树脂模制装置和树脂模制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种有效地应用于树脂模制装置和树脂模制方法的技术。
【背景技术】
[0002]例如在半导体装置的树脂模制工序中，主要采用从供给口向模腔中注入填充树脂而密封工件的传递成形和向模腔内供给树脂而密封工件的压缩成形。根据对象的工件、成形的包装的形态以及使用的树脂等相应地适当选择该传递成形和压缩成形。例如，在传递成形中大多采用使颗粒树脂固态化而成的片状树脂、液态树脂，在压缩成形中大多采用液态树脂、颗粒树脂。作为采用液态树脂的装置，在日本特开2012 — 101517号公报(专利文献I)中记载有一种具备树脂供给装置的传递成形装置，该树脂供给装置包括用于滴下液态树脂的滴下机构以及用于使滴下机构移动的旋转机构和进退运动机构。
[0003]现有技术文献
[0004]专利f献
[0005]专利文献1:日本特开2012 - 101517号公报
【发明内容】
_6] 发明要解决的问题
[0007]这样，树脂模制装置(模制成形品的制造装置)以如下方式被提供:为了针对传递成形、压缩成形分别作为传递成形装置、压缩成形装置提高生产率，各部结构最佳化。
[0008]另外，在半导体制造工厂中，为了根据产品规格等选择性地使用传递成形装置和压缩成形装置，大多两种装置都具备。在这种情况下，在工厂内需要设置多种装置，因此，设置面积增大，这些各种装置的维持管理费增加，并且由于是选择性地使用，因此，运行率下降，收回成本要花费很长时间，也被认为会对制造成本产生不良影响。
[0009]此外，作为成形品，也存在如下这样的产品:通过在使用传递成形装置进行了传递成形之后使用压缩成形装置进行压缩成形来制造、或者通过使用压缩成形装置进行了压缩成形之后使用传递成形装置进行传递成形来制造。在为了得到这样的成形品而设置使用每种成形方法的树脂模制装置的情况下，要在设置部位取得场地、或者进行设备投资，因此，成形品的制造成本会升尚。
[0010]本发明的目的在于提供一种能够在一个树脂模制装置中进行传递成形和压缩成形的技术。根据本说明书的记述和附图可明确本发明的所述以及其他的目的和新特征。
[0011]用于解决问题的方案
[0012]简单地说明在本申请中公开的发明中的、代表性的方式的概要，内容如下。
[0013]本发明的一技术方案的树脂模制装置具备:冲压部，其具有用于对工件进行树脂模制成形的模制模具；树脂供给部，其构成为能够保持模制成形所采用的树脂并将该树脂供给到所述模制模具；以及控制部，其用于控制所述冲压部和所述树脂供给部，其中，该模制模具具备构成为能够保持向模腔供给的树脂的供给口和用于将该供给口内的树脂加压输送到所述模腔的柱塞，所述冲压部构成为能够在所述模制模具中驱动该柱塞，所述控制部构成为能够选择性地执行进行传递成形的成形处理和进行压缩成形的成形处理，而且构成为根据外部输入结果选择执行设定好的所述成形处理，在所述传递成形处理中，执行将传递成形用的树脂供给到所述供给口，利用所述柱塞将所述传递成形用的树脂加压输送到所述模腔的处理，在所述压缩成形处理中，执行将压缩成形用的树脂供给到模腔的处理，所述树脂供给部构成为能够与所述选择出的成形处理相应地向所述模制模具选择性地供给所述传递成形用的树脂和所述压缩成形用的树脂。在此，所述冲压部具备所述模制模具，该模制模具具有模腔块和包围该模腔块的夹持件，所述模腔块相对于所述夹持件相对地移动而所述模腔的容积发生变化，所述树脂供给部具备在所述冲压部的内部和外部之间移动而保持树脂的树脂保持部，在传递成形处理中，使保持着传递成形用树脂的所述树脂保持部移动到供给口位置，利用所述树脂保持部向所述供给口内供给传递成形用树脂，在压缩成形处理中，使保持着压缩成形用树脂的所述树脂保持部移动到模腔位置或工件位置，利用所述树脂保持部向所述模腔内或者被搬入到所述模制模具中的工件上供给压缩成形用树月旨。还优选的是，所述控制部构成为将设定好的一个所述成形处理连续地执行设定次数。
[0014]由此，即便是自动机，也能够利用简单的结构进行传递成形和压缩成形这两者。因而，能够提升树脂模制装置的附加价值。
[0015]所述一技术方案的树脂模制装置优选的是，在所述夹持件上形成有将所述模腔和所述供给口连通的浇道口，所述冲压部具备用于打开或关闭所述浇道口的开闭机构，所述开闭机构在传递成形处理时成为“打开”状态，在压缩成形处理时成为“关闭”状态。
[0016]由此，在传递成形时能够利用柱塞的作用保持成形压力(树脂压力)，在压缩成形时能够利用模腔块的作用保持成形压力。
[0017]所述一技术方案的树脂模制装置优选的是，在所述模制模具上形成有自一个所述供给口连通的第I和第2所述模腔，在所述第I模腔中进行传递成形，在所述第2模腔中进行压缩成形。
[0018]由此，能够在一个树脂模制装置内同时进行传递成形和压缩成形。
[0019]所述一技术方案的树脂模制装置优选的是，在压缩成形处理中，在所述模腔块处于成形位置的状态下利用所述柱塞调整树脂压力。
[0020]由此，在压缩成形中除了模腔块的作用之外还能够利用柱塞的作用调整(加压或减压)成形压力。
[0021]所述实施方式的树脂模制装置优选的是，使所述树脂保持部直线地通过模腔位置和供给口位置。
[0022]由此，能够使树脂供给部最短程度地移动地向模腔(工件)或供给口供给树脂。
[0023]所述实施方式的树脂模制装置优选的是，对相同的工件在进行了传递成形处理之后进行压缩成形处理，对相同的工件在进行了压缩成形处理之后进行传递成形处理，或者对相同的工件将传递成形处理和压缩成形处理中的至少任一种处理进行多次，在工件上层置树脂。
[0024]由此，不使用传递成形装置和压缩成形装置，仅通过使用一个树脂模制装置就能够对相同的工件进行从传递成形和压缩成形中选择的各种树脂模制成形。
[0025]发明的效果
[0026]简单地说明利用在本申请中公开的发明中的、代表性的方式得到的效果，能够在一个树脂模制装置中自由地实施传递成形和压缩成形。
【附图说明】
[0027]图1是本发明的第I实施方式的树脂模制装置的概略结构图。
[0028]图2是用于说明本发明的第I实施方式的树脂供给部的动作的图，表示供给传递成形用树脂的情况。
[0029]图3是用于说明本发明的第I实施方式的树脂供给部的动作的图，表示供给压缩成形用树脂的情况。
[0030]图4是本发明的第I实施方式的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0031]图5是接着图4的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0032]图6是接着图5的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0033]图7是接着图6的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0034]图8是本发明的第I实施方式的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0035]图9是接着图8的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0036]图10是接着图9的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0037]图11是本发明的第2实施方式的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0038]图12是接着图11的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0039]图13是接着图12的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0040]图14是接着图13的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0041]图15是接着图14的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0042]图16是接着图15的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0043]图17是本发明的第3实施方式的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0044]图18是接着图17的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0045]图19是接着图18的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0046]图20是本发明的第4实施方式的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0047]图21是接着图20的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0048]图22是接着图21的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0049]图23是接着图22的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
[0050]图24是接着图23的动作过程中的树脂模制装置的主要部分的剖视图。
【具体实施方式】
[0051]在以下的本发明的实施方式中，在必要的情况下分为多个部分等进行说明，但在原则上这些部分并不是互无关系，而是一者处于另一者的一部分或全部的变形例、详细说明等的关系。因此，在所有的图中，对具有相同功能的构件标注相同的附图标记，省略其重复的说明。
[0052]此外，对于构成要素的数量(包括个数、数值、量、范围等)而言，除了特别明示的情况、在原理上明确地限定为特定数量的情况等之外，并不限定于该特定的数量，既可以在特定的数量以上，也可以在特定的数量以下。此外，在提及构成要素等的形状时，除了特别明示的情况和在原理上明确地认为不是这样的情况等之外，还包含实质上与其形状等近似或类似的形状等。此外，对于利用同样的结构得到的同样的效果而言，存在省略其重复的说明的情况。
[0053](第I实施方式)
[0054]首先，参照图1说明本实施方式的树脂模制装置100。图1是树脂模制装置100的概略结构图。另外，以下说明作为批量生产用自动机的树脂模制装置100。
[0055]如图1所示，树脂模制装置100具备:冲压部110、110 ;树脂供给部120 ;用于控制冲压部110、树脂供给部120等的控制部130 ;工件供给部140 ;成形前的厚度测量部150A ;预热部160 ;成形后的厚度测量部150B ;打浇口(degate)部180 ;以及工件收纳部190。这些部分作为例如可重组的单元通过单元重组而构成能够改变单元的配置、数量的树脂模制装置100。
[0056]该树脂模制装置100能够自由地进行传递成形和压缩成形，能够利用控制部130控制这些处理(工序)。控制部130构成为能够选择性地执行进行传递成形的成形处理和进行压缩成形的成形处理，而且，构成为能够根据外部输入结果选择执行设定好的成形处理。在这种情况下，控制部130能够将设定好的一个成形处理连续地执行设定次数。例如，将传递成形的工件的个数准备为一千个，其内容被设定好时，控制部130将传递成形执行一千次。这样，控制部130能够将选择好的成形处理执行与准备好的工件的个数相同的次数。
[0057]此外，树脂模制装置100作为工件输送部具备:在各单元之间连结的输送路径200 ;以及在输送路径200上移动的装载机210和卸载机220。装载机210在工件供给部140和冲压部I1之间移动，输送工件W。此外，卸载机220在冲压部110和工件收纳部190之间移动，输送工件W。另外，工件W作为矩形条状的基板(包含搭载在基板上的芯片零件等)进行说明，但工件W也可以是不具有晶圆(半导体晶圆等)、引线框、中介层的功能的载体。
[0058]此外，在树脂模制装置100的前表面设有输入部230，其构成为能够由作业人员进行所需的动作设定等用的输入。该作业人员的输入对于控制部130成为外部输入结果。例如，在输入部230中，构成为能够选择与进行传递成形的模式(成形处理)、进行压缩成形的模式这样的各种动作相当的