一种晶圆挂具的制作方法

文档序号:24779352发布日期:2021-04-21 05:53阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种晶圆挂具,包括第二挂板(15),其特征在于:所述第二挂板(15)的上端设置有第一挂板(1),所述第一挂板(1)的前端面设置有条形孔(3),所述第二挂板(15)的下端设置有圆形孔(13),所述第二挂板(15)的前端面设置有放置盒(11),所述放置盒(11)的上端设置有盖板(10),所述放置盒(11)的上端面设置有放置室(19),所述放置盒(11)的上端靠近放置室(19)设置有凹槽(17),所述放置室(19)的内壁滑动连接有分隔板(18),所述第一挂板(1)的前端面固定连接有第一固定板(4),所述第一固定板(4)的上端面螺纹连接有螺纹杆(2),所述螺纹杆(2)的一端固定连接有调节帽(5),所述螺纹杆(2)的另一端固定连接有压板(20)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆挂具,其特征在于:所述压板(20)的外表面固定连接有固定垫(6),所述压板(20)的数量为四个。3.根据权利要求1所述的一种晶圆挂具,其特征在于:所述第一挂板(1)的前端面固定连接有限位条(8),所述限位条(8)的数量为两个,所述限位条(8)之间固定连接有卡板(7),所述限位条(8)的内壁靠近卡板(7)设置有卡槽。4.根据权利要求1所述的一种晶圆挂具,其特征在于:所述盖板(10)的上端固定连接有把手(9),所述盖板(10)的下端设置有密封板(12),所述密封板(12)滑动连接有凹槽(17)。5.根据权利要求4所述的一种晶圆挂具,其特征在于:所述密封板(12)和盖板(10)为一体连接,所述盖板(10)的数量为十六个。6.根据权利要求1所述的一种晶圆挂具,其特征在于:所述第二挂板(15)和第一挂板(1)为一体连接,所述第二挂板(15)的两侧端均固定连接有加强条(14),所述加强条(14)的数量为两个。7.根据权利要求1所述的一种晶圆挂具,其特征在于:所述放置盒(11)的外表面固定连接有第二固定板(16),所述第二固定板(16)的底端固定连接有第二挂板(15)。
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