供气管路、出气机构输入一定条件的压缩空气，便可实现对硅片的减速。

其中，位于侧挡板3两侧的所述凹盘2，凹盘底面21也为一半圆平面、凹盘侧面22为向上翻起的圆弧形曲面。经过供气管路最终从通气管12向上排出的压缩空气，其中压缩空气的气路参见图3中的带箭头的虚线：首先是碰撞到导气槽5，在导气槽5的作用下压缩空气转为向下倾斜流动，并且流速加快；然后压缩空气贴着凹盘2的半圆平面水平流动，最后贴着向上翻起的圆弧形曲面向外冲出来顶起硅片并推动或减速硅片的移动；其中，压缩空气的流动路径由导气槽5和凹盘2的表面形状决定，压缩空气最终向外冲出的路径及角度由圆弧形曲面决定，这样的设计一方面使得压缩空气有一小部分用于顶起硅片，使硅片处于悬浮状态，同时压缩空气中的大部分是用于推动或减速硅片，相比于其他的倾斜的平直面或内凹的圆弧形曲面，我们把决定最终压缩空气向外冲出的路径及角度的凹盘侧面22形状设计为向上翻起的圆弧形曲面，经多次试验发现，由于该设计中大部分压缩空气的流向更贴近水平方向，在提供同样的压缩空气下，硅片的传输速度更快，使得硅片的传输效率更高。

另外，参见图3，所述圆弧形曲面与载板1顶面相交的点的切线与水平线之间的夹角为α，则该点的斜率为tanα，将该点的斜率限制在tan15°—tan30°之间。在该角度限制下，相比于其他角度，在提供同样的压缩空气下，硅片的传输速度相对更快，使得硅片的传输效率更高。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。