专利名称：有机系脱模剂的性能评价方法、模具的制造方法和表面具有微细凹凸结构的透明薄膜的 ...的制作方法
技术领域：
本发明涉及有机系脱模剂的性能评价方法、模具的制造方法和表面具有微细凹凸结构的透明薄膜的制造方法。本申请要求基于2009年12月24日在日本提出的特愿2009-291775号的优先权，其内容在此处引用。
背景技术：
近年来，已知的是，表面具有可见光波长以下的周期的微细凹凸结构的物品表现了防反射效果、荷叶效应(Lotus effect)等。尤其已知的是,称之为蛾眼结构(moth_eyestructure)的微细凹凸结构由于折射率从空气的折射率连续增大到物品的材料的折射率， 因此构成了有效的防反射手段。作为表面具有微细凹凸结构的透明薄膜的制造方法，已知有通过光纳米压印法、热纳米压印法等将模具表面的微细凹凸结构转印到基材薄膜的表面的方法。作为光纳米压印法，例如已知有包括下述工序(I) (III)的方法(例如专利文献I):(I)在表面具有微细凹凸结构的反转结构的模具与构成透明薄膜主体的基材薄膜之间夹持紫外线固化性树脂组合物的工序；(II)对紫外线固化性树脂组合物照射紫外线，使上述紫外线固化性树脂组合物固化，形成具有微细凹凸结构的固化覆膜，获得透明薄膜的工序；以及(III)将上述模具与上述透明薄膜分离的工序。模具的表面通常用有机系脱模剂处理。然而，模具表面的处理中使用的有机系脱模剂有时由于在模具的表面处理中反复使用，或长期间放置而劣化。通过劣化的有机系脱模剂表面处理过的模具有时表面的脱模性不充分，结果，难以稳定地制造透明薄膜。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2007-326367号公报
发明内容
发明要解决的问题本发明提供了能够短时间简单地判定性能好坏的有机系脱模剂的性能评价方法；可制造表面脱模性充分的模具的方法；以及能够稳定地制造表面具有微细凹凸结构的透明薄膜的方法。用于解决问题的方案本发明的第一实施方式的模具的制造方法的特征在于，其具有下述的工序(I)
(III):
(I)制作表面形成了微细凹凸结构的模具主体的工序；(II)通过下述有机系脱模剂的性能评价方法评价有机系脱模剂的性能的工序；以及，( III)用通过上述工序(II)判定为性能良好的有机系脱模剂处理上述工序(I)中制作的模具主体的表面的工序；所述有机系脱模剂的性能评价方法是，将有机系脱模剂与试验用有机溶剂混合，通过有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性好坏来判定有机系脱模剂的性能好坏的方法。
上述工序(I)优选是在铝基材的表面形成具有多个细孔的阳极氧化氧化铝而制作模具主体的工序。上述有机系脱模剂优选是具有水解性甲硅烷基或硅醇基的氟化合物。上述试验用有机溶剂的介电常数优选是22 40。上述试验用有机溶剂优选是乙醇或N，N- 二甲基甲酰胺。优选的是，通过有机系脱模剂与试验用有机溶剂的混合物的透光率来判断有机系脱模剂在上述试验用有机溶剂中的溶解性的好坏。本发明的第二实施方式的有机系脱模剂的性能评价方法是，将有机系脱模剂和试验用有机溶剂混合，通过有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性好坏来判定有机系脱模剂的性能好坏的方法。优选的是，预先将上述有机系脱模剂用稀释用有机溶剂稀释，形成上述脱模剂溶液。优选的是，上述有机系脱模剂用于处理表面形成了微细凹凸结构的模具主体的表面。本发明的第三实施方式的表面具有微细凹凸结构的透明薄膜的制造方法的特征在于，将通过本发明的第一实施方式中所述的模具的制造方法获得的模具的表面的微细凹凸结构转印到基材薄膜的表面。发明的效果根据本发明的第二实施方式的有机系脱模剂的性能评价方法，可以在短时间内简单地判定有机系脱模剂的性能好坏。根据本发明的第一实施方式的模具的制造方法，可以制造表面脱模性充分的模具。根据本发明的第三实施方式的表面具有微细凹凸结构的透明薄膜的制造方法，可以稳定地制造透明薄膜。
图I所示为阳极氧化氧化铝的细孔的形成过程的截面图。图2所示为表面具有微细凹凸结构的透明薄膜的制造装置的一个例子的构成图。图3所示为表面具有微细凹凸结构的透明薄膜的一个例子的截面图。附图标记说明10招基材
12 细孔14氧化覆膜18模具主体20 模具40透明薄膜42基材薄膜44固化覆膜46 凸部
具体实施例方式在本说明书中，(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。透明是指至少透过波长40(Tll70nm的光。另外，活性能量射线是指可见光线、紫外线、电子束、等离子体、热射线(红外线等)等。<有机系脱模剂的性能评价方法>本发明的第二实施方式的有机系脱模剂的性能评价方法是将有机系脱模剂和试验用有机溶剂混合，通过有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性好坏来判定有机系脱模剂的性能好坏的方法。有机系脱模剂由于在模具的表面处理中反复使用或长期间放置而劣化，有时不能充分发挥脱模性。本发明人发现，该原因在于，在具有水解性甲硅烷基的化合物的情况下，发生分子间缩合，与模具主体的反应性降低，密合性降低。然而，有机系脱模剂的劣化仅凭有机系脱模剂的外观不能判定。分子间缩合的有无还可以用核磁共振谱等来调查，但测定需要劳力与时间，另外，需要昂贵的装置。因此，本发明人着眼于，由于有机系脱模剂的劣化，即由分子间缩合导致的有机系脱模剂的高分子量化，有机系脱模剂在有机溶剂中的溶解性降低，从而完成了本发明。(判定方法)劣化的有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性降低，发生白浊。作为确认白浊有无或多少的方法，可列举出测定透光率的方法、测定光散射的方法等，从在短时间内能简便地测定的观点来看，测定透光率的方法是优选的。有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性好坏通过有机系脱模剂与试验用有机溶剂的混合物的透光率来判断时，作为判断基准的透光率的阈值例如可以如下确定(I)使用分光光度计测定用于模具本体的表面处理之前的有机系脱模剂(未使用产品)和试验用有机溶剂的混合物的透光率。接着，使用用有机系脱模剂(未使用产品)表面处理过的模具，进行后述的透明薄膜的制造，评价脱模性。(2)使用分光光度计，测定进行过I次 多次模具主体的表面处理的有机系脱模剂和试验用有机溶剂的混合物的透光率。接着，用上述有机系脱模剂表面处理过的模具进行后述透明薄膜的制造，评价脱模性。(3)重复上述(2)的操作，直到脱模性的评价判定为不可为止。(4)用于模具主体的表面处理前的有机系脱模剂(未使用产品)和试验用有机溶剂的混合物的透光率的光谱与判定为不可评价脱模性的有机系脱模剂(劣化产品)和试验用有机溶剂的混合物的透光率的光谱进行比较，将透光率差最大的波长下的有机系脱模剂(劣化产品)和试验用有机溶剂的混合物的透光率设定为阈值。透光率的测定用分光光度计进行。具体而言，下述的脱模剂溶液与试验用有机溶剂按2/81/2的体积比混合得到的物质作为测定溶液。另外，作为参照，使用用于脱模剂溶液的稀释溶剂与试验用有机溶剂按上述体积比混合的混合物。作为测定波长，使用紫外 可见区域(例如20(T900nm左右)。(有机系脱模剂)作为有机系脱模剂，可列举出硅酮树脂、氟树脂、氟化合物等，从脱模性优异的观点、与模具的密合性优异的观点出发，具有水解性甲硅烷基或硅醇基的氟化合物是优选的，具有水解性甲硅烷基的氟化合物是特别优选的。作为具有水解性甲硅烷基的氟化合物的市售产品，可列举出氟烷基硅烷、KBM-7803 (信越化学工业公司制造)、“0PT00L”系列(DAIKININDUSTRIES, Ltd.制造)、Novec EGC-1720 (住友 3M 公司制造)等。(试验用有机溶剂)作为试验用有机溶剂，使用在正常的有机系脱模剂与劣化的有机系脱模剂之间见到了溶解性(形成混合物时的透光率)差别的溶剂。例如，试验用有机溶剂的极性过低时，两者均容易溶解，而极性过高时，两者均不容易溶解，没有见到溶解性(形成混合物时的透光率)差别。因此，作为试验用有机溶剂，具有适度的极性(即介电常数)的有机溶剂是优选的。试验用有机溶剂介电常数优选为10 70，更优选为30飞0，最优选为22 40。作为试验用有机溶剂，对于具有水解性甲硅烷基或硅醇基的氟化合物，从增大正常氟化合物与劣化氟化合物之间的溶解性(形成混合物时的透光率)差的观点出发，优选乙醇[介电常数23. 8 (25°C)]、N，N-二甲基甲酰胺[介电常数36. 7 (25°C )]，特别优选为N，N-二甲基甲酰胺。本发明中的介电常数是将真空的介电常数设定为I时的相对介电常数，使用文献值[“溶剂手册”，Kodansha S cientific Ltd.，1976 年，第 734 页]。(稀释用有机溶剂)通常在用于模具本身的表面处理时将有机系脱模剂用稀释用有机溶剂稀释，使得能够均一地处理模具主体的表面，作为脱模剂溶液使用。因此，在本发明的有机系脱模剂的性能评价方法中，优选的是，有机系脱模剂实际上为用于模具主体的表面处理的状态的、在用稀释用有机溶剂稀释的脱模剂溶液的状态下评价。作为稀释用有机溶剂，只要溶解有机系脱模剂即可，对其没有特别限制，在有机系脱模剂使用具有水解性甲硅烷基或硅醇基的氟化合物时，介电常数低的溶剂是优选的，可列举出己烷、氯仿、二乙醚、四氢呋喃、二氯甲烷、丙酮、乙腈、N，N- 二甲基甲酰胺等。尤其，在使用“0PT00L”系列(DAIKININDUSTRIES, Ltd.制造)作为有机系脱模剂时，优选使用氟系有机溶剂“DURASURF”系列(HARVES Co. , Ltd.制造)。(具体例)以下以有机系脱模剂为具有水解性甲硅烷基的氟化合物[“0PT00L”系列，DAIKININDUSTRIES, Ltd.制造]的场合为例来进一步详细说明。
作为试验用有机溶剂，从增大正常的“0PT00L”系列与劣化的“0PT00L”系列之间的溶解性(形成混合物时的透光率)差的观点出发，N，N- 二甲基甲酰胺是特别优选的。
作为稀释用有机溶剂，从有机系脱模剂的溶解性的观点出发，氟系的有机溶剂DURASURF HD-ZV (HARVES Co. , Ltd.制造)是优选的。 脱模剂溶液与试验用有机溶剂的混合物中的“ 0PT00L”系列浓度过高或过低时，难以表现对应于劣化的溶解性差。因此，用DURASURF HD-ZV稀释“0PT00L”系列而获得的0. I质量％脱模剂溶液与N，N- 二甲基甲酰胺的混合比(脱模剂溶液/N，N- 二甲基甲酰胺)优选为2/8 8/2 (体积比)，更优选为4/6飞/4 (体积比)，特别优选为5/5 (体积比)。“0PT00L”系列用DURASURF HD-ZV稀释而成的0. I质量％的脱模剂溶液与同体积的N，N- 二甲基甲酰胺混合时，即使是未使用品也有少许白浊，脱模性降低的劣化产品则显著白浊。上述脱模剂溶液性能好坏的判定这样进行优选的是，根据后述实施例的结果，透光率急剧减少的波长400nm下的混合物的透光率为36%以上则判定为性能良好，更优选的是，透光率为45%以上判定为性能良好。 (作用效果)在以上说明的本发明的第二实施方式的有机系脱模剂的性能评价方法中，将有机系脱模剂与试验用有机溶剂混合，通过有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性好坏来判定有机系脱模剂的性能好坏，因此可以在短时间内简易地判定有机系脱模剂的性能好坏。而且，由于事先能够判定有机系脱模剂的性能，因此在开始透明薄膜制造之后，可以避免因有机系脱模剂劣化导致的模具脱模性的恶化等麻烦。另外，可以有效地使用有机系脱模剂达到极限。本发明的第二实施方式的性能评价方法适合于评价后述的使用具有形成了平均间隔2(T400nm的细孔的微细凹凸结构的模具来制造透明薄膜时使用的有机系脱模剂。尤其适合于细孔通过阳极氧化来形成的情况。〈模具的制造方法〉本发明的第一实施方式的模具的制造方法是具有下述工序(I) (III)(I)制作表面形成了微细凹凸结构的模具主体的工序；(II)通过下述有机系脱模剂的性能评价方法评价有机系脱模剂的性能的工序；以及，( III)用通过上述工序(II)判定为性能良好的有机系脱模剂处理上述工序(I)中制作的模具主体的表面的工序，所述有机系脱模剂的性能评价方法是将有机系脱模剂与试验用有机溶剂混合，通过有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性好坏来判定有机系脱模剂的性能好坏的方法。其中，本发明的第二实施方式的有机系脱模剂的性能评价方法可以作为本发明的第一实施方式的有机系脱模剂的性能评价方法使用。(工序(I))在工序(I)中，在基材的表面形成微细凹凸结构，制作模具主体。作为基材的材料，可列举出金属(包括表面形成有氧化覆膜的金属)、石英、玻璃、树脂、陶瓷等。作为基材的形状，可列举出辊状、圆管状、平板状、片状等。
作为模具主体的制造方法，例如可列举出下述方法(I-I)或(1-2)，从可以大面积化且制作简便的观点出发，方法(I-I)是特别优选的。(I-I)在铝基材的表面形成具有多个细孔(凹部)的阳极氧化氧化铝的方法。(1-2)在基材的表面通过光刻法形成微细凹凸结构的方法。作为方法(1-1)，具有下述的工序(a广(e)的方法是优选的。(a)在电解液中在恒定电压下对铝基材进行阳极氧化，在铝基材的表面形成氧化覆膜的工序。(b)去除氧化覆膜，在铝基材的表面形成阳极氧化的细孔产生点的工序。、(C)在电解液中对铝基材再次进行阳极氧化，形成在细孔产生点具有细孔的工序。(d)扩大细孔孔径的工序。(e)上述工序(d)之后，在电解液中再次阳极氧化的工序。(f)反复进行上述工序(d)与工序(e)，获得在铝表面形成了具有多个细孔的阳极氧化氧化铝的模具主体的工序。工序(a)如图I所示，将铝基材10阳极氧化时，形成具有细孔12的氧化覆膜14。作为铝基材的形状，可列举出辊状、圆管状、平板状、片状等。为了将表面状态平滑化，铝基材优选用机械研磨、布研磨、化学研磨、电解研磨(蚀刻处理)等进行研磨。另外，铝基材在加工成规定的形状时会附着有所使用的油，因此，优选在阳极氧化之前预先进行脱脂处理。铝的纯度优选为99%以上，更优选为99. 5%以上，特别优选为99. 8%以上。铝的纯度较低时，在阳极氧化时，由于杂质的偏析，可形成散射可见光的大小的凹凸结构，阳极氧化中获得的细孔的规则性降低。作为电解液，可列举出硫酸、草酸、磷酸等。使用草酸作为电解液时草酸的浓度优选为0. 7M以下。草酸的浓度超过0. 7M时，电流值过高，氧化覆膜的表面有时变粗糙。化成电压为3(T60V时，可以获得具有周期为IOOnm左右的规则性高的细孔的阳极氧化氧化铝。化成电压高于该范围或低于该范围，则规则性趋向于降低。电解液的温度优选为60°C以下，更优选为45°C以下。电解液的温度超过60°C时，发生所谓的“烧伤”的现象，细孔被破坏，或表面溶解，细孔的规则性被打乱。使用硫酸作为电解液时硫酸的浓度优选为0. 7M以下。硫酸的浓度超过0. 7M时，电流值变得过高，不能维
持恒定电压。化成电压为25 30V时，可以获得具有周期为63nm左右的规则性高的细孔的阳极氧化氧化铝。化成电压高于或低于该范围时，规则性趋向于降低。电解液的温度优选为30°C以下，更优选为20°C以下。电解液的温度超过30°C时，发生所谓的“烧伤”的现象，细孔被破坏，或表面溶解，细孔的规则性被打乱。工序(b)如图I所示，先去除氧化覆膜14，使其形成阳极氧化的细孔产生点16，从而可以提高细孔的规则性。作为去除氧化覆膜的方法，可列举出在不溶解铝而选择性溶解氧化覆膜的溶液中溶解、去除的方法。作为这种溶液，例如可列举出铬酸/磷酸混合液等。工序(C)如图I所示，将去除了氧化覆膜的铝基材10再次阳极氧化时，形成了具有圆柱状的细孔12的氧化覆膜14。阳极氧化可以在与工序(a)同样的条件下进行。延长阳极氧化的时间可以获得深的细孔。工序(d)如图I所示，进行扩大细孔12的孔径的处理(以下称为细孔孔径扩大处理)。细孔孔径扩大处理是浸溃在溶解氧化覆膜的溶液中，使阳极氧化中获得的细孔的孔径扩大的处理。作为这种溶液，例如可列举出5质量％左右的磷酸水溶液等。细孔孔径扩大处理的时间越长，细孔孔径越大。工序(e)如图I所示，再次阳极氧化时，进一步形成从圆柱状的细孔12的底部向下延伸的直径小的圆柱状的细孔12。阳极氧化可以在与工序(a)同样的条件下进行。阳极氧化的时间长则可获得深的细孔。工序(f)如图I所示，重复工序(d)的细孔孔径扩大处理和工序(e)的阳极氧化时，可形成具有直径从开口部向深度方向连续减小的形状的细孔12的氧化覆膜14，可获得在铝基材10的表面形成有阳极氧化氧化铝(铝的多孔氧化覆膜(alumite，氧化铝膜))的模具主体
18。最后，优选在工序(d)结束。重复次数优选合计为3次以上，更优选为5次以上。重复次数为2次以下时，由于 细孔孔径非连续性减小，因此，使用具有这种细孔的阳极氧化氧化铝形成的蛾眼结构的反射率减低效果不充分。作为细孔12的形状，可列举出大致圆锥形状、棱锥形状、圆柱形状等，象圆锥形状、棱锥形状等那样的、与深度方向正交的方向的细孔截面积从最表面向深度方向连续减小的形状是优选的。细孔12的平均间隔为可见光线的波长以下，即400nm以下。细孔12之间的平均间隔优选为20nm以上。细孔12之间的平均间隔是通过电子显微镜观察来测定邻接的细孔12之间的50个间隔(从细孔12的中心到邻接的细孔12的中心的距离)，将这些值平均而获得的。细孔12的深度在平均间隔为IOOnm时优选为8(T500nm，更优选为12(T400nm，特别优选为15(T300nm。细孔12的深度是，通过电子显微镜观察在3000倍的倍率下观察时，细孔12的最底部与细孔12之间存在的凸部的最顶部之间的距离的测定值。细孔12的深宽比(细孔的深度/细孔之间的平均间隔)优选为0. 8^5,更优选为
I.2 4，特别优选为I. 5 3。
(工序(II)和(III))作为用有机系脱模剂处理模具本体的表面的方法，可列举出下述的方法(11-1)、(11-2)，从能够用有机系脱模剂均匀地处理模具主体的形成有微细凹凸结构的一侧的表面的观点来看，方法(II-I)是特别优选的。(II-I)在有机系脱模剂用稀释用有机溶剂稀释而成的脱模剂溶液中浸溃模具主体的方法。(II-2)将有机系脱模剂或脱模剂溶液在模具主体的形成有微细凹凸结构的一侧的表面涂布的方法。作为方法(11-1)，例如可列举出包括下述工序(g) (k)的方法。(g)将模具主体水洗的工序。
(h)将空气吹送到模具主体上，去除模具主体的表面附着的水滴的工序。(i)将模具主体在脱模剂溶液中浸溃的工序。(j)从溶液中缓慢提升所浸溃的模具主体的工序。(k)将模具干燥的工序。(作用效果)以上说明的本发明的第一实施方式的模具的制造方法中，由于用通过有机系脱模剂的性能评价方法判定为性能良好的有机系脱模剂处理模具主体的表面，因此可以制造表面脱模性充分的模具。〈透明薄膜的制造方法〉本发明的第三实施方式的表面具有微细凹凸结构的透明薄膜(以下将“表面具有微细凹凸结构的透明薄膜”简称为“透明薄膜”)的制造方法是利用将通过本发明的模具的制造方法获得的模具的表面的微细凹凸结构转印到基材薄膜的表面的所谓的纳米压印法的制造方法。纳米压印法是，将表面具有纳米级微细凹凸的模具按压到树脂等基材上，从而转印模具的微细凹凸的微细成型加工法，主要分类为利用热转印方式的热纳米压印法和利用光固化方式的光纳米压印法，在本发明中可以使用任何一种。热纳米压印法是，将基材(热塑性材料)加热至玻璃化转变温度以上(即提高树脂的流动性)，按压模具，将基材冷却后将模具脱模的方法。光纳米压印法是，在将模具按压到基材表面的活性能量射线固化性树脂组合物上的状态下，照射紫外线等活性能量射线，使活性能量射线固化性组合物固化后，将模具脱模的方法。作为本发明的透明薄膜的制造方法，具有下述工序(A) (C)的方法是优选的(A)在基材薄膜的表面与表面具有微细凹凸结构的反转结构且该表面用有机系脱模剂处理过的模具之间夹持活性能量射线固化性树脂组合物的工序。(B)从基材薄膜侧向活性能量射线固化性树脂组合物照射活性能量射线，使活性能量射线固化性树脂组合物固化，形成固化覆膜，从而获得透明薄膜的工序。(C)将透明薄膜与模具分离的工序。(制造装置)利用具有工序(A) (C)的方法制造透明薄膜例如可以使用图2所示的装置如下进行。在表面具有微细凹凸结构(图示略)的辊状模具20与沿着模具20的表面移动的带状基材薄膜42之间，从罐22供给活性能量射线固化性树脂组合物。在模具20与通过气压缸24调整辊隙压力24的夹辊26之间夹紧基材薄膜42和活性能量射线固化性树脂组合物，使活性能量射线固化性树脂组合物在基材薄膜42与模具20之间均一地遍布，同时填充到模具20的微细凹凸结构的凹部内。从模具20的下方设置的活性能量射线照射装置28透过基材薄膜42将活性能量射线照射于活性能量射线固化性树脂组合物上，使活性能量射线固化性树脂组合物固化，从而形成转印有模具20表面的微细凹凸结构的固化覆膜44。 通过剥离辊30，将表面形成有固化覆膜44的基材薄膜42从模具20上剥离，从而获得图3所示的透明薄膜40。作为活性能量射线照射装置28，高压汞灯、金属卤化物灯等是优选的，该情况下的光照射能量优选为10(Tl0000mJ/cm2。(基材薄膜)作为基材薄膜42，从透过基材薄膜42照射活性能量射线的观点来看，透明性高的薄膜是优选的。作为上述薄膜的材料，例如，可列举出丙烯酸系树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、三乙酰纤维素等。(固化覆膜)固化覆膜44是后述活性能量射线固化性树脂组合物的固化物形成的膜，表面具有微细凹凸结构。使用阳极氧化氧化铝的模具时的透明薄膜40的表面的微细凹凸结构是转印阳极氧化氧化铝表面的微细凹凸结构而形成的，具有由活性能量射线固化性树脂组合物的固化物构成的多个凸部46。微细凹凸结构优选是多个大致圆锥形状、棱锥形状等突起(凸部)排列而形成的所谓蛾眼结构。已知的是，突起之间的间隔为可见光波长以下的蛾眼结构由于折射率从空气的折射率连续增大至材料的折射率，从而，构成了有效的防反射手段。凸部之间的平均间隔优选为可见光的波长以下，即400nm以下。使用阳极氧化氧化铝的模具形成凸部时，凸部之间的平均间隔为IOOnm左右，更优选为200nm以下，特别优选为150nm以下。从容易形成凸部的观点考虑，凸部之间的平均间隔优选为20nm以上。凸部之间的平均间隔是通过电子显微镜观察，测定邻接的凸部19之间的50个间隔(从凸部的中心到邻接的凸部的中心的距离)，将这些值平均而获得的值。在平均间隔为IOOnm时，凸部的高度优选为8(T500nm，更优选为120 400鹽，特别优选为15(T300nm。如果凸部的高度为80nm以上，则反射率明显变低，且反射率的波长依赖性小。如果凸部的高度为500nm以下，则凸部的耐擦伤性变得良好。凸部的高度是通过电子显微镜在30000倍倍率下观察时的凸部的最顶部与凸部之间存在的凹部的最低部之间的距离的测定值。凸部的高宽比(凸部的高度/凸部之间的平均间隔)优选为0.8 5. 0，更优选为1.2 4.0，特别优选为1.5 3.0。凸部的高宽比为1.0以上时，反射率明显变低。凸部的高宽比为5. O以下时，则凸部的耐擦伤性变得良好。凸部的形状是与高度方向正交的方向的凸部截面积从最表面向深度方向连续增加的形状，即，凸部的高度方向的截面形状优选是三角形、梯形、吊钟形等形状。固化覆膜44的折射率与基材薄膜42的折射率之差优选为0. 2以下，更优选为0. I以下，特别优选为0.05以下。如果折射率差为0.2以下，则可抑制固化覆膜44与基材薄膜42的界面上的反射。已知的是，表面具有微细凹凸结构时，如果该表面由疏水性的材料形成，则通过荷叶效应可获得超憎水性，如果该表面由亲水性的材料形成，则可获得超亲水性。固化覆膜44的材料为疏水性时的微细凹凸结构的表面的水接触角优选为90°以上，更优选为110°以上，特别优选为120°以上。如果水接触角为90°以上，则不容易附着水溃，因此可发挥充分的防污性。另外，由于不容易附着水，预期可以防止结冰。
固化覆膜44的材料为亲水性时的微细凹凸结构的表面的水接触角优选为25。以下，更优选为23°以下，特别优选为21°以下。如果水接触角为25°以下，表面附着的污垢可用水洗掉，另外不容易附着油污，因此，可发挥充分的防污性。从可抑制固化覆膜44的吸水导致的微细凹凸结构的变形、与此相随的反射率的上升的观点来看，上述水接触角优选为3。以上。(活性能量射线固化性树脂组合物)活性能量射线固化性树脂组合物含有聚合性化合物和聚合引发剂。作为聚合性化合物，可列举出分子中具有自由基聚合性键和/或阳离子聚合性键的单体、低聚物、反应性聚合物等。活性能量射线固化性树脂组合物还可以含有非反应性的聚合物、活性能量射线溶胶-凝胶反应性组合物。作为具有自由基聚合性键的单体，可列举出单官能单体、多官能单体。作为单官能单体，可列举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸羟丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-乙氧基乙酯等(甲基)丙烯酸酯衍生物；(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯腈；苯乙烯、a -甲基苯乙烯等苯乙烯衍生物；(甲基)丙烯酰胺、N-二甲基(甲基)丙烯酰胺、N-二乙基(甲基)丙烯酰胺、二甲基氨基丙基(甲基)丙烯酰胺等(甲基)丙烯酰胺衍生物等。这些可以单独使用一种，也可以将两种以上组合使用。作为多官能单体，可列举出乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、异氰脲酸环氧乙烷改性二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，5-戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3_ 丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、2，2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基苯基)丙烷、2，2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基乙氧基苯基)丙烷、2，2-双(4-(3-(甲基)丙烯酰氧基-2-羟基丙氧基)苯基)丙烷、1，2-双(3-(甲基)丙烯酰氧基-2-羟基丙氧基)こ烷、1，4-双(3-(甲基)丙烯酰氧基-2-羟基丙氧基)丁烷、ニ羟甲基三环癸烷ニ(甲基)丙烯酸酯、双酚A的环氧こ烷加合物ニ(甲基)丙烯酸酯、双酚A的环氧丙烷加合物ニ(甲基)丙烯酸酯、羟基新戊酸新戊ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酯、ニこ烯基苯、亚甲基双丙烯酰胺等ニ官能性単体；季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧こ烷改性三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧丙烷改性三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧こ烷改性三丙烯酸酷、异氰脲酸环氧こ烷改性三(甲基)丙烯酸酯等三官能単体；丁ニ酸/三羟甲基こ烷/丙烯酸的缩合反应混合物、ニ季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、ニ季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、ニ (三羟甲基丙烷)四丙烯酸酯、四羟甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯等四官能以上的単体；ニ官能以上的氨基甲酸酯基丙烯酸酯、ニ官能以上的聚酯丙烯酸酯等。这些可以单独使用ー种，也可以将两种以上组合使用。
作为具有阳离子聚合性键的单体，可列举出具有环氧基、氧杂环丁基、噁唑基、こ烯氧基等的単体，具有环氧基的単体是特别优选的。作为低聚物或反应性聚合物，可列举出不饱和ニ羧酸与多元醇的缩合物等不饱和聚酯类；聚酯(甲基)丙烯酸酯、聚醚(甲基)丙烯酸酯、多元醇(甲基)丙烯酸酯、环氧(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、阳离子聚合型环氧化合物、侧链上具有自由基聚合性键的上述単体的均聚物或共聚物等。作为非反应性的聚合物，可列举出丙烯酸系树脂、苯こ烯系树脂、聚氨酯、纤维素系树脂、聚こ烯醇缩丁醛、聚酯、热塑性弾性体等。作为活性能量射线溶胶-凝胶反应性组合物，可列举出烷氧基硅烷化合物、硅酸烷基酯化合物等。作为烷氧基硅烷化合物，可列举出下述式(I)的化合物R11xSi(OR12)y · · .(I)其中，Rn、R12各自表示碳原子数广10的烷基，x、y表示满足x+y=4的关系的整数。作为烷氧基硅烷化合物，可列举出四甲氧基硅烷、四异丙氧基硅烷、四正丙氧基硅烧、四正丁氧基娃烧、四仲丁氧基娃烧、四叔丁氧基娃烧、甲基ニこ氧基娃烧、甲基ニ丙氧基娃烧、甲基ニ丁氧基娃烧、_■甲基_■甲氧基娃烧、_■甲基_■こ氧基娃烧、ニ甲基こ氧基娃烧、ニ甲基甲氧基娃烧、ニ甲基丙氧基娃烧、ニ甲基丁氧基娃烧等。作为硅酸烷基酯化合物，可列举出下述式(2)的化合物R21OtSi (OR23) (OR24)OJzR22 * · · (2)其中，R21I24各自表示碳原子数I飞的烷基，z表示3 20的整数。作为硅酸烷基酯化合物，可列举出硅酸甲酷、硅酸こ酷、硅酸异丙酷、硅酸正丙酷、硅酸正丁酷、硅酸正戊酷、こ酰硅酸酯等。利用光固化反应时，作为光聚合引发剂，例如可列举出苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻こ醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚、苯偶酰、ニ苯甲酮、对甲氧基ニ苯甲酮、2，2-ニこ氧基こ酰苯、α，α - ニ甲氧基-α -苯基こ酰苯、苯甲酰甲酸甲酷、苯甲酰甲酸こ酷、4，4’ -双(ニ甲基氨基)ニ苯甲酮、2-羟基-2-甲基-I-苯基丙-I-酮等羰基化合物；一硫化四甲基秋兰姆、ニ硫化四甲基秋兰姆等硫化合物；2，4，6-三甲基苯甲酰ニ甲基氧化膦、苯甲酰ニこ氧基氧化膦等。这些可以单独使用ー种，也可以将两种以上组合使用。利用电子束固化反应时，作为聚合引发剂，例如可列举出ニ苯甲酮、4，4-双(ニこ基氨基)ニ苯甲酮、2，4，6-三甲基ニ苯甲酮、邻苯甲酰基苯甲酸甲酷、4-苯基ニ苯甲酮、叔丁基蒽醌、2-こ基蒽醌、2，4- ニこ基噻吨酮、异丙基噻吨酮、2，4- ニ氯噻吨酮等噻吨酮类；ニこ氧基こ酰苯、2-羟基-2-甲基-I-苯基丙-I-酮、安息香双甲醚、I-羟基环己基-苯基酮、2-甲基-2-吗啉基(4-硫代甲基苯基)丙-1-酮、2-苄基-2-ニ甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁酮等こ酰苯类；苯偶姻甲醚、苯偶姻こ醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚等苯偶姻醚类；2，4，6-三甲基苯甲酰ニ苯基氧化膦、双(2，6- ニ甲氧基苯甲酰基)_2，4，4-三甲基戊基氧化膦、双(2，4，6-三甲基苯甲酰基 )-苯基氧化膦等酰基氧化膦类；苯甲酰基甲酸甲酷、1，7-双吖啶基庚烷、9-苯基吖啶等。这些可以单独使用ー种，也可以将两种以上组合使用。利用热固化反应时，作为热聚合引发剂，例如可列举出过氧化甲こ酮、过氧化苯甲酰、过氧化ニ异丙苯、叔丁基过氧化氢、氢过氧化枯烯、过氧化辛酸叔丁酯、过氧化苯甲酸叔丁酷、过氧化月桂酰等有机过氧化物；偶氮双异丁腈等偶氮系化合物；将N，N- ニ甲基苯胺、N, N- ニ甲基-对甲苯胺等胺与上述有机过氧化物组合的氧化还原聚合引发剂等。聚合引发剂的量相对于100质量份聚合性化合物优选为O. Γιο质量份。聚合引发剂的量低于O. I质量份时，难以进行聚合。聚合引发剂的量超过10质量份吋，固化膜有时着色或机械强度降低。活性能量射线固化性树脂组合物根据需要可以含有抗静电剂、脱模剂、用于提高防污性的氟化合物等添加剤、微粒以及少量的溶剤。(疏水性材料)为了将固化覆膜44的微细凹凸结构的表面的水接触角设定为90°以上，作为可形成疏水性的材料的活性能量射线固化性树脂组合物，优选使用含有含氟化合物或硅酮系化合物的组合物。含氟化合物作为含氟化合物，具有下述式(3)表示的氟烷基的化合物是优选的-(CF2)n-X · · · (3)其中，X表示氟原子或氢原子，η表示I以上的整数，优选为广20，更优选为3 10，特别优选为4 8。作为含氟化合物，可列举出含氟单体、含氟硅烷偶联剂、含氟表面活性剤、含氟聚合物等。作为含氟単体，可列举出氟烷基取代的こ烯基单体、氟烷基取代开环聚合性単体
坐寸ο作为氟烷基取代こ烯基单体，可列举出氟烷基取代(甲基)丙烯酸酯、氟烷基取代(甲基)丙烯酰胺、氟烷基取代こ烯基醚、氟烷基取代苯こ烯等。作为氟烷基取代开环聚合性単体，可列举出氟烷基取代环氧化合物、氟烷基取代氧杂环丁烷化合物、氟烷基取代噁唑啉化合物等。作为含氟単体，氟烷基取代(甲基)丙烯酸酯是优选的，下述式(4)的化合物是特别优选的。CH2=C(R41)C(O)O-(CH2)ni-(CF2)n-X · · · (4)其中，R41表示氢原子或甲基，X表示氢原子或氟原子，m表示f 6的整数，优选f 3，更优选I或2，η表示f 20的整数，优选3 10，更优选4 8作为含氟硅烷偶联剂，氟烷基取代硅烷偶联剂是优选的，下述式(5)的化合物是特别优选的(Rf)aR51bSiYc · · · (5)Rf表示任选含有I个以上醚键或酯键的碳原子数f 20的氟取代烷基。作为Rf，可列举出3，3, 3- ニ氟丙基、十ニ氟_1，I, 2, 2-四氢辛基、3- ニ氟甲氧基丙基、3- ニ氟こ酰氧
基丙基等。R51表示碳原子数f 10的烷基。作为R51，可列举出甲基、こ基、环己基等。Y表示羟基或水解性基团。作为水解性基团，可列举出烷氧基、卤素原子、R52C(O)O (其中，R52表示氢原子或碳原子数f 10的烷基)等。作为烷氧基，可列举出甲氧基、こ氧基、丙氧基、异丙氧基、丁氧基、异丁氧基、叔丁氧基、戊氧基、己氧基、环己氧基、庚氧基、辛氧基、2-こ基己氧基、壬氧基、癸氧基、3，7-ニ甲基辛氧基、月桂基氧基等。作为卤素原子，可列举出Cl、Br、I等。作为R52C(O) O，可列举出 CH3C(O) O、C2H5C(O) O 等。a、b、c表示满足a+b+c=4且a彡I、c彡I的整数,优选a=l、b=0、c=3。作为含氟硅烷偶联剂，可列举出3，3，3-三氟丙基三甲氧基硅烷、3，3，3_三氟丙基ニこ酸氧基娃烧、ニ甲基-3，3, 3-ニ氟丙基甲氧基娃烧、十ニ氟-1，I, 2, 2-四氢羊基ニこ氧基娃烧等。作为含氟表面活性剤，可列举出含氟烷基阴离子型表面活性剤、含氟烷基阳离子型表面活性剂等。作为含氟烷基阴离子型表面活性剤，可列举出碳原子数2 10的氟烷基羧酸或其金属盐、全氟辛基磺酰基谷氨酸ニ钠、3-[ω-氟烷基(CfTC11)氧基]-1-烷基(CTC4)磺酸钠、3-[ω-氟烧酰基(C6 C8)-N-こ基氨基]-1-丙基磺酸钠、氟烧基(C11 C20)羧酸或其金属盐、全氟烷基羧酸(C7I13)或其金属盐、全氟烷基(CfC12)磺酸或其金属盐、全氟辛基磺酸ニこ醇酰胺、N-丙基-Ν-(2-羟こ基)全氟辛基磺酰胺、全氟烷基(CfTCltl)磺酰胺丙基三甲基铵盐、全氟烷基(CfTCltl)-N-こ基磺酰基甘氨酸盐、单全氟烷基(CfTC16)こ基磷酸酯等。作为含氟烷基阳离子型表面活性剤，可列举出含氟烷基脂肪族伯、仲或叔氨基酸，全氟烷基(CfTCltl)磺酰胺丙基三甲基铵盐等脂肪族季铵盐，苯甲烃铵盐、苄索氯铵(benzethonium chloride)、卩比唳鐵盐、咪唑鐵盐等。作为含氟聚合物，可列举出含氟烷基单体聚合物、含氟烷基单体与含聚(氧化亚烷基)単体的共聚物、含氟烷基単体与含交联反应性基团单体的共聚物等。含氟聚合物也可以是含氟烷基单体与可共聚合的其他単体的共聚物。作为含氟聚合物，含氟烷基单体与含聚(氧化亚烷基)单体的共聚物是优选的。作为聚(氧化亚烷基)，下述式(6)所示的基团是优选的-(OR61)p- * · * (6)其中，R61表示碳原子数2 4的亚烷基，P表示2以上的整数。作为R61，可列举出-CH2CH2-、-CH2CH2CH2-、-CH (CH3) CH2-、-CH (CH3) CH (CH3)-等。
聚(氧化亚烷基)可以是由相同的氧化亚烷基单元(OR61)形成的基团，也可以是由2种以上的氧化亚烷基单元(OR61)形成的基团。2种以上的氧化亚烷基单元(OR61)的排列可以是嵌段的，也可以是无规的。硅酮系化合物作为硅酮系化合物，可列举出(甲基)丙烯酸改性硅酮、硅酮树脂、硅酮系硅烷偶联剂等。作为(甲基)丙烯酸改性硅酮，可列举出硅酮(ニ)(甲基)丙烯酸酯等。(亲水性材料) 为了将固化覆膜44的微细凹凸结构的表面的水接触角设定为25。以下，作为可形成亲水性的材料的活性能量射线固化性树脂组合物，优选使用至少含有亲水性単体的组合物。另外，从赋予耐擦伤性、耐水性的观点考虑，更优选含有可交联的多官能単体。其中，亲水性単体与可交联的多官能単体可以是相同的(即亲水性多官能単体)。此外，活性能量射线固化性树脂组合物可以含有其他単体。作为可形成亲水性材料的活性能量射线固化性树脂组合物，更优选使用含有源自下述聚合性化合物的构成单元的组合物。相对于100质量％的构成聚合性化合物的构成单元的合计，优选使用源自聚合性化合物的构成单元包含1(Γ50质量％的源自4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的构成单元、3(Γ80质量％的源自2官能以上的亲水性(甲基)丙烯酸酯的构成单元和(Γ20质量％的源自单官能单体的构成单元的组合物。作为4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯，可列举出双(三羟甲基丙烷)四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇こ氧基四(甲基)丙烯酸酯、ニ季戊四醇羟基五(甲基)丙烯酸酯、ニ季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、琥珀酸/三羟甲基こ烷/丙烯酸的摩尔比1:2:4的缩合反应混合物、氨基甲酸酯基丙烯酸酯类(DAICEL-CYTEC Company LTD.制造EBECRYL220,EBECRYL1290、EBECRYL1290K、EBECRYL5129、EBECRYL8210、EBECRYL8301、KRM8200)、聚醚丙烯酸酯类(DAICEL-CYTEC Company LTD.制造，EBECRYL81)、改性环氧丙烯酸酯类(DAICEL-CYTEC Company LTD.制造，EBECRYL3416)、聚酯丙烯酸酯类(DAICEL-CYTECCompany LTD.制造EBECRYL450、EBECRYL657、EBECRYL800、EBECRYL810、EBECRYL811、EBECRYL812、EBECRYL 1830、EBECRYL845、EBECRYL846、EBECRYL 18 70 )等。这些可以单独使用ー种，也可以将两种以上组合使用。作为4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酷，5官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯是更优选的。源自4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的构成单元的比例优选为1(Γ50质量％，从耐水性、耐化学品性的观点考虑，更优选为2(Γ50质量％，特别优选为3(Γ50质量％。如果源自4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的构成单元的比例为10质量％以上，弾性模量增高，且耐擦伤性改迸。如果源自4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的构成单元的比例为50质量％以下，则表面难以形成小的龟裂，不容易出现外观不良。作为2官能以上的亲水性(甲基)丙烯酸酯，可列举出ARONIX Μ-240,ARONIX Μ260(东亚合成公司制造)、NKESTER ΑΤ-20Ε, NK ESTER ΑΤΜ-35Ε (新中村化学公司制造)等具有长链聚こニ醇的多官能丙烯酸酯、聚こニ醇ニ甲基丙烯酸酯等。这些可以单独使用ー种，也可以将两种以上组合使用。
在聚こニ醇ニ甲基丙烯酸酯中，I分子内存在的聚こニ醇链的平均重复单元的合计优选为6 40，更优选为扩30，特别优选为12 20。如果聚こニ醇链的平均重复单元为6以上，则亲水性变得充分，防污性改迸。如果聚こニ醇链的平均重复单元为40以下，则与4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的相容性变得良好，活性能量射线固化性树脂组合物不容易分离。源自2官能以上的亲水性(甲基)丙烯酸酯的构成单元的比例优选为3(Γ80质量％，更优选为4(Γ70质量％。如果2官能以上的亲水性(甲基)丙烯酸酯的比例为30质量％以上，则亲水性变得充分，防污性改迸。如果2官能以上的亲水性(甲基)丙烯酸酯的比例为80质量％以下，则弹性模量增高，耐擦伤性得到改进。
作为单官能単体，亲水性单官能单体是优选的。作为亲水性单官能単体，可列举出M-20G、M_90G、M-230G (新中村化学公司制造)
等酯基上具有聚こニ醇链的单官能(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸羟烷基酯等酯基上具有羟基的单官能(甲基)丙烯酸酯、单官能丙烯酰胺类、甲基丙烯酰胺丙基三甲基甲基硫酸铵、甲基丙烯酰氧基こ基三甲基甲基硫酸铵等阳离子性单体类等。另外，作为单官能単体，可以使用丙烯酰基吗啉、こ烯基吡咯烷酮等粘度调整剂、提高在物品主体上的密合性的丙烯酰基异氰酸酯类等密合性提高剂等。源自单官能単体的构成单元的比例优选为(Γ20质量％，更优选为5 15质量％。通过使用源自单官能単体的构成单元，部件主体与固化性树脂的密合性改进。如果源自单官能単体的构成单元的比例为20质量％以下，则源自4官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯的构成单元或源自2官能以上的亲水性(甲基)丙烯酸酯的构成单元充足，充分表现了防污性或耐擦伤性。单官能单体作为ー种或两种以上聚合(共聚合)的低聚合度的聚合物可以在活性能量射线固化性树脂组合物中配合(Γ35质量份。作为低聚合度的聚合物，可列举出M-230G(新中村化学公司制造)等酯基上具有聚こニ醇链的单官能(甲基)丙烯酸酯类与甲基丙烯酰胺丙基三甲基甲基硫酸铵的40/60共聚合低聚物(MRC UNITEC Co. , Ltd.制造，MG聚合物)
坐寸ο(用途)作为透明薄膜40的用途，可列举出防反射薄膜、防雾性薄膜、防污性薄膜、憎水性薄膜，更具体而言，可列举出，显示器用防反射薄膜、汽车仪表盖(meter cover)、汽车反光镜、汽车车窗、有机或无机电致发光的光输出效率提高部件、太阳能电池部件等。其中，透明薄膜不限于图示例的透明薄膜40。例如，微细凹凸结构可以不设置固化覆膜44，可以在基材薄膜42的表面直接形成。然而，从使用辊状的模具20有效地形成微细凹凸结构的观点来看，优选在固化覆膜44的表面形成有微细凹凸结构。(作用效果)以上说明的本发明的第三实施方式的透明薄膜的制造方法由于使用通过本发明的模具制造方法获得的表面脱模性充分的模具，因此，可以稳定地制造透明薄膜。实施例以下更具体地通过实施例说明本发明，但本发明不受这些例子限制。(实施例I)
(脱模剂溶液的制备)使用0PT00L DSX (DAIKIN INDUSTRIES, Ltd.制造)作为有机系脱模剂、使用DURASURF HD-ZV (HARVES Co. , Ltd.制造)作为稀释用有机溶剂，制备脱模剂浓度为O. I质量％的脱模剂溶液。(脱模剂的性能评价)将所制备的脱模剂溶液与N，N-ニ甲基甲酰胺(和光纯药ェ业公司制造，特级，介电常数(25°C) 36. 71)按1:1的体积比混合，形成混合物。混合物的透光率用分光光度计(日立制作所公司制造，U-3300)测定。作为參照，使用DURASURF HD-ZV与N，N-ニ甲基甲酰胺按I: I的体积比的混合物。作为测定结果，波长400nm下的透光率为93%。(模具的制造)
将50mmX 50mmX厚度O. 3mm的铝板(纯度99. 99%)在高氯酸/こ醇混合溶液(1/4体积比)中电解研磨。エ序(a)将上述铝板在O. 3M草酸水溶液中在直流40V、温度16°C的条件下进行6小时阳极氧化。エ序(b)将形成了氧化覆膜的铝板在6质量％磷酸/I. 8质量％铬酸混合水溶液中浸溃3小时，去除氧化覆膜。ェ序(C)将上述铝板在O. 3M草酸水溶液中在直流40V、温度16°C的条件下进行30秒阳极氧化。エ序(d)将形成有氧化覆膜的铝板在32°C的5质量％磷酸水溶液中浸溃8分钟，进行细孔孔径扩大处理。エ序(e)将上述铝板在O. 3M草酸水溶液中在直流40V、温度16°C的条件下进行30秒阳极氧化。エ序(f)将上述ェ序(d)和ェ序(e)合计重复4次，最后进行ェ序(d)，获得表面形成有具有平均周期约lOOnm、深度约240nm的大致圆锥形状的细孔的阳极氧化氧化铝的模具主体a。エ序(g)使用淋浴轻轻地冲洗掉模具主体a的表面的磷酸水溶液，然后将模具主体a在流水中浸溃10分钟。エ序(h)用气枪将空气吹送到模具主体a上，去除模具主体a的表面附着的水滴。エ序⑴将模具主体a在上述脱模剂溶液中在室温下浸溃10分钟。エ序(j)
以3mm/SeC的速度将模具主体a从脱模剂溶液中提起。エ序(k)将模具主体a风干15分钟，获得用脱模剂处理过的模具。(活性能量射线固化性树脂组合物)作为活性能量射线固化性树脂组合物，准备以下组成的组合物丁ニ酸/三羟甲基こ烷/丙烯酸的摩尔比1:2:4的缩合反应混合物45质量份，I, 6-己ニ醇ニ丙烯酸酯(大阪有机化学エ业公司制造)45质量份，自由基聚合性硅油(信越化学エ业公司制造，X-22-1602) 10质量份I-轻基环己基苯基丽(Ciba Specialty Chemicals 公司制造，Irgacure 184) ；3质量份。(透明薄膜的制造)在模具的形成有微细凹凸结构的ー侧流入活性能量射线固化性树脂组合物，覆盖作为基材薄膜的丙烯酸薄膜之后，通过紫外线照射机(高压汞灯，累计光量400mJ/cm2)进行固化。接着，通过将固化覆膜与基材薄膜一起从模具脱膜，将模具的微细凹凸结构转印到丙烯酸薄膜上。可以顺利地进行脱膜。(实施例2)不更换实施例I的脱模剂溶液，用相同的脱模剂溶液重复进行合计10次模具主体a的表面处理，測定脱模剂溶液和与实施例I同样的N，N-ニ甲基甲酰胺的1:1体积比的混合物的透光率，结果，波长400nm下的透光率为80%。除了使用上述脱模剂溶液以外，与实施例I同样地，将模具的微细凹凸结构转印到丙烯酸薄膜上。可以顺利地进行脱膜。(实施例3)不更换实施例I的脱模剂溶液，用相同的脱模剂溶液重复进行合计20次模具主体a的表面处理，測定脱模剂溶液和与实施例I同样的N，N-ニ甲基甲酰胺的1:1体积比的混合物的透光率，结果，波长400nm下的透光率为64%。除了使用上述脱模剂溶液以外，与实施例I同样地，将模具的微细凹凸结构转印到丙烯酸薄膜上。可以顺利地进行脱膜。(比较例I)不更换实施例2的脱模剂溶液，用相同的脱模剂溶液进ー步进行5次以上的模具主体a的表面处理，測定脱模剂溶液和与实施例I同样的N，N- ニ甲基甲酰胺的I: I体积比的混合物的透光率，结果，波长400nm下的透光率为35%。除了使用上述脱模剂溶液以外，与实施例I同样地，将模具的微细凹凸结构转印到丙烯酸薄膜上，结果从第一次转印开始不能将丙烯酸薄膜从模具上脱膜。产业上的可利用件用本发明的制造方法获得的模具可用于制造表面具有称之为蛾眼结构的微细凹凸结构的光学薄膜。
权利要求
1.一种模具的制造方法，其具有下述的工序(I) (III): (I)制作表面形成了微细凹凸结构的模具主体的工序； (II)按照下述记载的有机系脱模剂的性能评价方法评价有机系脱模剂的性能的工序；以及， (III)用通过所述工序(II)判定为性能良好的有机系脱模剂处理所述工序(I)中制作的模具主体的表面的工序， 所述有机系脱模剂的性能评价方法是，将有机系脱模剂与试验用有机溶剂混合，通过有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性好坏来判定有机系脱模剂的性能好坏的方法。
2.根据权利要求I所述的模具的制造方法，其中，所述工序(I)是在铝基材的表面形成具有多个细孔的阳极氧化氧化铝而制作模具主体的工序。
3.根据权利要求I所述的模具的制造方法，其中，所述有机系脱模剂是具有水解性甲硅烷基或硅醇基的氟化合物。
4.根据权利要求I所述的模具的制造方法，其中，所述试验用有机溶剂的介电常数是22 40。
5.根据权利要求I所述的模具的制造方法，其中，所述试验用有机溶剂是乙醇或N，N-二甲基甲酰胺。
6.根据权利要求I所述的模具的制造方法，其中，通过有机系脱模剂与试验用有机溶剂的混合物的透光率来判断有机系脱模剂在所述试验用有机溶剂中的溶解性的好坏。
7.一种有机系脱模剂的性能评价方法，其是将有机系脱模剂和试验用有机溶剂混合，通过有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性好坏来判定有机系脱模剂的性能好坏的方法。
8.根据权利要求7所述的有机系脱模剂的性能评价方法，其中，预先将所述有机系脱模剂用稀释用有机溶剂稀释，形成所述脱模剂溶液。
9.根据权利要求8所述的有机系脱模剂的性能评价方法，其中，所述有机系脱模剂用于处理表面形成了微细凹凸结构的模具主体的表面。
10.一种表面具有微细凹凸结构的透明薄膜的制造方法，其包括，将通过权利要求1飞中的任一项所述的模具的制造方法获得的模具的表面的微细凹凸结构转印到基材薄膜的表面。
全文摘要
本发明涉及具有下述工序(I)~(III)的模具的制造方法(I)制作表面形成了微细凹凸结构的模具主体的工序；(II)按照有机系脱模剂的性能评价方法评价有机系脱模剂的性能的工序；以及(III)用通过上述工序(II)判定为性能良好的有机系脱模剂处理上述工序(I)中制作的模具主体的表面的工序；其中，所述有机系脱模剂的性能评价方法为将有机系脱模剂与试验用有机溶剂混合，通过有机系脱模剂在试验用有机溶剂中的溶解性好坏来判定有机系脱模剂的性能好坏的方法。
文档编号B29C33/56GK102666055SQ20108005860
公开日2012年9月12日 申请日期2010年12月22日 优先权日2009年12月24日
发明者中井祐介, 小泽觉 申请人:三菱丽阳株式会社