用于真空沉积设备的带有除尘装置的真空管路的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于真空沉积设备的真空管路系统，特别涉及一种带有除尘装置的真空管路，属于真空沉积设备技术领域。
【背景技术】
[0002]在真空镀膜沉积设备中，由于要对沉积室进行抽真空，因此要用到各种真空泵，所以对真空管路要求也不同，根据沉积室要求的真空度采用不同的真空泵，如滑阀泵为前级低真空度粗抽泵，罗茨泵为中真空度抽泵，分子泵为高真空度抽泵等，这些真空泵和真空阀及真空管道一起组成真空管路，真空管路一般包括:低真空度管路、中真空度管路和高真空管路，低真空度管路一般位于中真空度管路的前端，作为中真空度管路的前级粗抽真空，中真空度管路和高真空管路分别和真空沉积室相连，中真空度管路抽真空到一定真空度后管路关闭，再打开高真空度管路进行高真空度抽真空，而中真空度管路一般还会分成两路和真空沉积室连接，一路在沉积前对沉积室抽真空，一路在沉积中对镀膜气体的残余气体进行抽真空，在采用化学气相沉积过程中，有时会产生沉积粉尘，而这些粉尘在抽真空的过程中，有可能会进入到真空泵内，污染真空泵油或加快泵的磨损，造成真空泵油的浪费或泵的损坏。
[0003]如制造薄膜太阳能电池在沉积光电转换层时，采用在高真空度的真空沉积室进行化学气相沉积，无论是同一单室沉积P、1、N层还是分室分别沉积P、1、N层，在沉积前、沉积中和沉积后都要对真空沉积室进行抽真空。如图1所示，是现有技术的薄膜太阳能电池光电转换层的单室沉积设备的真空管路结构示意图，真空沉积室5有三路来抽真空，中真空度管路有两路，一路通过第一挡板阀4和罗茨泵3连接，一路通过第二挡板阀13和罗茨泵3相连，低真空度管路是罗茨泵3再通过第三挡板阀2和滑阀泵I相连，高真空度管路为真空沉积室5通过第四挡板阀12和分子泵6相连，在沉积前，首先第一挡板阀4和第三挡板阀2处于打开状态，第四挡板阀12和第二挡板阀13处于关闭状态，启动滑阀泵I对真空沉积室5进行粗抽，抽到一定真空度，罗茨泵3启动，对真空沉积室5继续进行抽真空，当达到一定中真空度时，打开第四挡板阀12，启动分子泵6抽真空达到高真空度后，关闭第一挡板阀4和第四挡板阀12，开启第二挡板阀13，开始分别沉积P层、I层和N层，若三层是在一个沉积真空室内沉积，先沉积P层，沉积过程中，真空沉积室5内的残余P气经过第二挡板阀13所在真空管路14，再经主真空管道11由罗茨泵3抽出，沉积完成后，关闭第二挡板阀13，进行管道清洗，打开第一挡板阀4，由滑阀泵I和罗茨泵3抽气，达到一定真空度时，打开第四挡板阀12，分子泵6启动，达到真空要求后，再关闭第一挡板阀4和第四挡板阀12，打开第二挡板阀13，再沉积I层，依此类推，完成PIN层的沉积，对于P层、I层和N层分别在不同的沉积真空室内沉积也是同样的方法。从沉积过程中，我们可以看到，在沉积完P层或I层或N层过程中，残余气体由罗茨泵3直接抽走，实际生产中会造成残余气体的粉尘进入到罗茨泵3的真空泵油内，污染真空泵油，需要频繁更换真空泵油，不仅浪费昂贵的真空泵油，更换真空泵油还影响到整个生产效率，粉尘进入罗茨泵3，还可能加快罗茨泵3的磨损，降低罗茨泵3的寿命。
【发明内容】
[0004]本实用新型需要解决的技术问题是如何隔断残余气体的粉尘直接进入到真空泵内，避免造成真空泵油的污染以及真空泵的磨损。
[0005]为了实现以上任务，本实用新型设计一种带有除尘装置的真空管路，减少真空沉积设备中的真空泵的真空泵油的更换频率和真空泵的磨损，降低成本，提高生产效率。
[0006]本实用新型采用如下技术方案:
[0007]—种用于真空沉积设备的带有除尘装置的真空管路，主要由真空泵、真空阀和多路真空管道组成，真空泵及真空阀安装在真空管道上，真空管道与真空沉积室连接，主要技术要点是在真空管路中设置有除尘装置，除尘装置内装有除尘网，在沉积过程中，抽走真空沉积室内的残余气体时，将残余气体通过除尘装置，沉积产生的粉尘被阻隔留在除尘装置内的除尘网上。
[0008]真空管路包括至少两级真空度管路，其中一级为低真空度管路，另一级为中真空度或高真空度管路，低真空度管路位于中真空度前端，中真空度管路和高真空度管路分别与真空沉积室连接，除尘装置位于中真空度管路的真空阀和真空泵之间的真空管道上。
[0009]在和除尘装置所在真空管道(称之为主真空管道)位置再并联至少一路真空管道(称之为次真空管道)，次真空管道上安装有真空阀，由真空阀控制次真空管道的导通与关闭，形成多路真空管道结构，次真空管道用来进行沉积前沉积真空室的真空抽气，当沉积前需要大流量快速抽真空时，打开次真空管道上的真空阀，使得气体主要通过次真空管道抽出，不会因除尘网的网眼较密，阻隔气体通过流量，影响到除尘速率。
[0010]真空泵可以采用滑阀泵、罗茨泵或分子泵，滑阀泵为低真空度泵，罗茨泵为中真空度泵，分子泵为高真空度泵，真空阀为挡板阀，罗茨泵通过挡板阀和滑阀泵相连，罗茨泵连接口分为两路，一路和次真空管道上的挡板阀连接，另一路和主真空管道上的除尘装置连接，主真空管道和次真空管道连接后由挡板阀连接后接入真空沉积室，此处还可以再分成两路，分别由挡板阀连接接入真空沉积室，一路是用来沉积前抽真空，一路是用来沉积中抽真空，分子泵和挡板阀连接后接入真空沉积室。
[0011 ] 除尘装置为一面开口的箱体结构，箱体内有插槽，箱体开口处安装有箱盖，箱盖可以容易打开，箱盖盖合后有锁扣锁紧密封，在箱体内腔插装有数个除尘网，粉尘被除尘网所阻隔并留在除尘网上，除尘网可以方便取出和更换。
[0012]除尘网可以是纱网、活性炭网等。
[0013]产生的积极效果:
[0014]由于安装了除尘装置，沉积过程中的残余气体需要通过除尘装置内的除尘网，被除尘网阻隔，因此残余气体的粉尘不会直接进入到真空泵油内，减少真空泵油的污染和真空泵的磨损，降低更换频率，节约成本，同时采用主、次双真空管道，在粗抽阶段不会影响抽气速率，生产效率高。
【附图说明】
[0015]图1是现有技术中薄膜太阳能电池单室沉积设备的真空管路结构示意图，滑阀泵I通过第三挡板阀2和罗茨泵3相连接，罗茨泵3通过主真空管道10经汇合管道15后再由真空管道14分两路，一路通过第一挡板阀4和真空沉积室5相连接，一路通过第二挡板阀13和真空沉积室5相连接，分子泵6通过第四挡板阀12和真空沉积室5连接。
[0016]图2是本实用新型的真空管路结构示意图，滑阀泵I通过第三挡板阀2和罗茨泵3相连接，在连接罗茨泵3的主真空管道10上安装有除尘装置7，在除尘装置7内插装有除尘网8，然后再经汇合管道15后由真空管道14分两路，一路通过第一挡板阀4和真空沉积室5相连接，一路通过第二挡板阀13和真空沉积室5相连接，分子泵6通过第四挡板阀12和真空沉积室5连接。
[0017]图3是图2中除尘装置7的结构示意图，除尘装置7由箱体701、箱盖702、转轴703、锁扣704、连接管口 706和插槽707组成的一个箱体结构，箱盖702通过转轴703连接在箱体701上，箱盖702盖合箱体701后，由锁扣704锁紧成密封状态。
[0018]图4是本实用新型的实施例1的单室沉积设备的真空管路结构示意图，是薄膜太阳能电池在同一单室真空沉积室5内沉积P层、I层和N层，滑阀泵I通过第三挡板阀2和罗茨泵3相连接，罗茨泵3分两路，一路连接经主真空管道10和除尘装置7，除尘装置7内有除尘网8，一路连接挡板阀9经次真空管道11，主真空管道10和次真空管道11在汇合管道15并联后，再经与汇合管道15连通的真空管道14再分两路通过第一挡板阀4和第二挡板阀13连接到真空沉积室5，分子泵6通过第四挡板阀12和真空沉积室5相连。
[0019]图5是本实用新型的实施例2的多室沉积设备的真空管路结构俯视示意图，是薄膜太阳能电池在不同沉积室5p、沉积室5i和沉积室5n连续沉积P层、I层和N层，滑阀泵I通过第三挡板阀2和罗茨泵3相连接，罗茨泵3分两路，一路连接经主真空管道10和除尘装置7，除尘装置7内有除尘网8，一路连接挡板阀9经次真空管道11，主真空管道10和次真空管道11在汇合管道15并联后，再分别通过真空管道14p和第二挡板阀13p进入沉积室5p、通过真空管道14i和第二挡板阀13i进入沉积室51、通过真空管道14η和第二挡板阀13η进入沉积室5η，分子泵6分别通过第四挡板阀12ρ、第四挡板阀121、第二挡板阀13η和真空沉积室5ρ相相连。
【具体实施方式】
[0020]实施例1:
[0021]如图4所示，为同一单室沉积薄膜太阳能电池的P层、I层和N层的真空管路。<