树脂成形模具及树脂成形装置的制作方法

本发明是涉及一种树脂成形品的成形使用的树脂成形模具及树脂成形装置。

背景技术：

以往，作为树脂成形品的成形使用的树脂成形模具，广泛使用如下构成者，即，内置有能够自形成空腔的模面突出的顶出销，利用该顶出销使空腔内成形的树脂成形品自模面脱模。此种树脂成形模具中，若残存树脂等污渍附着于模面，则树脂成形品会牢固地粘接于模面，因而通过顶出销使树脂成形品脱模时的力(脱模力)会变得过大，而有引起树脂成形品或顶出销的破损的可能。尤其，于为将半导体元件等进行树脂密封而成的树脂成形品(电子零件)的情形时，可能会因过大的脱模力而导致产生龟裂进入至内部的半导体元件等重大不良。

因此，近年来，提出有如下的脱模力测定装置(专利文献1及2)，即，于顶出销的基端设置水晶压电式负载垫圈(负载单元的一个形态)，通过该水晶压电式负载垫圈测定于树脂成形品的脱模时赋予至顶出销的负载，将经测定的负载的最大值视作脱模力，由此能够测定脱模力。根据此种脱模力测定装置，理论上而言，因容易进行脱模力是否异常的判别，故能够容易地判断有无发生成形异常。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开2003-236898号公报

[专利文献2]日本特开2009-96120号公报。

技术实现要素：

[发明所欲解决的课题]

然而，专利文献1及2中所提出的脱模力测定装置因使用水晶压电式负载垫圈作为负载测定手段，故存在实现困难或缺乏通用性的问题。

即，为了通过水晶压电式负载垫圈测定赋予至顶出销的负载，而必须于模具内的顶出销的正下方(或正上方)，以与顶出销同轴的方式埋设水晶压电式负载垫圈。一般而言，于使用例如具有1mm左右的直径的顶出销的情形时，为了确保能耐受得住脱模时的负荷的性能，而需要使用至少具有10mm左右的直径的水晶压电式负载垫圈。因此，专利文献1及2所提出的脱模力测定装置中，是将直径大于顶出销的水晶压电式负载垫圈埋设于模具内。然而，需要根据树脂成形品的形状等，针对一个空腔密集地配置多个顶出销，此种多个顶出销密集配置而成的树脂成形模具中，水晶压电式负载垫圈会与邻接的顶出销发生干涉，因而存在无法采用专利文献1及2中提出的脱模力测定装置的问题。

因此，本发明的目的在于提供能够测定脱模力、能够实现且通用性优异的树脂成形模具及树脂成形装置。

[解决问题的技术手段]

为了达成上述目的，本发明的树脂成形模具是具有用以形成树脂成形用的空腔的模面，上述树脂成形模具的特征在于具备：顶出销，构成为能够自上述模面突出，使通过上述空腔成形的树脂成形品自上述模面脱模；以及脱模力测定机构，以与上述顶出销的基端部接触的方式设置，能够测定于上述树脂成形品的脱模时经由上述顶出销而承受的负载，上述脱模力测定机构具备将上述负载转换为应变的应变产生体、及贴附于上述应变产生体的应变部位的应变计，上述应变产生体具有：无法相对移动地固定于上述树脂成形模具的固定侧端部，以与上述顶出销的基端部接触的方式设置的可动侧端部，以及自上述固定侧端部跨及上述可动侧端部而沿与上述顶出销的轴方向交叉的方向延伸的上下一对平行梁部，上述上下一对平行梁部分别于与上述固定侧端部的边界部分及与上述可动侧端部的边界部分，形成有成为上述应变部位的薄壁部，上述应变计分别贴附于上述上下一对平行梁部的上述薄壁部。

本发明的树脂成形模具较佳为进而具备：模具本体，于表面具有上述模面，自背面跨及上述模面而形成有能够供上述顶出销插通的贯通孔；底板，与上述模具本体的背面侧隔开设置；顶出销保持具，于上述模具本体与上述底板之间以能够相对于该模具本体的背面进退移动的方式设置，于与上述贯通孔对准的位置配置有上述顶出销；以及传热构件，以将上述模具本体与上述底板连结的方式设置，能够将上述底板的热传递至上述模具本体，较佳为上述应变产生体的上述固定侧端部固定于上述顶出销保持具，上述顶出销保持具及上述应变产生体与上述底板隔开设置。

本发明的树脂成形模具中，较佳为上述顶出销保持具于与上述模具本体的上述贯通孔对准的位置，形成有自表面跨及背面而贯通且能够收容上述顶出销的基端部的贯通孔，上述应变产生体的上述固定侧端部固定于上述顶出销保持具的背面，上述应变产生体的上述可动侧端部于上述顶出销保持具的上述贯通孔内与上述顶出销的基端部接触。

而且，本发明的树脂成形模具中，较佳为上述顶出销针对一个上述空腔设置有多个，上述应变产生体及上述应变计设置于针对一个上述空腔而设置的上述多个顶出销中的至少两个以上。

本发明的树脂成形装置的特征在于具备：上述树脂成形模具；以及转移机构，对上述空腔供给树脂。

[发明的效果]

根据本发明，可提供能够测定脱模力、能够实现且通用性优异的树脂成形模具及树脂成形装置。

附图说明

图1为表示本发明的一个实施方案的树脂密封系统的概略构成的主视立体图。

图2为概略地表示本实施方案的树脂成形装置的主视图。

图3为概略地表示本实施方案的下模(树脂成形模具)的主视图。

图4为将沿着图3的a-a'线的剖面的概略构成放大而表示的放大剖面图。

图5为将沿着图3的b-b'线的剖面的概略构成放大而表示的放大剖面图。

图6(a)为表示通常时的应变产生体的概略构成图，图6(b)为表示脱模时的应变产生体的概略构成图。

图7(a)为表示树脂密封成形后使上模开模的状态的概略剖面图，图7(b)为表示自图7(a)的状态起使树脂成形品脱模的状态的概略剖面图。

具体实施方式

以下，使用附图对用以实施本发明的较佳的实施方案进行说明。另外，以下的实施方案并非限定各权利要求的保护范围，而且，实施方案中说明的特征的组合的全部并未限于发明的解决手段所必须。

本实施方案的树脂密封系统1如图1所示，具备：进行树脂密封成形的树脂密封装置(树脂成形装置)10，对树脂密封装置10供给工件(本实施方案中的引线框架w)及树脂输入板的工件输入板供给机构60，以及自树脂密封装置10回收树脂密封后的树脂成形品p的树脂成形品回收机构70，且构成为能够自动且连续地执行自引线框架w及树脂输入板对树脂密封装置10的供给至树脂密封后的树脂成形品p的回收。

工件输入板供给机构60及树脂成形品回收机构70设置于沿树脂密封装置10的两侧面方向延伸的长条的基底80上，树脂密封装置10收容于形成在基底80的大致中央部分的收容空间内。而且，本实施方案的树脂密封系统1中，是以树脂密封装置10为中心，于树脂密封装置10的一侧面侧(图1的左侧)配置有工件输入板供给机构60，于树脂密封装置10的另一侧面侧(图1的右侧)配置有树脂成形品回收机构70。即，本实施方案的树脂密封系统1中，构成为如下，即，自基底80的一端部侧的区域(图1的左端部侧的区域)供给引线框架w及树脂输入板，于基底80的长度方向的大致中央的区域进行树脂密封成形后，于基底80的另一端部侧的区域(图1的左端部侧的区域)进行无用树脂(挑选、流槽及浇口部分处硬化的模具部分)的去除(浇口切断)及树脂成形品p的回收。

树脂密封装置10如图1及图2所示，具备：矩形板状的下平台12，载置于底面上；4根连杆14，自下平台12的四角朝向上方延伸；矩形板状的上平台16，四角连结于4根连杆14的上端部；矩形板状的移动平台18，四角供4根连杆14贯通而于下平台12及上平台16之间以能够沿连杆14升降的方式设置；升降锁模机构20，设置于下平台12与移动平台18之间且使移动平台18升降；报告手段(未图示)，于树脂密封装置10中发生异常等时或预知异常的发生时发出警报；以及控制部(未图示)，执行树脂密封装置10的各种控制。升降锁模机构20能够采用油压式或电动式锁模气缸、或者油压式或电动式肘节杆锁模机构等各种锁模机构。另外，本实施方案的树脂密封装置10中，所述下平台12、连杆14、上平台16、移动平台18及升降锁模机构20因能够采用各种公知的构成，故省略其详细说明。

而且，树脂密封装置10如图2所示，进而具备：设置于移动平台18的上表面的转移机构22，以及设置于上平台16与转移机构2之间的树脂成形模具26。另外，本实施方案的树脂密封装置10中，转移机构22如图4及图5所示，能够采用具备如下各部的各种公知的转移机构，即，多个(本实施方案中为5个)收容罐形成孔部24a，与树脂成形模具26的空腔c连通且能够收容树脂输入板(未图示)；柱塞24b，针对每个收容罐形成孔部24a而配置，将收容于收容罐形成孔部24a内的树脂输入板朝向空腔c挤压；以及加热手段(未图示)，对树脂成形模具26及收容罐形成孔部24a进行加热，因而省略其详细说明。

树脂成形模具26为所谓多罐方式的成形模具，如图2所示，具备：安装于上平台16的下表面的上模28，以及安装于转移机构22的上部而与上模28一并形成空腔c(参照图4)的下模30。另外，图2～图7中，为了容易理解，省略覆盖下模30的周围的保持具区块31a～31c(参照图1)的图示。而且，本实施方案的树脂成形模具26中，上模28除于模具本体28a的下表面(模面)形成用以使树脂流动的挑选部29a、流槽部29b、浇口部29c及空腔部29d的方面等规格上的轻微差异(参照图4)外，具有基本上与下模30上下对称的构造，因而省略其说明及内部构造的图示。

下模30如图3及图4所示，具备：模具本体32，与上模28的模具本体28a对向配置且与上模28的模具本体28a之间能够形成树脂成形用的空腔c；底板34，与模具本体32的背面(下表面)侧隔开设置；顶出机构40，于模具本体32与底板34之间以能够相对于模具本体32的背面进退移动的方式设置；传热构件(支持柱)36，以将模具本体32与底板34连结固定的方式设置而于压制锁模时支持模具本体32，且构成为能够将底板34的热传递至模具本体32；以及脱模力测定机构50，安装于顶出机构40，且构成为能够测定树脂成形品p的脱模时的脱模力。

模具本体32如图4所示为矩形板状的金属构件，其于表面(上表面)具有能够与上模28的模具本体28a的空腔部29d一并形成空腔c的模面32a。于模具本体32中与顶出机构40的后述的顶出销44对准的位置，自背面遍及模面32a而形成有能够供顶出销44插通的贯通孔32b。

底板34由矩形板状的金属构件形成，载置于转移机构22的上表面。该底板34构成为如下，即，经由传热构件36而支持模具本体32，并且将自转移机构22受到的热经由传热构件36传递至模具本体32，而使模具本体32加热。另外，本实施方案的树脂密封装置10中，已说明于转移机构22设置有加热手段，且该加热手段的热被传递至底板34，但不限于此，亦可设为于底板34的内部或模具本体32的内部设置加热手段(未图示)的构成。

传热构件36为由圆筒状的金属构件形成的支持柱，构成为一端部(下端部)固定于底板34的上表面，并且另一端部(上端部)固定于模具本体32的背面，由此以与底板34隔开的位置支持模具本体32。而且，传热构件36构成为将由加热手段加热的底板34的热传递至模具本体32，而将模具本体32加热至既定温度。传热构件36如图3～图5所示，构成为针对一个空腔c设置有多根(本实施方案中为6根)，所述多根传热构件36以包围各空腔c的周围的方式配置，由此抑制各空腔c的周围的模具本体32的挠曲，而抑制毛刺的发生等。

顶出机构40如图3及图4所示，具备：顶出销保持具42，于模具本体32与底板34之间以能够相对于模具本体32的背面进退移动的方式设置；顶出销44，配置于与模具本体32的贯通孔32b对准的位置；以及驱动手段(未图示)，使顶出销保持具42相对于模具本体32的背面进退移动，且上述顶出机构40构成为通过使顶出销保持具42相对于模具本体32的背面前进，而使顶出销44自模具本体32的模面32a突出，使通过空腔c成形的树脂成形品p自模具本体32的模面32a脱模。驱动手段构成为，于顶出销保持具42及安装于其的后述的应变产生体52与底板32隔开的位置支持顶出销保持具42，并且于树脂成形品p的脱模时使顶出销保持具42朝向模具本体32前进。另外，本实施方案的顶出机构40中，驱动手段例如能够采用利用电动马达驱动或压制的下降动作而进行的顶出杆上推等各种公知的构成，因而省略其说明。

顶出销保持具42具备：朝向模具本体32而突出设置有顶出销44的顶板42a，以及通过紧固件而安装于顶板42a的背面从而增强顶板42a的背衬板42b。顶出销保持具42如图4所示，于与模具本体32的贯通孔32b对准的位置形成有自表面跨及背面而贯通的贯通孔43。贯通孔43构成为具有顶板42a的表面侧的开口径小于背衬板42b的背面侧的开口径的台阶形状，且于其内部能够收容顶出销44的基端部44b。而且，于顶出销保持具42中，于与传热构件36对准的位置形成有供传热构件36贯通的传热构件用贯通孔(未图示)。传热构件用贯通孔为了不与传热构件36的周面接触而具有大于传热构件36的外径的开口径。

顶出销44如图4所示，为由朝向模具本体32延伸的销部44a、及形成为直径大于销部44a的基端部44b构成的台阶的销构件。销部44a具有于顶出销保持具42位于待机位置(图4所示的位置)的状态下，与模具本体32的模面32a为大致同一平面的轴方向的长度。而且，销部44a具有小于顶出销保持具42的贯通孔43的表面侧的开口径、且与模具本体32的贯通孔32b的开口径大致相等的外径。基端部44b具有大于顶出销保持具42的贯通孔43的表面侧的开口径、且小于顶出销保持具42的贯通孔43的背面侧的开口径的外径。顶出销44于基端部44b收容于顶出销保持具42的贯通孔43内、且销部44a经由贯通孔43而朝向模具本体32突出的状态下，通过顶出销保持具42的贯通孔43的阶差部与脱模力测定机构50的后述的应变产生体52的可动侧端部52b而夹持基端部44b，由此安装于顶出销保持具42。顶出销44构成为针对一个空腔c设置有多个(本实施方案中为两个)，通过所述多个顶出销44而均等地使树脂成形品p脱模。

脱模力测定机构50为所谓的罗伯瓦(ロバーバル)型负载单元，如图4所示，具备与自顶出销44承受的负载成比例地变形的应变产生体52、及检测应变产生体52的变形量的应变计54a～54d。应变产生体52以与顶出销44的基端部44b接触的方式安装于顶出销保持具42，应变计54a～54d分别贴附于应变产生体52的四个应变部位(后述薄壁部53a～53d)。脱模力测定机构50针对每个顶出销44而配置，本实施方案中，如图4及图5所示，针对一个空腔c而各配置有两个。各脱模力测定机构50如图5所示，为了不与邻接的其他脱模力测定机构50及传热构件36发生干涉，而设置于多个传热构件36的间隙内。以下，对应变产生体52及应变计54a～54d的具体构成进行说明。

应变产生体52如图6(a)所示，为以相对于顶出销保持具42的下表面垂直的方式而竖立设置的铅垂剖面为大致l字状的板状构件，于l字的沿水平方向延伸的部位形成有铁哑铃状的切口，并且，l字的沿铅垂方向延伸的部位以于顶出销保持具42的贯通孔43内与顶出销44的基端部44b接触的方式，且将l字的沿水平方向延伸的部位的端部附近以于顶出销保持具42的背面成为悬臂的方式得到固定。具体而言，应变产生体52具有：固定于顶出销保持具42的背面的固定侧端部52a，以与顶出销44的基端部44b接触的方式设置的可动侧端部52b，以及自固定侧端部52a跨及可动侧端部52b而沿与顶出销44的轴方向交叉的方向延伸的上下一对平行梁部52c、52d。该应变产生体52形成为如下形状，即，大致l字状：可动侧端部52b自顶出销44的基端部44b的下表面沿顶出销44的轴方向延伸，上下一对平行梁部52c、52d自可动侧端部52b的下端附近沿与顶出销44的轴方向正交的方向延伸，固定侧端部52a与上下一对平行梁部52c、52d相连而沿同方向延伸。

固定侧端部52a如图4及图6(a)所示，为了相对于下模30整体无法相对移动，而通过紧固件固定于顶出销保持具42的背面。可动侧端部52b构成为其上端部与顶出销44的基端部44b的下表面接触，其下端部侧与上下一对平行梁部52c、52d的一端部相连。上下一对平行梁部52c、52d分别于与固定侧端部52a的边界部分及与可动侧端部52b的边界部分，形成有成为伴随来自顶出销44的负载而变形的部位(应变部位)的半圆状的薄壁部53a～53d，由此，构成为通过上下一对平行梁部52c、52d、固定侧端部52a、及可动侧端部52b，划定铁哑铃状的切口。构成为于上下一对平行梁部52c、52d的薄壁部53a～53d中的应变计54a～54d所贴附的部位，分别加工出于制造过程时用以特定应变计54a～54d的贴附位置(中心位置)的标志线(未图示)，而提高应变计54a～54d的贴附作业的作业性及精确性。

应变产生体52通过如上述般构成，而构成为当于脱模时经由顶出销44附加负载时，如图6(b)所示，上侧的平行梁部52c的可动侧端部52b侧的薄壁部53a及下侧的平行梁部52d的固定侧端部52a侧的薄壁部53d于压缩方向上应变，上侧的平行梁部52c的固定侧端部52a侧的薄壁部53b及下侧的平行梁部52d的可动侧端部52b侧的薄壁部53c于延伸方向上应变。

应变计54a～54d构成为相应于应变而电阻发生变化，且如图6(a)及图6(b)所示，由如下所构成：第1应变计5a，贴附于上侧的平行梁部52c的可动侧端部52b侧的薄壁部53a；第2应变计54b，贴附于上侧的平行梁部52c的固定侧端部52a侧的薄壁部53b；第3应变计54c，贴附于下侧的平行梁部52d的可动侧端部52b侧的薄壁部53c；以及第4应变计54d，贴附于下侧的平行梁部52d的固定侧端部52a侧的薄壁部53d。所述四个应变计54a～54d以构成惠斯登电桥(ホイートストンブリッジ)电路(未图示)的方式相互连接。

针对每个脱模力测定机构50而形成的惠斯登电桥电路分别经由放大器(未图示)及a/d转换器(未图示)而与数据收集解析手段(未图示)电性连接。本实施方案中，通过多个脱模力测定机构50、放大器及a/d转换器、及共用的数据收集解析手段，构成能够统一测定所有空腔c中的脱模时的脱模力的脱模力测定装置。

数据收集解析手段构成为如下，即，例如由个人电脑等构成，基于应变计54a～54d的电阻值而算出应变值，且基于该应变值，测定经由顶出销44而附加至应变产生体52的可动侧端部52b的负载，即，脱模时的脱模力。

而且，数据收集解析手段构成为基于所测定的负载(脱模力)判定脱模不良，于判定为脱模不良的情形时，对报告手段输出报告信号。具体而言，数据收集解析手段构成为于例如(1)所测定的负载(脱模力)的单独值、(2)既定周期或既定时间内测定出的负载(脱模力)的即时平均值、(3)所测定出的负载(脱模力)的值与前一个平均值的差、(4)所测定出的负载(脱模力)的上升率、(5)即时算出的平均值的上升率、或(6)通过多个脱模力测定机构50而测定的负载(脱模力)的不均(差)等超过了预先既定的设定值(阈值)的情形时，判定为脱模不良。尤其，根据上述(6)的判定方法，能够检测一个空腔c内的局部的污渍，并且能够预测或特定该污渍部位，而且，亦能够进行污渍容易附着的部位等的倾向分析等。

报告手段构成为若自数据收集解析手段接收报告信号，则发出警报。作为此种报告手段的警报的形态，除能够采用通过发出警报音而进行听觉报告的形态外，亦能够适当采用例如使灯等点灯的形态、或于设置于树脂密封装置10的显示画面或连接于树脂密封装置10的个人电脑等的显示画面上显示信息的形态、或使显示画面的一部分或整体闪烁或以既定的颜色点灯的形态等进行视觉报告的形态等。通过由此种报告手段发出的警报，作业人员能够认识到模面32a中的污渍的产生(有清洗的必要性)，并且能够预测由脱模不良引起的树脂成形品p的破损或外观不良。

具备以上构成的本实施方案的树脂密封装置10如图4所示，构成为于通过上模28及下模30夹住引线框架w的状态下，通过柱塞24b加压经熔融的模具材料，按照上模28的挑选部29a→流槽部29b→浇口部29c→空腔部29d的顺序流动，并使其热硬化，由此将配置于空腔c内的电子零件进行铸模，从而制造树脂成形品p。而且，本实施方案的树脂密封装置10构成为于电子零件的模具完成后，通过使移动平台18下降而使下模30离开上模28，并且与其并行或同步地，通过内置于上模28的顶出机构(未图示)使树脂成形品p自上模28的模面脱模。进而，本实施方案的树脂密封装置10构成为如图7(a)所示，于使下模30离开上模28后，如图7(b)所示，通过顶出机构40使树脂成形品p自下模30的模面32a脱模。而且，本实施方案的树脂密封装置10通过脱模力测定机构50(脱模力测定装置)即时地测定或监视使树脂成形品p自上模28的模面脱模时及使树脂成形品p自下模30的模面32a脱模时的脱模力，于检测到脱模不良时，通过报告手段发出警报。

工件输入板供给机构60如图1所示，具备：工件·输入板搬送装置62，将引线框架w(工件)及树脂输入板于树脂密封装置10的上模28及下模30之间进行搬送；支架64，收容多个引线框架w；工件供给装置(推进器)66，将收容于支架64的引线框架w逐片地送出至工件·输入板搬送装置62；输入板供给装置68，对工件·输入板搬送装置62供给树脂输入板；驱动部(未图示)，分别设置于工件·输入板搬送装置62、工件供给装置66及输入板供给装置68；以及控制部(未图示)，以同步或非同步状态控制各驱动部。工件输入板供给机构60构成为通过控制部的控制，能够自动地执行引线框架w及树脂输入板对树脂密封装置10的供给。

树脂成形品回收机构70如图1所示，具备：搬出装置72，自树脂密封装置10搬出附无用树脂的树脂成形品p；浇口切断装置74，通过自上方按压与树脂成形品p一体成形的无用树脂而使无用树脂与树脂成形品p分离；回收容器76，回收被分离而落下的无用树脂；树脂成形品回收装置78，回收去除了无用树脂的树脂成形品p；驱动部(未图示)，分别设置于搬出装置72、浇口切断装置74及树脂成形品回收装置78；以及控制部(未图示)，以同步或非同步状态控制各驱动部。树脂成形品回收装置78具备：搬送装置78a，于浇口切断位置与树脂成形品回收位置之间以能够往复移动的方式设置；支架78b，回收树脂成形品p；以及送出装置(推进器)78c，将已到达树脂成形品回收位置的搬送装置78a中所搭载的树脂成形品p送出至支架78b。树脂成形品回收机构70构成为通过控制部的控制，自动地执行附无用树脂的树脂成形品p自树脂密封装置10的搬出、无用树脂自树脂成形品p的去除及去除了无用树脂的树脂成形品p的回收。

其次，对本实施方案的树脂密封系统1的动作进行说明。另外，以下的树脂密封系统1的动作通过基于预先记忆于记忆部的程式驱动控制各构成要素而执行。

首先，通过工件供给装置66自支架64朝向工件·输入板搬送装置62逐片地送出引线框架w。而且，与其并行地，多个(本实施方案中为5个)树脂输入板自输入板供给装置68交付至工件·输入板搬送装置62。若引线框架w及树脂输入板被交付至工件·输入板搬送装置62，则工件·输入板搬送装置62以保持所收置的引线框架w及树脂输入板的状态而移动至树脂密封装置10内，使引线框架w载置于下模30的模具本体32上，并且使树脂输入板分别投放至转移机构22的收容罐形成孔部24a。

若引线框架w及树脂输入板被交付至树脂密封装置10，则树脂密封装置10执行树脂密封成形。具体而言，树脂密封装置10于以电子零件位于空腔c内的方式并通过上模28及下模3夹住引线框架w的状态下，通过柱塞24b使收容罐形成孔部24a内熔融的模具材料朝向空腔c内流动，通过使流入至空腔c内的模具材料热硬化，而将树脂成形品p转移成形。而且，树脂密封装置10于电子零件的模具完成后，通过使移动平台18下降而使下模30离开上模28，并且与其并行或同步地，通过内置于上模28的顶出机构使树脂成形品p自上模28的模面脱模。进而，本实施方案的树脂密封装置10于使下模30离开上模28后，通过顶出机构40使树脂成形品p自下模30的模面32a脱模。此时，树脂密封装置10通过脱模力测定机构50(脱模力测定装置)即时地测定或监视使树脂成形品p脱模时的脱模力，于检测到脱模不良时，通过报告手段发出警报。

搬出装置72回收树脂密封装置10内的附无用树脂的树脂成形品p，并朝向浇口切断装置74搬送。若通过搬出装置72而附无用树脂的树脂成形品p到达浇口切断装置74，则浇口切断装置74通过自上方按压附着于树脂成形品p的无用树脂而使其与树脂成形品p分离，由此而落下的无用树脂被收集容器76收集。然后，通过树脂成形品回收装置78，回收去除了无用树脂的树脂成形品p。

而且，通过重复执行以上步骤，可自动且连续地制造树脂成形品p。

如以上说明般，本实施方案的树脂成形模具26是具有用以形成树脂成形用的空腔c的模面32a的树脂成形模具，且具备：顶出销44，构成为能够自模面32a突出，使通过空腔c成形的树脂成形品p自模面32a脱模；以及脱模力测定机构50，以与顶出销44的基端部44b接触的方式设置，能够测定于树脂成形品p的脱模时经由顶出销44而承受的负载；脱模力测定机构50具备将负载转换为应变的应变产生体52、及贴附于应变产生体52的应变部位(薄壁部53a～53d)的应变计54a～54d，应变产生体52具有：无法相对移动地固定于树脂成形模具26的固定侧端部52a，以与顶出销44的基端部44b接触的方式设置的可动侧端部52b，以及自固定侧端部52a跨及可动侧端部52b而沿与顶出销44的轴方向交叉的方向延伸的上下一对平行梁部52c、52d，上下一对平行梁部52c、52d分别于与固定侧端部52a的边界部分及与可动侧端部52b的边界部分，形成有成为应变部位的薄壁部53a～53d，应变计54a～54d分别贴附于上下一对平行梁部52c、52d的薄壁部53a～53d。

如此，本实施方案的树脂成形模具26通过具备脱模力测定机构50而能够检测脱模不良，因而对于作业人员而言，能够认识到模面32a的污渍的产生(有清洗的必要性)、或由脱模不良引起的树脂成形品p的破损及外观不良等的可能性。上述优点于如本实施方案的树脂密封系统1般的自动且连续地执行自引线框架w及树脂输入板对树脂密封装置10的供给至树脂密封后的树脂成形品p的回收的全自动系统中尤其有效。

而且，本实施方案的树脂成形模具26构成为通过主要沿与顶出销44的轴方向交叉的方向延伸的脱模力测定机构50(罗伯瓦型负载单元)测定顶出销44的负载，因而与使用必须埋设于顶出销44的正下方的大径的水晶压电式负载垫圈的情形相比，可提高脱模力测定机构50的设置个数及配置的自由度。即，根据本实施方案的树脂成形模具26，能够以邻接的脱模力测定机构50彼此不相互干涉的方式，将各脱模力测定机构50的延伸方向错开而配置，因而能够实现例如于密集设置的多个顶出销44的全部设置脱模力测定机构50的构成等。

而且，本实施方案的树脂成形模具26如上述般，进而具备：模具本体32，于表面具有模面32a，自背面跨及模面32a而形成有能够供顶出销44插通的贯通孔32b；底板34，与模具本体32的背面侧隔开设置；顶出销保持具42，于模具本体32与底板34之间以能够相对于模具本体32的背面进退移动的方式设置，且于与贯通孔32b对准的位置配置有顶出销44；以及传热构件36，以将模具本体32与底板34连结的方式设置，能够将底板34的热传递至模具本体32，应变产生体52的固定侧端部52a固定于顶出销保持具42，顶出销保持具42及应变产生体52是与底板34隔开设置。

根据此种树脂成形模具26，能够降低热对脱模力测定机构50的影响。即，专利文献1及2所提出的脱模力测定装置中，必须将水晶压电式负载垫圈埋设于高温的模具内，而容易受到模具的热的影响，因而存在测定值的可靠性不充分，而且，容易引起脱模力测定装置的劣化的问题。与此相对，本实施方案的树脂成形模具26中，设置有应变计54a～54d的应变产生体52及设置有该应变产生体52的顶出销保持具42是与高热的底板34隔开设置，由此，与使用必须埋设于顶出销44的正下方的现有的水晶压电式负载垫圈的情形相比，能够减小热对脱模力测定机构50的影响。尤其，本实施方案的脱模力测定机构50中，应变产生体52由垂直地竖立设置于顶出销保持具42的下表面的板状构件构成，由此能够减小与顶出销保持具42的接触面积(传热面积)，且，增大散热面积，因而进一步具有散热性优异的优点。

进而，专利文献1及2所提出的脱模力测定装置中，必须将水晶压电式负载垫圈埋设于模具内，因而难以将脱模力测定装置的配线空间确保于模具内。与此相对，本实施方案的树脂成形模具26中，能够将模具本体32与底板34之间的空间用作配线空间，因而能够充分确保配线空间。

以上，已对本发明的较佳的实施方案进行了说明，但本发明的技术范围不限定于上述实施方案所记载的范围。能够于上述各实施方案中添加多种变更或改进。

例如，上述实施方案中，已说明以树脂密封装置10为中心，于树脂密封装置10的一侧面侧配置有工件输入板供给机构60，于树脂密封装置10的另一侧面侧配置有树脂成形品回收机构70，但不限于此，所述树脂密封装置10、工件输入板供给机构60及树脂成形品回收机构70的配置关是能够适当变更。而且，关于工件输入板供给机构60的内部及树脂成形品回收机构70的内部的各构成要素的构成或配置，亦能够适当地加以变更。

上述实施方案中，已说明树脂成形装置进行树脂密封成形的树脂密封装置10，但不限于此，例如亦可为射出形成装置。

上述实施方案中，已说明作为树脂密封对象的工件为引线框架w，但不限于此，亦可为安装有电子零件的电子零件基板。该情形时，亦可仅于上模及下模中的与电子零件基板之间形成空腔的模具中，设置本实施方案的脱模力测定机构50。

上述实施方案中，已说明顶出销44针对一个空腔c设置有两个，但不限于此，亦可为仅设置一个的构成，还可为设置有三个以上的构成。

上述实施方案中，已说明对全部顶出销44设置脱模力测定机构50(应变产生体52及应变计54a～54d)，但不限于此，对一个或多个空腔c设置至少一个脱模力测定机构50即可，亦可为存在未设置脱模力测定机构50的顶出销44的构成。即，可为脱模力测定机构50(应变产生体52及应变计54a～54d)设置于针对一个空腔c而设置的一个或多个顶出销44的全部的构成，亦可为设置于针对一个空腔c而设置的两个以上的顶出销44中的一个的构成，还可为设置于针对一个空腔c而设置的三个以上的顶出销44中的两个以上的构成。而且，不限定为针对树脂成形模具26内的所有空腔c设置脱模力测定机构50的构成，亦可为存在未设置脱模力测定机构50的空腔c的构成。即便于如此存在未设置脱模力测定机构50的空腔c的情形时，亦能够进行脱模力的取样。另外，于所述情形时，未设置有脱模力测定机构50(应变产生体52及应变计54a～54d)的顶出销44可设为基端部4b埋设于顶出销保持具42的构成。

上述实施方案中，已说明应变产生体52的薄壁部53a～53d形成为半圆状，由此于应变产生体52划定铁哑铃状(以细槽连结真圆状的两端开口而成的形状)的切口，但形成于应变产生体52的切口的形状不作特别限定，能够采用例如将以细槽连结椭圆形状或四边形状的两端开口而成的形状(杠铃形状)等各种形状。即，应变产生体52于上下一对平行梁部52c、52d的与固定侧端部52a的边界部分及与可动侧端部52b的边界部分，分别形成有成为应变部位的薄壁部53a～53d即可，薄壁部53a～53d的形状不作特别限定。

符号说明：

1树脂密封系统

10树脂成形装置

22转移机构

26树脂成形模具

28上模

30下模

32模具本体

32a模面

32b模具本体的贯通孔

34底板

36传热构件

42顶出销保持具

43顶出销保持具的贯通孔

44顶出销

44b顶出销的基端部

50脱模力测定机构

52应变产生体

52a固定侧端部

52b可动侧端部

52c、52d平行梁部

53a～53d薄壁部

54a～54d应变计

c空腔

p树脂成形品

w引线框架。