一种硅片分类收片方法与流程

1.本发明涉及电池生产领域，具体地说是一种硅片分类收片方法。


背景技术：

2.在将硅片制成电池片之前，首先需要完成对硅片的检测，然后根据检测结果对硅片进行分类收片。传统的硅片分类收片的方式中，首先对硅片进行检测，检测后的硅片经由主输送线向后道输送，在主输送线输送硅片的过程中，将检测所确定的合格片、各类缺陷片分别换向输送至主输送线两侧的对应料盒中，即完成了在主输送线上边输送边收片的流程。
3.上述这种分类收片方式，由于合格片和各类缺陷片均需要经过主输送线进行换向输送，导致合格片的收片速度和缺陷片的收片速度相互制约，因此整体的收片效率较低。


技术实现要素：

4.为了解决上述技术问题，本发明提供了一种硅片分类收片方法，其采用如下技术方案：
5.一种硅片分类收片方法，包括：
6.利用第一输送装置将硅片输送至检测工位；
7.在检测工位对硅片进行检测，根据检测结果将硅片区分为：检测结果满足预定标准的第一类硅片及检测结果不满足预定标准的第二类硅片；
8.利用第一输送装置将第一类硅片输送至第一收片工位处以实施对第一类硅片的收片，第一收片工位位于第一输送装置的输送路径上；
9.将第二类硅片自第一输送装置转运至位于第一输送装置边侧的第二输送装置上；
10.利用第二输送装置将第二类硅片输送至第二收片工位处以实施对第二类硅片的收片，第二收片工位位于第二输送装置的输送路径上。
11.本发明的硅片分类收片方法，将第二类硅片换向至位于第一输送装置边侧的第二输送装置上收片，第一类硅片则直接在第一输送装置上收片，从而使得两类硅片的收片过程互不干涉，最终提升了整体收片效率。
12.在一些实施例中，利用第一输送装置将第一类硅片输送至第一收片工位处以实施对第一类硅片的收片，包括：利用第一输送装置将第一类硅片输送至位于第一收片工位处的料盒内；在第一收片工位处的料盒收满第一类硅片后，将第一收片工位处的满料盒从第一收片工位处移出并将满料盒输送至位于第一收片工位第一侧的收料工位处；若收料工位处的满料盒中的第一类硅片被取出后形成空料盒，将位于收料工位处的被取空的空料盒输送至位于第一收片工位的第二侧的回流工位处，将位于回流工位处的空料盒输送至第一收片工位处。
13.在对第一类硅片进行收片时，实现了料盒在第一收片工位和收料工位之间的循环回流，从而提升了对第一类硅片的收片效率。
14.在一些实施例中，利用第一输送装置将第一类硅片输送至第一收片工位处以实施对第一类硅片的收片，包括：利用第一输送装置将第一类硅片输送至位于第一收片工位处的料盒内；在第一收片工位处的料盒收满第一类硅片后，将第一收片工位处的满料盒从第一收片工位处移出并将满料盒输送至位于第一收片工位第一侧的收料工位处；若收料工位处的满料盒中的第一类硅片未被取出，将位于收料工位处的满料盒输送至位于第一收片工位的第二侧的回流工位处；回流工位处的满料盒中的第一类硅片被取出后形成空料盒，将位于回流工位处的空料盒输送至第一收片工位处。
15.若第一类硅片未在收料工位收取，则可以在回流工位对第一类硅片进行收取，增设收片时机，保证收片效率。在一些实施例中，第一收片工位设置为多个，将位于回流工位处的空料盒输送至第一收片工位处包括：检测各第一收片工位处是否存在料盒；当各第一收片工位处均存在料盒时，将位于回流工位处的空料盒输送至空料盒缓存工位缓存；否则，将位于回流工位处的空料盒输送至任意一个不存在料盒的第一收片工位处，或者，从空料盒缓存工位处取出一个空料盒并将空料盒输送至任意一个不存在料盒的第一收片工位处。
16.通过设置空料盒缓存工位，当各第一收片工位处均存在料盒时，可以将回流的空料盒缓存至空料盒缓存工位处。而当存在空置的第一收片工位，且当前没有空料盒回流时，则能够从空料盒缓存工位处取出空料盒以实施对空置的第一收片工位的空料盒补充，防止收片等待。
17.在一些实施例中，将满料盒输送至位于第一收片工位第一侧的收料工位处包括：检测收料工位处是否存在料盒；当收料工位处存在料盒时，将第一收片工位处的满料盒输送至满料盒缓存工位缓存；否则，将第一收片工位处的满料盒输送至收料工位处，或者，从满料盒缓存工位处取出一个满料盒并将满料盒输送至收料工位处。
18.通过设置满料盒缓存工位，当收料工位处是否存在料盒时，可以将第一收片工位处收满硅片的满料盒缓存至满料盒缓存工位处。而当收料工位空置，且第一收片工位处的料盒当前均未收满硅片时，则能够从满料盒缓存工位处取出满料盒输送至收料工位处，防止收料等待。
19.在一些实施例中，第一输送装置包括若干输送单元，输送单元包括第一输送带和第二输送带，第一输送带和第二输送带之间保留有间隙，第一收片工位位于间隙的下方，第一输送带被配置为能够朝向第一收片工位向下翻转；第一输送装置将第一类硅片输送至第一收片工位处以实施对第一类硅片的收片，包括：第一输送装置将第一类硅片输送至第一收片工位处；控制对应于第一收片工位的输送单元的第一输送带向下翻转，使得承载于第一输送带上的第一类硅片自第一输送带滑落至位于第一收片工位处的料盒内。
20.提供了一种对第一类硅片的收片实现方式，其将第一收片工位设置在翻转输送机构的下方，不需要设置另外的拾取装置或者转运装置，第一类硅片在输送过程中即能自动滑落至收片工位处的料盒内，从而进一步提升了对第一类硅片的收片效率，并降低了收片成本。
21.在一些实施例中，将满料盒从第一收片工位处移出并将满料盒输送至位于第一收片工位第一侧的收料工位处包括：通过设置在第一收片工位处的第一换向机构将满料盒换向至设置在收料输送机构的输送路径上的第二换向机构上；通过第二换向机构将所述满料盒换向至所述收料输送机构上；通过收料输送机构将满料盒输送至收料工位处。
22.通过第一换向机构和第二换向机构的配合，将第一收片工位处的满料盒换向输送至收料输送机构上，并最终通过收料输送机构将满料盒输送至收料工位处。
23.在一些实施例中，将位于收料工位处的被取空的空料盒输送至位于第一收片工位的第二侧的回流工位处包括：通过设置在收料工位处的第三换向机构将空料盒换向至回流工位处。
24.通过设置第三换向机构，将位于收料工位处的被取空的空料盒换向输送至至位于第一收片工位的第二侧的回流工位。
25.在一些实施例中，将位于回流工位处的空料盒输送回第一收片工位处包括：通过设置在回流工位处的第四换向机构将空料盒换向至回流输送机构；通过回流输送机构将空料盒输送至第一收片工位的边侧；通过设置在第一收片工位的边侧的第五换向机构将空料盒换向至第一收片工位处。
26.通过第四换向机构、第五换向机构和回流输送机构的配合，将位于回流工位处的空料盒换向输送至第一收片工位处。
27.在一些实施例中，利用第二输送装置将第二类硅片输送至第二收片工位处以实施对第二类硅片的收片包括：第二输送装置将第二类硅片输送至第二收片工位处；基于预定分档规则将第二类硅片分档收片至不同的存储区内。
28.通过在第二收片工位设置若干存储区，实施对第二类硅片的分档收片。
29.在一些实施例中，第二类硅片被区分为若干子类别，基于预定分档规则将第二类硅片分档收片至不同的存储区包括：根据第二类硅片所属的子类别，将第二类硅片储存至子类别对应的储存区内。
30.通过对第二类硅片进行进一步细分，从而将分属于不同子类别的第二类硅片送至不同的储存区内，从而实现对不同子类别的第二类硅片的分档回收处理。
31.在一些实施例中，硅片分类收片方法还包括：将未获得检测结果的第三类硅片送回至检测工位以实施对第三类硅片的重新检测。
32.实现对获得检测结果的第三类硅片的重新检测。
33.在一些实施例中，在将未获得检测结果的第三类硅片送回至检测工位以实施对第三类硅片的重新检测之前，还包括：将第三类硅片输送至缓存工位处缓存；或者将第三类硅片输送至第二收片工位处并将第三类硅片缓存至一个储存区内。
34.实现了对第三类硅片在重新检测前的缓存，防止第三类硅片与首次检测的硅片之间产生交叉影响。
附图说明
35.图1为本发明的硅片分类收片方法的收片过程示意图；
36.图2为本发明第一实施方式中对第一类硅片的收片过程示意图；
37.图3为本发明第一实施方式中第一输送装置在第一个工作状态下的示意图；
38.图4为本发明第一实施方式中第一输送装置在第一个工作状态下的示意图；
39.图5为本发明第一实施方式中第一输送装置在第一个工作状态下的示意图；
40.图1至图5中包括：
41.第一输送装置10、第二输送装置20、收料输送机构30、回流输送装置40、第一换向
机构50、第二换向机构60、第三换向机构70、第四换向机构80、第五换向机构90、第一输送带11、第二输送带12；
42.检测工位a、第一收片工位b、第一收片工位b
‑
1、第一收片工位b
‑
2、第二收收片工位c；
43.第一类硅片100
‑
1、第二类硅片100
‑
2；
44.料盒201、料盒202。
具体实施方式
45.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
46.传统的硅片分类收片的方式中，合格片和各类缺陷片均需要经过主输送线进行换向输送，导致合格片的收片速度和缺陷片的收片速度相互制约，因此整体的收片效率较低。
47.为了解决传统的硅片收片方式存在的上述缺陷，本发明提供了一种硅片分类收片方法。如图1所示，本发明提供的硅片分类收片方法包括：
48.利用第一输送装置10将硅片输送至检测工位a；
49.在检测工位a对硅片进行检测，根据检测结果将硅片区分为：检测结果满足预定标准的第一类硅片100
‑
1及检测结果不满足预定标准的第二类硅片100
‑
2，如，在一些实施例中，第一类硅片100
‑
1为合格硅片，第二类硅片100
‑
2为不合格硅片。
50.利用第一输送装置10将第一类硅片100
‑
1输送至第一收片工位b处以实施对第一类硅片100
‑
1的收片，其中，第一收片工位b位于第一输送装置10的输送路径上。
51.将第二类硅片100
‑
2自第一输送装置10转运至位于第一输送装置10边侧的第二输送装置20上。可选的，为了提升收片效率，如图1所示，第一输送装置10的两侧均设置有一组第二输送装置20，当然，也可以仅在第一输送装置10的一侧设置一组第二输送装置20。
52.利用第二输送装置20将第二类硅片输送至第二收片工位c处以实施对第二类硅片100
‑
2的收片，其中，第二收片工位c位于第二输送装置20的输送路径上。
53.可见，本发明将第二类硅片100
‑
2换向至位于第一输送装置10边侧的第二输送装置20上收片，第一类硅片100
‑
1则直接在第一输送装置10上收片，从而使得两类硅片的收片过程互不干涉，最终提升了整体收片效率。
54.下面通过各个具体实施方式对本发明提供的技术方案的技术细节进行实例性说明。
55.第一实施方式
56.如图2所示，本实施方式中，利用第一输送装置10将第一类硅片100
‑
1输送至第一收片工位b处以实施对第一类硅片100
‑
1的收片，包括：
57.利用第一输送装置10将第一类硅片100
‑
1输送至位于第一收片工位b处的料盒内。可选的，图2实施例中，共设置有两个第一收片工位，分别为第一收片工位b
‑
1和第一收片工位b
‑
2，第一类硅片100
‑
1被收片至第一收片工位b
‑
1或第一收片工位b
‑
2处的料盒内，当然，在其他实施例中，也可以设置一个、三个等其他数量的第一收片工位。
58.在第一收片工位b
‑
1或第一收片工位b
‑
2处的料盒收满第一类硅片100
‑
1后，将收满硅片的满料盒输送至位于第一收片工位b
‑
1、第一收片工位b
‑
2的第一侧(如左侧)的收料
工位d处；
59.若收料工位d处的满料盒中的第一类硅片100
‑
1被取出后形成空料盒。
60.紧接着，将位于收料工位d处的被取空的空料盒输送至位于第一收片工位b
‑
1、第一收片工位b
‑
2的第二侧(如右侧)的回流工位e处。
61.最后，将位于回流工位e处的空料盒输送回第一收片工位b
‑
1或第一收片工位b
‑
2处。
62.在对第一类硅片100
‑
1进行收片时，实现了料盒在第一收片工位和收料工位e之间的循环回流，从而提升了对第一类硅片100
‑
1的收片效率。
63.若收料工位d处的满料盒中的第一类硅片100
‑
1未被取出，将位于收料工位d处的满料盒输送至位于第一收片工位b
‑
1、第一收片工位b
‑
2的第二侧(如右侧)的回流工位e处；回流工位e处的满料盒中的第一类硅片100
‑
1被取出后形成空料盒，将位于回流工位e处的空料盒输送至第一收片工位b
‑
1或第一收片工位b
‑
2处。
64.若第一类硅片100
‑
1未在收料工位d收取，则可以在回流工位e对第一类硅片100
‑
1进行收取，增设收片时机，保证收片效率。
65.为了使得第一输送装置10上的硅片能够快速至进入至第一收片工位b
‑
1、第一收片工位b
‑
2的料盒内，以实施自动收片。如图3至图5所示，第一输送装置10包括两个输送单元，每个输送单元均包括第一输送带11和第二输送带12，第一输送带11和第二输送带12之间保留有间隙。第一收片工位b
‑
1位于前道的输送单元间隙的下方，第一收片工位b
‑
2位于后道的输送单元间隙的下方。特别的，第一输送带11被配置为能够朝向对应的第一收片工位向下翻转。
66.第一输送装置10将第一类硅片100
‑
1输送至第一收片工位处以实施对第一类硅片100
‑
1的收片，包括：
67.第一输送装置10将第一类硅片100
‑
1输送至第一收片工位处。
68.控制对应于该第一收片工位的输送单元的第一输送带11向下翻转，使得承载于第一输送带11上的第一类硅片100
‑
1自第一输送带11滑落至第一收片工位处的料盒内。
69.如图4所述，其示出了将第一类硅片100
‑
1收片至第一收片工位b
‑
1的过程，具体如下：第一输送装置10将第一类硅片100
‑
1输送至第一收片工位b
‑
1处。
70.控制对应于第一收片工位b
‑
1的前道输送单元的第一输送带11向下翻转，使得承载于前道输送单元的第一输送带11上的第一类硅片100
‑
1滑落至第一收片工位b
‑
1处的料盒201内。
71.如图5所示，其示出了将第一类硅片100
‑
1收片至第一收片工位b
‑
2的过程，具体如下：第一输送装置10将第一类硅片100
‑
1输送至第一收片工位b
‑
2处。
72.控制对应于第一收片工位b
‑
2的后道输送单元的第一输送带11向下翻转，使得承载于后道输送单元的第一输送带11上的第一类硅片100
‑
1滑落至第一收片工位b
‑
2处的料盒202内。
73.考虑到第一输送带11向下倾斜时，第二输送带12可能对下滑中的第一类硅片100
‑
1造成阻挡。因此，可选的，第二输送带12被配置为能够远离第一收片工位向上翻转，从而实现对下滑过程中的第一类硅片100
‑
1的避让。
74.当然，如图3所示，当两个输送单元的第一输送带11、第二输送带12均处于水平状
态时。此时，第一输送装置10可被用作普通的输送机构使用。此时，不需要在第一收片工位处执行收片的其他硅片，如第二类硅片100
‑
2能够顺利地通过第一收片工位。
75.在其他实施例中，第一输送装置10可以设置为包括一个、三个等其他数量的输送单元，对应的，第一输送装置10下设置对应数目的一个、三个等其他数量的第一收片工位。
76.继续参考图2所示，为了实现将满料盒从第一收片工位b
‑
1或第一收片工位b
‑
2处移出，并将满料盒输送至位于第一收片工位b
‑
1、第一收片工位b
‑
2的第一侧的收料工位d处，本实施方式中，第一收片工位b
‑
1、第一收片工位b
‑
2处设置有第一换向机构50。第一输送装置10的第一侧设置有收料输送机构30，收料输送机构30的输送路径上设置有两个第二换向机构60，两个第二换向机构60分别设置在第一收片工位b
‑
1和第一收片工位b
‑
2的第一侧。
77.当第一收片工位b
‑
1、第一收片工位b
‑
2处的料盒收满第一类硅片100
‑
1后，对应位置处的第一换向机构50将满料盒换向至对应的第二换向机构60上。
78.接着，第二换向机构60将满料盒换向至收料输送机构30上，通过收料输送机构30将满料盒输送至收料工位d处。
79.继续参考图2所示，为了将位于收料工位d处的被取空的空料盒输送至第一收片工位b
‑
1、第一收片工位b
‑
2的第二侧的回流工位e处，本实施方式中，收料工位d处设置有第三换向机构70。第三换向机构70将空料盒换向至回流工位e处。
80.继续参考图2所示，为了将位于回流工位e处的空料盒输送回第一收片工位b
‑
1或第一收片工位b
‑
2处，本实施方式中，回流工位e处设置有第四换向机构80。第四换向机构80将汇流工位e处的空料盒换向至回流输送机构40上，其中，回流输送机构40设置在第一输送装置10的第二侧，回流输送机构40的输送路径上设置有两个第五换向机构90，两个第五换向机构90分别设置在第一收片工位b
‑
1、第一收片工位b
‑
2的第二侧。
81.回流输送机构40将空料盒输送至第一收片工位b
‑
1或第一收片工位b
‑
2的第二侧，最后由对应位置处的第五换向机构90将空料盒换向至第一收片工位b
‑
1或第一收片工位b
‑
2处。
82.下面，我们结合图2，对第一料盒换向机构50、第二料盒换向机构60、第三料盒换向机构70、第四料盒换向机构80和第五料盒换向机构90的详细换向过程进行描述。
83.如图2所示，第一输送装置10、收料输送机构30及回流输送机构40均包括两条并排设置的输送带，两条输送带配合实施对硅片或料盒的承载及输送。
84.第二料盒换向机构60位于收料输送机构30的两条输送带之间，第五料盒换向机构90位于回流输送机构40的两条输送带之间。
85.我们以第一收片工位b
‑
1作为起点，对一个完整的循环收料过程进行描述，如图2中的实线箭头所标示的：
86.首先，第一输送装置10将第一类硅片100
‑
1输送至第一收片工位b
‑
1处的支撑在第一料盒换向机构50上的料盒内，直至该料盒收满硅片。
87.接着，第一料盒换向机构50将满料盒换向至位于第一收片工位b
‑
1的第一侧的第二料盒换向机构60。第二料盒换向机构60紧接着将满料盒换向至收料输送机构30的输送带上。
88.待满料盒中的第一类硅片被全部搬走后，第三料盒换向机构70将被搬空的空料盒
换向输送至位于回流工位e处的第四料盒换向机构80上。第四料盒换向机构80紧接着将空料盒换向至回流输送机构40上。
89.接着，回流输送机构40将空料盒输送至位于第一收片工位b
‑
1第二侧或位于第一收片工位b
‑
2第二侧的第五料盒换向机构90上。空料盒具体选择回流至第一收片工位b
‑
1还是第一收片工位b
‑
2，可以通过判断当前哪个硅片收片工位处于空置状态(即当前不存在料盒)来确定。当然，如果第一收片工位b
‑
1和第一收片工位b
‑
2均为空置状态，则可选择其中任意一个。
90.最后，第五料盒换向机构90将空料盒换向至对应的第一收片工位b
‑
1或第一收片工位b
‑
2处的第一料盒换向机构50上，开始新一轮的收片。
91.以第一收片工位b
‑
2作为起点，完整的循环收料过程如图中的虚线箭头所示，本说明书不再进行详细描述。
92.当然，可选的，对第二类硅片100
‑
2的收片也可采用与对第一类硅片100
‑
1的收片相同的方式。即，在第二输送装置20的两侧也分别设置对应的收料输送机构和回流输送机构，以实施对第二类硅片100
‑
2的循环收片，具体收片过程与前文对第一类硅片100
‑
1的收片过程相同，此处不再赘述。
93.第二实施方式
94.延续第一实施方式中的描述：第一收片工位处的料盒收满第一类硅片100
‑
1后，满料盒被从第一收片工位处移出并被输送至位于第一收片工位第一侧的收料工位d处。
95.然而，当收料工位d当前存在滞留的满料盒时，当前收满第一类硅片100
‑
1的满料盒无法被直接从所在的第一收片工位输送至收料工位d处，从而造成收片等待。
96.为了解决该问题，本实施方式中还设置有满料盒缓存工位。
97.在第一收片工位处的料盒收满第一类硅片100
‑
1后，先检测收料工位d处当前是否存在料盒。当收料工位d处当前存在料盒时，将第一收片工位处的满料盒输送至该满料盒缓存工位缓存。否则，将第一收片工位处的满料盒直接输送至收料工位d处。
98.此外，如果收料工位d处当前没有料盒，而各第一收片工位的料盒均未收满硅片时，即收料工位d处于空置状态。此时，选择从满料盒缓存工位处取出一个满料盒并将满料盒输送至收料工位d处。
99.延续第一实施方式中的描述：位于收料工位d处的被取空的空料盒被输送至回流工位e处，位于回流工位e处的空料盒则被输送至第一收片工位处。
100.在一些实施例中，料盒从离开第一收片工位至回流至第一收片工位的时间较长，为了防止因料盒回流时间较长造成的收片等待，尽可能地实现：一旦出现未存放有料盒的第一收片工位，即能迅速地将空料盒补充至该第一收片工位处。为了实现该目标，使用的料盒的数量一般多于第一收片工位的数量。然而，此情况下，则难免会出现，在某些时刻，回流的空料盒的数量多于当前未存放有料盒的第一收片工位。
101.为了解决该问题，本实施方式中，还设置有空料盒缓存工位。
102.对应的，本实施方式中，将位于回流工位e处的空料盒输送至第一收片工位处包括：
103.检测各第一收片工位处是否存在料盒。
104.当各第一收片工位处均存在料盒时，将位于回流工位e处的空料盒输送至空料盒
缓存工位缓存。否则，将位于回流工位e处的空料盒直接输送至任意一个不存在料盒的第一收片工位处。
105.此外，如果出现了不存在料盒的第一收片工位，而当前没有空料盒回流时，则选择从空料盒缓存工位处取出一个空料盒并将空料盒输送至不存在料盒的第一收片工位处，从而实现空料盒的及时补充。
106.第三实施方式
107.本实施方式中，第一类硅片为检测结果满足预定标准的合格硅片，第二类硅片则为检测结果不满足预定标准的不合格硅片。如本领域技术人员所了解的，针对不同类型的不合格硅片的回收处理方式不尽相同，如，表面脏污硅片经过清洗处理后即可能转化为合格硅片。
108.鉴于此，根据检测结果，第二类硅片100
‑
2被进一步区分为若干子类别。如，第二类硅片100
‑
2被进一步区分为表面脏污硅片、表面有孔洞硅片、边缘崩裂硅片等三个子类别。
109.本实施方式中，第二输送装置20将第二类硅片100
‑
2输送至第二收片工位处以实施对所述第二类硅片100
‑
2的收片包括：
110.第二输送装置20将第二类硅片100
‑
2输送至第二收片工位b处，其中，第二收片工位b处设置有若干不同的储存区，每个子类别的第二类硅片100
‑
2至少对应于一个储存区。
111.根据第二类硅片100
‑
2所属的子类别，将第二类硅片100
‑
2分档储存至对应的储存区内。
112.第四实施方式
113.在检测工位a对硅片进行检测时，由于检测装置发生故障等方面的原因，某些硅片可能未完成检测，因此未获得检测结果。本实施方式中，将未获得检测结果的硅片归类为第三类硅片。
114.本实施方式中的硅片分类收片方法还包括：将未获得检测结果的第三类硅片送回至检测工位以实施对第三类硅片的重新检测。根据重新检测的结果将第三类硅片重新确认为第一类硅片或第二类硅片，并实施相应的收片。
115.需要说明的是，将未获得检测结果的第三类硅片送回至检测工位可以采用已知的各种送回方式，如采用输送带输送，采用搬运机器人搬运、采用小车推送等。
116.可选的，为了防止送回至检测工位的第三类硅片与当前接受首次检测的硅片形成交叉影响，在将未获得检测结果的第三类硅片送回至检测工位实施重新检测之前，还包括：将第三类硅片输送至缓存工位处缓存；或者，将第三类硅片输送至第二收片工位处并将第三类硅片缓存至一个储存区内。如，可以待当前批次的接受首次检测的硅片完成检测后，再将缓存工位或储存区内缓存的第三类硅片送回至检测工位处实施检测。
117.上文对本发明进行了足够详细的具有一定特殊性的描述。所属领域内的普通技术人员应该理解，实施例中的描述仅仅是示例性的，在不偏离本发明的真实精神和范围的前提下做出所有改变都应该属于本发明的保护范围。本发明所要求保护的范围是由所述的权利要求书进行限定的，而不是由实施例中的上述描述来限定的。并且，本技术中提及的实施例并非只能单个实施，有些实施例还能够进行组合实施。