一种加强型晶圆片托架的制作方法

[0001]
本实用新型涉及晶圆片上料设备技术领域，尤其是涉及一种加强型晶圆片托架。


背景技术：

[0002]
晶圆片托架是用来将转运花篮中晶圆片运输至晶圆片上料设备内，现有技术中的晶圆片托架直径过小，在运输晶圆片时可能会使晶圆片受力面积过小，造成晶圆片的两端产生形变，导致晶圆片无法使用。


技术实现要素：

[0003]
本实用新型的目的在于提供一种加强型晶圆片托架，以解决背景技术中的技术问题。
[0004]
本实用新型提供一种加强型晶圆片托架，包括晶圆片上料设备，还包括连接杆、托架和橡胶保护层，所述连接杆的一端连接托架，所述连接杆的另一端连接晶圆片上料设备，所述托架的一端与连接杆连接，所述橡胶保护层与托架形状一致，所述橡胶保护层的设置在托架的表面。
[0005]
进一步的，所述连接杆呈长方体状，所述连接杆的一端贯穿托架的一端设置在托架一端的内部，所述连接杆与托架连接且可拆卸状态。
[0006]
进一步的，所述托架的前端设有四个支架，四个支架呈两长两短状，两个长支架设置在托架前端的中间，两个短支架设置在托架前端且位于两个长支架的两侧。
[0007]
与现有技术相比较，本实用新型的有益效果在于：
[0008]
其一，本实用新型托架的前端设有两个长支架和两个短支架，两个长支架设置在托架前端的中间，两个短支架设置在托架前端且位于两个长支架的两侧，两个长支架和两个短支架能够使托架在进行取料时让晶圆片在运输时的受力面积增大且不会与晶圆片上料设备进行碰撞，还可以使晶圆片的两端不会造成形变，以解决现有技术中的晶圆片托架直径过小，在运输晶圆片时可能会使晶圆片受力面积过小，造成晶圆片的两端产生形变，导致晶圆片无法使用的情况。
[0009]
其二，本实现新型增加了橡胶保护层，橡胶保护层设置在托架的表面，橡胶保护层用于包裹托架，橡胶保护层包裹托架后，托架在运输晶圆片时可以使晶圆片在托架上不会造成磨损或者损伤。
附图说明
[0010]
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0011]
图1为本实用新型的立体结构示意图；
[0012]
图2为本实验新型的装配图；
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附图标记：连接杆1、托架2、橡胶保护层3、长支架201、短支架202。
具体实施方式
[0014]
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0015]
通常在此处附图中描述和显示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。
[0016]
基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0017]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0018]
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0019]
下面结合图1至图2所示，本实用新型实施例提供了一种加强型晶圆片托架，包括晶圆片上料设备，还包括连接杆1、托架2和橡胶保护层3，所述连接杆1的一端与托架2连接，所述连接杆1的另一端连接晶圆片上料设备，所述连接杆1用于连接托架2和晶圆片上料设备，所述连接杆1配合晶圆片上料设备能使托架2在晶圆片晶圆片上料设备上移动，才能使托架2进行取料动作，所述托架2的一端与连接杆1连接，所述托架2用于运输晶圆片，与现有技术相比，本实用新型托架2的前端设有两个长支架201和两个短支架202，两个长支架201设置在托架2前端的中间，两个短支架202设置在托架2前端且位于两个长支架201的两侧，两个长支架201和两个短支架202能够使托架2在进行取料时让晶圆片在运输时的受力面积增大且不会与晶圆片上料设备进行碰撞，还可以使晶圆片的两端不会造成形变，所述橡胶保护层3与托架2形状一致，所述橡胶保护层3设置在托架2的表面，所述橡胶保护层3用于包裹托架2，橡胶保护层3包裹托架2后，托架2在运输晶圆片时可以使晶圆片在托架2上不会造成磨损或者损伤。
[0020]
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。