一种离子注入机的注入数据实时处理与保存方法
【专利摘要】本发明阐述了一种离子注入机晶片注入时采集的数据实时处理和保存方法，其特征在于离子注入机注片时数据采集的实时性、数据保存的简洁性、数据计算结果的准确性、存储数据的可查性。整个流程包括：1、设备运行状态数据实时更新。2、晶片完成单次注入。3、采集数据并保存至队列数组中。4、判断晶片所有注入是否完成。5、数据进行类型转换。6、对起始值、终止值、设置值进行统计。7、对最大值、最小值、平均值、均分值进行计算。8、统计值和计算值按次序合并，并保存至数据库。9、调用数据库，把合并的数据分解成各个独立的数据。10、解析数据判断晶片注入情况。通过上述这些处理，最终完成晶片注入情况信息保存，以便其它程序调用这些数据对晶片注入情况进行分析。
【专利说明】
一种离子注入机的注入数据实时处理与保存方法
技术领域
[0001]本发明是一种软件技术，涉及离子注入机的数据采集、数据处理、数据计算、数据保存的方法，属于半导体器件制造的软件领域。
【背景技术】
[0002]半导体集成电路制造工艺已经发展到12英寸晶片、纳米技术节点阶段。随着晶圆尺寸越来越大，单元器件尺寸越来越小，对半导体工艺设备的性能要求也越来越高。离子注入机是半导体集成电路器件制造工艺中必不可少的关键设备。为了确保离子注入机注入晶片的可靠性和稳定性，确保注入晶片的工艺符合设计要求，必须在注入晶片的过程中采集大量的实时数据，通过对这些数据进行分析与计算，可以判断出该注入晶片是否达到工艺要求；或者当注入晶片没有达到工艺要求时可通过查找当时采集的数据记录解析出当时设备运行的故障原因。
[0003]鉴于晶片注入时的数据实时采集、处理、计算、保存的重要性，一种离子注入机的注入数据实时处理和保存的最优方法是离子注入机自动化控制急需解决的问题。
[0004]离子注入机的注入数据实时处理和保存的最优方法需要考虑数据采集的实时性、采集数据量大小的不确定性、数据的各种运算、数据存储方式等要求。且数据的各种处理与存储还不能影响晶片的注入。
【发明内容】
[0005]本发明主要是为了离子注入机在晶片注入时对实时数据采集并对这些数据进行处理和保存的一种方法。
[0006]本发明通过以下技术方案实现:
[0007]1、当晶片注入前会有一个晶片注入次数的计算，每完成一次注入程序就采集一次最新实时数据，并把各种采集数据保存在相应对列中，每种数据对应一个队列参数。
[0008]2、当晶片注入完成后，对队列中的数据类型进行转换，使其所有数据类型都为浮点型以便于进行相关计算。
[0009]3、对每种数据队列中的所有数据进行统计(起始值、终止值、设置值)和运算(最大值、最小值、平均值、均分值)，并把统计值和计算值转换成字符串型，然后按一定次序合并。
[0010]4、合并的所有字符串数据保存到数据库中，当调用这些数据时再按照合并时的次序解析出来并在相应界面上显示以供进行数据分析。
[0011]本发明具有如下显著优点:
[0012]1、数据采集的实时性。
[0013]2、数据处理与存储的简洁性。
[0014]3、数据计算结果的准确性。
[0015]4、数据记录的随时可查性。
【具体实施方式】
[0016]下面结合具体实施例对本发明作进一步详细描述，但不作为对本发明专利限定。
[0017]如图所示，注入机在注入晶片时，所有相关设备运行状态数据都是定时更新的，晶片注入时间是随着剂量大小的变化而变化的，设备在晶片注入的过程中状态可能会发生变化，所以在单次注入完成后系统实时采集设备的各种数据至队列中。
[0018]该晶片完成所有注入后就对所有采集的数据进行处理，包括数据统计(起始值、终止值、相关参数的设置值)和计算(采集参数的最大值、最小值、平均值、均分值)。每个队列数据的统计值和计算值数据比较多，而且各种数据种类也很多的，如果把这些数据不进行处理都保存在数据库中，则数据库的表单设计量将会很大，且数据存储量也会很大，程序编写量将大大增加。所以把每种数据的统计值与计算值进行处理，合并成一个字符串类型的数据，然后再进行保存。这样数据库的表单设计列数可以大大减少，而且也更加容易管理。程序编写量也大为减少。
[0019]当要调用数据库中的这些数据进行分析时，则对合并后的数据进行分解，解析成各个独立的数据，这样工作人员就能对这些数据进行分析了，大大提高了程序的工作效率。
【附图说明】
[0020]图1为离子注入机的注入数据实时处理和保存方法流程图。
[0021]本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不违背本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
【主权项】
1.该离子注入机的注入数据实时处理与保存方法的特征在于:无论晶片注入的时间有多长，注入的次数有多少，采集的数据总量有多大，都能把所有数据实时采集起来，并进行处理。确保数据采集和处理的实时性和准确性。2.该离子注入机的注入数据实时处理与保存方法的特征在于:无论晶片注入次数有多少，都不会增加数据采集参数的数量，即采集的数据都保存在相应参数队列中；并且统计结果和计算结果最终合并成一个字符串的数据形式进行保存，不会增加数据库的表单列数。所以数据保存是非常简洁的。3.该离子注入机的注入数据实时处理与保存方法的特征在于:采集的所有数据当该晶片注入完成时及时进行处理和计算，确保采集计算结果的准确性。4.该离子注入机的注入数据实时处理与保存方法的特征在于:采集的数据是保存在数据库中，用户随时可以查找历史数据来分析当时晶片注入情况，通过这些数据可以判断注入晶片是否达到工艺要求或者当时是否出现故障情况。即这些数据是随时可查可分析的。
【文档编号】G06F17/30GK105893379SQ201410788949
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2014年12月18日
【发明人】王玮琪
【申请人】北京中科信电子装备有限公司