一种离子注入机的照明连锁装置的制造方法
【专利摘要】一种离子注入机的照明连锁装置。包括主电路和控制电路。该装置特征在于，照明可以实现连锁控制。打开任意门，都能使照明灯亮，只有关闭所有门，才能使照明灯灭。节能方便，不需要照明时，照明灯会自动关闭。说明书对装置进行了详细阐述。
【专利说明】
一种离子注入机的照明连锁装置
技术领域
[0001 ] 本发明涉及离子注入机的一种照明连锁装置。
【背景技术】
[0002]首先随着半导体产业的迅速发展，离子注入机作为其产业的重要一环，在市场的地位越来越大。同时对工艺提出了更高的要求，不仅需要技术更先进，精度更高的设备，还需要更加人性化、更加方便实用的离子注入机。其次，能源问题已经是二十一世纪经济发展的首要问题。任何设备的投入使用都有着严格的耗能指标。离子注入机作为国家重点的高科技装备，更应该在节能的方面起到表率作用。
【发明内容】
[0003]本发明是针对上述现有技术中存在的问题而提出的一种用于离子注入机的照明连锁装置。
[0004]本发明通过以下技术方案实现:
[0005]一种离子注入机的照明连锁装置。包括主电路和控制电路。主电路由断路器(QF)、接触器(KM)和照明灯(LI?L3)组成，通过断路器(QF)和接触器控制主电路的通断，具体连接方式如图1所示。控制回路由行程开关(SQl?SQ5)、继电器(Kl?K5)和24V开关电源组成，通过门动作触发行程开关控制接触器(KM)的通断，具体连接方式如图2所示。
[0006]相对现有技术，本发明所述电路的有益效果在于:
[0007]1.照明可以实现连锁控制。打开任意门，都能使照明灯亮，只有关闭所有门，才能使照明灯灭。
[0008]2.节能方便。不需要照明时，灯会自动关闭。
【附图说明】
[0009]图1:是本发明所述离子注入机的照明连锁装置的主电路图。
[0010]图2:是本发明所述离子注入机的照明连锁装置的控制电路图。
【具体实施方式】
[0011]当操作员开任意门时，门触发行程开关(SQ)的常开触点闭合，中间继电器线圈(K)通电，触点吸合，从而使接触器线圈(KM)通电，触点闭合，主电路通电，照明灯(LI?L3)亮；当操作员关闭所有门时，所有行程开关(SQ)均断开，所有继电器线圈(K)失电，触点均为常开触点，接触器线圈(KM)失电，主电路断开，照明灯(LI?L3)灭。
[0012]本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
【主权项】
1.一种离子注入机的照明连锁装置。包括主电路和控制电路。2.如权利要求1所述的一种照明连锁装置，其特征在于:照明可以实现连锁控制。打开任意门，都能使照明灯亮，只有关闭所有门，才能使照明灯灭。节能方便，不需要照明时，照明灯自动关闭。
【文档编号】H05B37/02GK105898949SQ201410788909
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2014年12月18日
【发明人】马少志
【申请人】北京中科信电子装备有限公司