通信装置、通信装置的控制方法以及通信系统与流程

本发明涉及通信装置、通信装置的控制方法以及通信系统。

背景技术：

1、公知有具备用于输送收纳半导体晶片的foup(front opening unified pod：前开式联合吊舱)的桥式输送台车、以及用于处理半导体晶片的半导体制造装置的半导体制造系统(例如，参照专利文献1)。

2、在输送台车、与连接于半导体制造装置的载置口的通信设备之间的通信中应用semi(semiconductor equipmentand materials international：半导体设备与材料国际)的e84通信序列。在输送台车与载置口之间移载foup时，在输送台车与通信设备之间通过e84通信序列收发控制信号。

3、e84通信序列由移载前步骤、移载步骤以及移载后步骤这三个步骤构成。在移载前步骤中，在输送台车与通信设备之间，收发表示此后开始foup的移载的意思的控制信号。在移载步骤中，在输送台车与通信设备之间，收发用于执行foup的移载的控制信号，实际上进行foup的移载。在移载后步骤中，在输送台车与通信设备之间，收发表示foup的移载结束的意思的控制信号。移载前步骤、移载步骤以及移载后步骤在输送台车在载置口的紧上方的位置停止的状态下执行。

4、专利文献1：日本特开2019-117616号公报

5、在半导体制造系统中，多个输送台车需要分别在与应移载foup的多个载置口的各通信设备之间，同时通过无线通信执行e84通信序列。另外，根据半导体制造装置而分配给各载置口的各通信设备的电力受限，通信设备需要以省电方式进行动作。因此，为了避免无线通信的干扰且进行以省电方式动作的无线通信，作为输送台车与通信设备之间的无线通信的方式，采用了通信范围被限制在近距离(例如3～5m以内)的近距离无线通信。

6、然而，近几年在上述半导体制造系统中，为了进一步提高半导体的制造效率，提出了在输送台车的行驶过程中执行e84通信序列的移载前步骤以及移载后步骤。

7、然而，在输送台车与通信设备之间的近距离无线通信中，由于电波输出强度被抑制，所以在移载前步骤以及移载后步骤中，会产生在从载置口的紧上方的位置离开的位置行驶中的输送台车与通信设备之间的接收电波强度降低之类的课题。

技术实现思路

1、本发明正是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供一种能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化的通信装置、通信装置的控制方法以及通信系统。

2、为了实现上述目的，本发明的一实施方式的通信装置是对用于输送被输送物的输送台车、和连接于在与上述输送台车之间移载上述被输送物的移载装置的通信设备之间的通信进行中继的通信装置，其具备：广域无线通信部，其经由广域无线通信基站，在与上述输送台车之间通过广域无线通信收发信息；近距离无线通信部，其在与上述通信设备之间通过比上述广域无线通信窄的通信范围的近距离无线通信收发信息；以及控制部，其将上述广域无线通信部接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向上述近距离无线通信部输出，且将上述近距离无线通信部接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向上述广域无线通信部输出。

3、根据本实施方式，例如即使输送台车在远离移载装置的紧上方的位置的位置行驶过程中，广域无线通信部也经由广域无线通信基站(例如无线接入点)，在与输送台车之间通过广域无线通信收发信息，所以能够避免输送台车与通信设备之间的接收电波强度降低的情况，能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化。另外，近距离无线通信部在与通信设备之间通过近距离无线通信收发信息，所以能够使通信设备以低功耗动作。

4、例如也可以构成为：(i)在上述输送台车在与上述移载装置之间移载上述被输送物之前向与上述移载装置接近的方向行驶过程中，或者在与上述移载装置之间移载上述被输送物之后向远离上述移载装置的方向行驶过程中，向上述通信设备发送信息的情况下，上述广域无线通信部经由上述广域无线通信基站，通过上述广域无线通信接收来自上述输送台车的信息，上述控制部将上述广域无线通信部接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向上述近距离无线通信部输出，上述近距离无线通信部通过上述近距离无线通信将由上述控制部转换后的信息向上述通信设备发送，(ii)在上述输送台车在与上述移载装置之间移载上述被输送物之前向与上述移载装置接近的方向行驶过程中，或者在与上述移载装置之间移载上述被输送物之后向远离上述移载装置的方向行驶过程中时，上述通信设备向上述输送台车发送信息的情况下，上述近距离无线通信部通过上述近距离无线通信接收来自上述通信设备的信息，上述控制部将上述近距离无线通信部接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向上述广域无线通信部输出，上述广域无线通信部经由上述广域无线通信基站，通过上述广域无线通信将由上述控制部转换后的信息向上述输送台车发送。

5、根据本实施方式，例如在输送台车与通信设备之间应用semi的e84通信序列的情况下，在e84通信序列的移载前步骤或者移载后步骤中，输送台车即使在远离移载装置的紧上方的位置的位置行驶中，也能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化。

6、例如也可以构成为：上述通信装置还具备取得部，该取得部在上述输送台车的行驶中，取得表示该输送台车以外的其它输送台车与上述通信设备的通信状况的通信状况信息，上述广域无线通信部将由上述取得部取得的通信状况信息经由上述广域无线通信基站并通过上述广域无线通信向行驶中的该输送台车发送。

7、根据本实施方式，行驶中的输送台车基于表示该输送台车以外的其它输送台车与通信设备的通信状况的通信状况信息，例如在其它输送台车在该输送台车的行驶路线上正在执行e84通信序列的移载步骤的情况下，能够适当地改变行驶路线。

8、例如也可以构成为：上述通信装置还具备取得部，该取得部在上述输送台车的行驶过程中，取得表示该输送台车以外的其它输送台车的位置的位置信息，上述广域无线通信部将由上述取得部取得的位置信息经由上述广域无线通信基站并通过上述广域无线通信向行驶中的该输送台车发送。

9、根据本实施方式，行驶中的输送台车基于表示该输送台车以外的其它输送台车的位置的位置信息，例如在其它输送台车在该输送台车的行驶路线上正在执行e84通信序列的移载步骤的情况下，能够适当地改变行驶路线。

10、另外，本发明的一实施方式的通信装置的控制方法是对用于输送被输送物的输送台车、和连接于在与上述输送台车之间移载上述被输送物的移载装置的通信设备之间的通信进行中继的通信装置的控制方法，其包含以下步骤：(a)经由广域无线通信基站，通过广域无线通信接收来自上述输送台车的信息的步骤；(b)将在上述(a)中接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息的步骤；(c)通过比上述广域无线通信窄的通信范围的近距离无线通信，将在上述(b)中转换后的信息向上述通信设备发送的步骤；(d)通过上述近距离无线通信接收来自上述通信设备的信息的步骤；(e)将在上述(d)中接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息的步骤；以及(f)经由上述广域无线通信基站，通过上述广域无线通信将在上述(e)中转换后的信息向上述输送台车发送的步骤。

11、根据本实施方式，例如输送台车即使在远离移载装置的紧上方的位置的位置行驶中，也经由广域无线通信基站(例如无线接入点)在与输送台车之间通过广域无线通信收发信息，所以能够避免在输送台车与通信设备之间的接收电波强度降低的情况，能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化。另外，在与通信设备之间通过近距离无线通信收发信息，所以能够使通信设备以低功耗动作。

12、另外，本发明的一实施方式的通信系统具备：输送台车，其用于输送被输送物；通信设备，其连接于在与上述输送台车之间移载上述被输送物的移载装置；以及通信装置，其对上述输送台车与上述通信设备之间的通信进行中继，上述输送台车具有经由广域无线通信基站，在与上述通信装置之间通过广域无线通信收发信息的第一通信部，上述通信设备具有在与上述通信装置之间通过比上述广域无线通信窄的通信范围的近距离无线通信收发信息的第二通信部，上述通信装置具有：广域无线通信部，其经由上述广域无线通信基站，在与上述输送台车的上述第一通信部之间通过上述广域无线通信收发信息；近距离无线通信部，其在与上述通信设备的上述第二通信部之间通过上述近距离无线通信收发信息；以及控制部，其将上述广域无线通信部接收到的信息从广域无线通信用的信息转换为近距离无线通信用的信息并向上述近距离无线通信部输出，且将上述近距离无线通信部接收到的信息从近距离无线通信用的信息转换为广域无线通信用的信息并向上述广域无线通信部输出。

13、根据本实施方式，例如输送台车即使在远离移载装置的紧上方的位置的位置行驶中，通信装置的广域无线通信部也经由广域无线通信基站(例如无线接入点)，在与输送台车的第一通信部之间通过广域无线通信收发信息，所以能够避免输送台车与通信设备之间的接收电波强度降低的情况，能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化。另外，通信装置的近距离无线通信部在与通信设备的第二通信部之间通过近距离无线通信收发信息，所以能够使通信设备以低功耗动作。

14、此外，本发明不仅可以作为装置来实现，也可以作为将构成该装置的处理机构设为步骤的方法来实现，或作为使计算机执行这些步骤的程序来实现，或作为记录了该程序的计算机可读取的cd-rom等记录介质来实现，或作为表示该程序的信息、数据或者信号来实现。而且，这些程序、信息、数据以及信号也可以经由因特网等通信网络来分发。

15、根据本发明的一实施方式的通信装置等，能够使输送台车与通信设备之间的无线通信稳定化。