一种加强型晶圆片托架的制作方法

文档序号:23911844发布日期:2021-02-09 17:34阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种加强型晶圆片托架,包括晶圆片上料设备,其特征在于:还包括连接杆(1)、托架(2)和橡胶保护层(3),所述连接杆(1)的一端连接托架(2),所述连接杆(1)的另一端连接晶圆片上料设备,所述托架(2)的一端与连接杆(1)连接,所述橡胶保护层(3)与托架(2)形状一致,所述橡胶保护层(3)的设置在托架(2)的表面。2.根据权利要求1所述一种加强型晶圆片托架,其特征在于:所述连接杆(1)呈长方体状,所述连接杆(1)的一端贯穿托架(2)的一端设置在托架(2)一端的内部,所述连接杆(1)与托架(2)连接且可拆卸状态。3.根据权利要求2所述一种加强型晶圆片托架,其特征在于:所述托架(2)的前端设有两个长支架(201)和两个短支架(202),两个长支架(201)设置在托架(2)前端的中间,两个短支架(202)设置在托架(2)前端且位于两个长支架(201)的两侧。
当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1