一种离子注入机的运行数据保存与显示方法
【专利摘要】本发明阐述了一种离子注入机的运行数据保存与显示方法，其特征在于离子注入机运行时产生的大量的各种类型的数据保存与显示时数据信息的可分性，数据信息保存与报警数据信息报警提示的实时性，数据内容、数据来源、历史数据的可查性。该数据处理流程包括：1、生成操作、警告、报警信息。2、信息内容与信息类型、模块来源、生成时间组合。3、信息传送。4、程序界面信息栏信息显示。5、信息解析。6、是否是报警信息。7、信息栏信息显示时报警提示。8、信息内容是否和上一条相同。9、是否是操作信息。10、不同信息按照时序保存至数据库对应表单中。11、程序界面对应表单查询显示。通过上述这些处理，完成离子注入机运行时产生的各种数据保存和显示，同时供其它程序调用这些数据，以便对离子注入机的运行情况进行查询与分析。
【专利说明】
一种离子注入机的运行数据保存与显示方法
技术领域
[0001]本发明是一种软件技术，涉及离子注入机的数据生成、数据处理、数据显示、数据报警、数据保存的方法，属于半导体器件制造的软件领域。
【背景技术】
[0002]半导体集成电路制造工艺已经发展到12英寸晶片、纳米技术节点阶段。随着晶圆尺寸越来越大，单元器件尺寸越来越小，对半导体工艺设备的性能要求也越来越高。离子注入机是半导体集成电路器件制造工艺中必不可少的关键设备。为了确保离子注入机运行时的稳定性和可靠性，确保注入晶片的工艺符合工艺要求，必须时时跟踪离子注入机的运行状态和操作记录，通过这些运行状态和操作记录，可以判断该离子注入机的工作状态是否正常，操作步骤是否符合晶片注入要求，或者有报警信息提示时能及时对设备进行处理。
[0003]鉴于离子注入机的运行数据生成、处理、显示、报警、保存的重要性，一种离子注入机的运行数据保存与显示的最优方法是离子注入机自动化控制急需解决的问题。
[0004]离子注入机的运行数据保存与显示的最优方法需要考虑数据生成的实时性、数据信息的重复性、数据信息同时产生的种类与数量、报警数据信息提示、数据存储的分类等要求。而且数据的处理与存储还不能影响设备的运行，即有大量数据信息处理与存储时程序不能出现卡机等现象。
【发明内容】
[0005]本发明主要是为了离子注入机在运行时对各种数据记录进行保存与显示的一种方法。
[0006]本发明通过以下技术方案实现:
[0007]1、当离子注入机运行产生一条数据信息时，就把该数据信息和相关数据组合并保存至一个数据队列中进行信息传送。当这条组合信息处理并保存完成后则在队列中删除。
[0008]2、每条信息包括信息内容、信息产生时间、信息产生来源等内容。
[0009]3、各类信息解析出来后除了在信息栏显示外，另外告警信息加标识信号进行界面报警提示和声光设备报警的信息传送。
[0010]4、保存至数据库中的运行记录，根据信息种类不同可在对应的表单界面上查询，而且可根据不同时间段和数据来源等条件来查询。
[0011]本发明具有如下显著优点:
[0012]1、数据信息类型的可分性。
[0013]2、数据保存、显示、报警的实时性。
[0014]3、数据记录的随时可查性。
【具体实施方式】
[0015]下面结合具体实施例对本发明作进一步详细描述，但不作为对本发明专利限定。
[0016]如图所示，离子注入机在运行操作时，程序根据运行情况产生操作信息、警告信息、报警信息等数据，有了这些信息，就可以查找设备运行时操作者的操作记录、设备出现故障时的故障记录与故障原因、设备运行的警告记录等记录，这些记录都必须保存至数据库中，且保存数据的过程中还不能影响设备的正常运行，即所有的运行记录产生后都临时保存至数据队列中，数据处理前队列作为临时数据缓冲区来保存这些数据，这样就不会有丢失数据的情况发生。
[0017]当各种信息产生时除了保存至数据库外，还会实时显示在界面信息栏上，且最新数据显示在顶层；当有重复的信息时，程序进行处理:重复的操作信息都保存至数据库中，重复的警告信息和报警信息都只把第一条信息保存至数据库中；当有报警信息产生时，除了在信息显示栏进行特殊处理显示外，同时还给声光设备发送信息触动声光报警，以此来提醒操作者。
[0018]当要把数据信息保存至数据库时，则按数据信息生成的先后次序对队列中的数据信息进行处理，判断数据类型，然后保存至对应表单中，同时删除队列中该条记录，再处理队列中下一条生成的数据信息。因为信息信息有可能同一时间段在不同功能模块中生成很多条，就有可能在同一时间段队列中需要处理和保存的信息有很多条。如果在同一时间段把队列中所有信息都处理并保存完，则有可能会造成程序暂时卡机或影响别的程序段运行，所以需要用时间循环的方式进行数据处理和保存，即每个时间循环只处理并保存一条数据信息。
【附图说明】
[0019]图1为离子注入机的运行数据保存与显示方法流程图。
[0020]本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不违背本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
【主权项】
1.该离子注入机的运行数据保存与显示方法的特征在于:无论离子注入机运行时生成什么类型的数据(操作数据信息、警告数据信息、报警数据信息)，它在保存时都是分类保存的，即每种类型的数据信息保存在对应的表单中，当查询显示时也是在对应的表单中显示查询结果的。在显示时针对报警信息专门在界面信息栏上进行了特别处理。2.该离子注入机的运行数据保存与显示方法的特征在于:无论离子注入机运行时产生多少数据信息，都将及时保存至数据库中，同时报警信息也将及时把报警信号和报警信息反应到界面上。3.该离子注入机的运行数据保存与显示方法的特征在于:保存至数据库中的运行数据信息可根据信息类型、时间段、数据来源等条件进行查询。
【文档编号】G06F17/30GK105893378SQ201410788948
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2014年12月18日
【发明人】王玮琪
【申请人】北京中科信电子装备有限公司