技术总结
本实用新型公开了一种晶圆挂具，包括第二挂板，所述第二挂板的上端设置有第一挂板，所述第一挂板的前端面设置有条形孔，所述第二挂板的下端设置有圆形孔，所述第二挂板的前端面设置有放置盒，所述放置盒的上端设置有盖板，所述放置盒的上端面设置有放置室，所述放置盒的上端靠近放置室设置有凹槽，所述放置室的内壁滑动连接有分隔板，所述第一挂板的前端面固定连接有第一固定板，所述第一固定板的上端面螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端固定连接有调节帽，所述螺纹杆的另一端固定连接有压板。本实用新型中，通过设置放置盒可放置多个晶圆，压板使第一挂板固定在指定位置，配合圆形孔使晶圆挂具平稳放置，实用性增强。实用性增强。实用性增强。
技术研发人员：姬煜 赵通
受保护的技术使用者：江苏无恙半导体科技有限公司
技术研发日：2020.08.27
技术公布日：2021/4/21