一种真空管路系统的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种真空管路系统。
【背景技术】
[0002] 目前，VO)(英文名称为Vacuum Chamber Dry，中文名称为真空干燥腔室）真空管 路系统如图1所示，干泵1通过真空管路3与真空干燥腔室2连接，在真空管路3上设有第 一阀门4(主阀）和第二阀门5(蝶阀）；抽真空完成后，对真空管路系统中的A、B、C三个点 进行拍照后发现存在大量有机物附着，包括第一附着区域A、第二附着区域B及第三附着区 域C。这三个区域均为有机物附着较严重的区域，而当此有机物附着于真空管路时则会导致 主阀门内的〇型密封圈腐蚀漏气，从而会影响VCD抽真空的效果，延长VCD的处理时间，进 而导致产线节拍时间延长，同时还会有品质异常风险等问题。
[0003] 至于这三个区域为何容易产生有机物附着，分析如下：V⑶的主要功能是通过真 空干抽的方式，用于将VCD腔室内基板表面涂布的光刻胶中的70%以上的有机挥发物抽 走，以方便后续处理。但是，无论是在抽真空过程中还是在抽真空结束时，真空管路中均会 充斥较多的有机物气体。此外，由于设备动作时序是一旦VCD抽真空完成，其主阀和蝶阀均 会同时关闭，这样主阀与蝶阀之间的封闭管路中势必会存在一定浓度的有机物气体。工厂 经验证明：这些滞留的有机物气体会附着到管路中以及主阀门内，并且会造成主阀内0-形 密封圈腐蚀、漏气现象。因此，为解决此问题，必须对主阀门进行换新，每个主阀门的价格约 3万人民币左右，较为昂贵。
【发明内容】
[0004] (一）要解决的技术问题
[0005] 本发明要解决的技术问题是提供了一种真空管路系统，使得能够减少有机物在真 空管路及主阀门中附着的概率，延长主阀门的寿命，降低成本。
[0006] (二）技术方案
[0007] 为了解决上述技术问题，本发明提供一种真空管路系统，其包括：干泵和真空干燥 腔室，所述干泵通过真空管路与所述真空干燥腔室连接；所述真空管路上设有第一阀门和 第二阀门，在所述真空管路上且位于第一阀门和第二阀门之间设有大气开放系统，所述大 气开放系统用于向所述真空管路内输入气体。
[0008] 其中，所述大气开放系统包括供气管路、第三阀门和控制单元；所述供气管路的输 出端与所述真空管路连接，且其输出端位于第一阀门与第二阀门之间；所述第三阀门设置 于供气管路上；所述控制单元用于控制第三阀门的启闭。
[0009] 其中，所述供气管路的输入端与气源连接，所述气源用于产生惰性气体。
[0010] 其中，所述供气管路的输入端与大气连通。
[0011] 其中，所述第三阀门为气动阀；所述控制单元包括PLC控制器、电磁阀及动力源， 在所述动力源与第三阀门之间设有输气管路，所述动力源向输气管路内输入压缩空气；所 述电磁阀设置于输气管路上；所述PLC控制器与所述电磁阀电连接。
[0012] 其中，在所述供气管路上且位于其输出端与第三阀门之间设有过滤器。
[0013] 其中，所述真空干燥腔室上设有第一通气单元和第二通气单元；所述第一通气单 元用于向真空干燥腔室通入空气；所述第二通气单元用于向真空干燥腔室通入压缩空气。
[0014] 其中，所述第一阀门包括壳体、驱动开关和密封件；所述壳体上设有上游阀口和下 游阀口，所述上游阀口与真空干燥腔室连通，所述下游阀口与干泵连通；所述驱动开关设置 于壳体内，用于使所述上游阀口与下游阀口之间接通或断开；所述密封件设置于驱动开关 与壳体之间。
[0015] 其中，所述第二阀门为蝶阀，且位于所述真空干燥腔室与第一阀门之间。
[0016] (三）有益效果
[0017] 本发明的上述技术方案具有以下有益效果：本发明提供一种真空管路系统，在真 空管路上增加大气开放系统，通过大气开放系统向真空管路输入气体，减少有机物在真空 管路及主阀门中附着的概率，延长主阀门的寿命，降低成本。
【附图说明】
[0018] 图1为现有真空管路系统的结构不意图；
[0019] 图2为本发明实施例真空管路系统的结构示意图；
[0020] 图3为本发明实施例第一阀门的结构示意图；
[0021] 图4为本发明实施例真空管路系统的时序图。
[0022] 其中，1 :干泵；2 :真空干燥腔室；3 :真空管路；4 :第一阀门；5 :第二阀门；6 :供气 管路；7 :第三阀门；8 :控制单元；9 :PLC控制器；10 :电磁阀；11 :动力源；12 :过滤器；13 : 基板；A :第一附着区域；B :第二附着区域；C :第三附着区域；21 :第一通气单元；22第二通 气单元；41 :壳体；42 :上游阀口；43 :下游阀口；44 :驱动开关；45 :密封件。
【具体实施方式】
[0023] 下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于 说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
[0024] 在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有说明，"多个"的含义是两个或两个以 上；术语"上"、"下"、"左"、"右"、"内"、"外"、"前端"、"后端"、"头部"、"尾部"等指示的方位 或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而 不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此 不能理解为对本发明的限制。此外，术语"第一"、"第二"、"第三"等仅用于描述目的，而不 能理解为指示或暗示相对重要性。
[0025] 在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语"安装"、 "相连"、"连接"应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连 接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。 对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0026] 如图2所示，本实施例提供的真空管路系统，其包括干泵1和真空干燥腔室2,干泵 1通过真空管路3与真空干燥腔室2连接；在真空管路3上设有第一阀门4和第二阀门5， 在真空管路3上且位于第一阀门4和第二阀门5之间设有大气开放系统，大气开放系统用 于向真空管路3内输入气体，从而减少有机物在真空管路3中及第一阀门4 (主阀门）附着 的概率，延长主阀门的寿命，降低成本。
[0027] 具体的，大气开放系统包括供气管路6、第三阀门7和控制单元8 ;供气管路6的输 出端与真空管路3连接，且其输出端位于第一阀门4与第二阀门5之间，通过供气管路6实 现输入气体；第三阀门7设置于供气管路6上；控制单元8与第三阀门7连接，可根据需要 自动控制第三阀门7的启闭，实现自动化设置。
[0028] 进一步的，在供气管路6上且位于其输出端与第三阀门7之间设有过滤器12。通 过过滤器12对供气管路6中的气体进行过滤，对于过滤器12而言其可采用简单