废气焚烧用燃烧器的制作方法

本申请发明涉及焚烧废气的腔中使用的废气焚烧用燃烧器，具体地涉及为了减少氮氧化物的产生而改善燃料，配合改善的燃料，改善燃烧护内部燃烧结构的废气焚烧用燃烧器。

背景技术：

在半导体或显示器制造工序等中排放的废气，特别是sih4,dcs,nh3,f2,nf3等的毒性、易爆性及腐蚀性强，不仅对人体有害，若不净化而直接排放到大气中，将引发严重的环境污染。

对于如上所述的废气，在法律上规制有害成分的含量不超过许可浓度，需要经过无害化处理过程后排放到大气中。

上述废气的无害化处理采用燃烧方式、湿化方式、吸附方式、冷却方式、触媒方式等多种气体洗涤装置。其中，燃烧方式一般为用加热器及点火方式的燃烧器器将废气进行无害化的处理方式。

现有的燃烧用燃烧器采用如下方式：使用空气导入口，将反应用空气供给到最上流的燃烧区域之后混合燃料气体与空气,使用废气导入口向下流的燃烧区域供给废气。废气随着火焰的流动方向只集中供给至火焰带(flamezone)中央而产生喷焰(blowout)，具有降低火焰稳定性(flamestability)的问题。

由于燃料气体、空气及废气的混合不顺畅，燃料气体的自燃(self-ignition)、火焰传播(flamepropagation)等导致燃烧特性下降，进而燃烧温度的上升困难，发生废气的不完全燃烧，从而存在处理效率下降的问题。

在燃烧器周边为由诸如尼龙高分子物质包围的结构时，由于燃烧时产生1000℃以上的高温，具有所述高分子物质融化等严重的问题。

为了解决火焰稳定性等问题，推荐使用纯氧，但是，最近却提出纯氧造成燃烧温度过高的问题。这是由于要减少氮氧化物的产生反而需要降低燃烧温度，所述氮氧化物是霾的前驱体。

要降低燃烧温度，就需要变更燃料的种类或流体的供给量。可以最稳定地使用的方法是用压缩空气代替纯氧。使用压缩空气时可以降低燃烧温度，但是具有无法稳定地营造火焰的问题。从工程学观点，需要一种非常精密的焚烧用燃烧器，既克服废气的火焰消尽的严重的状况，又尽可能降低燃烧温度，但是目前为止未能提出有效的解决方案。

专利文献1公开了一种工序废气燃烧用气体燃烧器，包括：燃烧器主体，具有截面积向燃烧室逐级扩张的多级燃烧区域；化油器，设置成可向所述燃烧区域中最上流的燃烧区域供给燃料气体和空气的混合气体；及点火机构，设置成可使供给到所述最上流的燃烧区域的所述混合气体点火；在所述最上流的燃烧区域连通了供给反应用空气的多个空气导入口，在与所述最上流的燃烧区域连续的下流的燃烧区域连通了供给废气的多个废气导入口。

专利文献1的结构为空气和燃料气体的混合气体喷射到燃烧器主体的上流燃烧区域，喷射到上流燃烧区域的混合气体被火花塞的火花点火燃烧，在混合气体的流动弱的情况下，具有点火的火焰向燃烧器主体的方向逆流的问题。

专利文献2公开了一种废气燃烧用燃烧器，包括：喷嘴部，具备流入毒性废气的至少一个废气流入部和与所述废气流入部连接的废气流出口，气体流入口及触媒流入口与所述废气流出口连接，以便从形成于一侧的所述气体流入口及所述触媒流入口接受废气燃烧用气体及触媒后与所述废气混合而生成混合气体；燃烧部，安装于所述喷嘴部以便与所述废气流出口相通，将从所述废气流出口流出的所述混合气体点火使其燃烧；及冷却清洗部，具备喷射冷媒的至少一个以上的喷嘴，以便对燃烧后从所述燃烧部流出的高温的燃烧气体进行冷却，去除含在所述燃烧气体中的水溶性气体，同时清洗在所述燃烧部生成的燃烧残渣。

专利文献2的结构为火花塞设置于燃烧腔的一侧，燃烧用气体的流速弱的情况下，无法解决火焰向喷嘴部方向形成的问题。

专利文献3公开了一种布朗气(browngas)燃烧器，包括：流入管，流入布朗气；壳体，在前端部形成有插入槽；气体流路，所述气体流路在所述壳体的中央沿着长度方向形成，且从所述流入管流入的布朗气通过该气体流入而经由前端侧的气体流出口流出；主体，所述主体包括在所述气体流路的外侧沿着长度方向形成的水冷式或空冷式的冷却流路；连接器，所述连接器连接所述流入管和主体且具有流入孔及排出孔，所述流入孔与所述冷却流路连接且流入用于冷却的水或空气，所述排出孔向外部排出冷却所使用的水或空气；及气体排出管，插入结合于所述插入槽且覆盖所述主体的前端部，具有直径小于所述气体流出口的内径且形成有排出布朗气的气体排出路；固定片，连接于所述气体排出管的后端部，并固定于所述插入槽的内周面，在内部孔插入连接所述气体流路的前端部；轮圈部，连接在所述气体排出管的前端部且向外侧放大形成；及用于防止逆火的盖子，包括火口的盖子，所述火口在所述轮圈的内部凹入形成，内壁面圆形凹陷形成。

但是，专利文献3完全没有公开可以确认点火与否的传感器等的结构及位置。

另一方面，所有专利文献均完全没有考虑在燃烧条件不稳定的状态下(用压缩空气代替纯氧等情况)，火焰也不消失而能够稳定运行的技术。

因此，需要准备如下的将废气燃烧去除的燃烧器的技术解决方案：完全杜绝火焰逆流，改善起火检测性能，防止燃烧器的入口被废气堵住，在为了减少氮氧化物的产生而降低燃烧温度的状态下，火焰也不消失，可以稳定运行。

在先技术文献

专利文献

专利文献0001：韩国公开专利公报第2004-0032262号

专利文献0002：韩国注册专利公报第0666673号

专利文献0003：韩国注册专利公报第1572225号

技术实现要素：

所要解决的课题

本发明是为了解决上述的问题而提出的，其目的在于，提供一种废气焚烧用燃烧器，在该废气焚烧用燃烧器中，变更对用于燃烧废气的燃料气体进行点火的火花塞的位置，在燃烧器主体的内部结构设置内径不同的2种以上的喷嘴，不仅可以防止燃料气体的火焰方向逆流，提高检测起火与否的性能，在为了减少氮氧化物的产生而降低燃烧温度的状态下，火焰也不消失，可以稳定地运行。

课题解决方案

为了实现上述目的，本发明的废气焚烧用燃烧器，用于焚烧废气的腔室中，所述废气焚烧用燃烧器包括：燃烧器主体120，与废气流入部隔开配置；燃料气体供给管130，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给燃料气体和第一氧化剂；氧化剂供给管131，与所述燃烧器主体连通且向所述燃烧器主体内部供给第二氧化剂；一个以上的喷嘴机构，所述喷嘴机构用于控制所述燃料气体及氧化剂的流动且包括2种以上的喷嘴，所述喷嘴机构位于所述燃烧器主体的内部且配置在所述燃料气体供给管后端。

另外，可以包括火花塞，所述火花塞与所述燃烧器主体的侧面连通且配置于所述喷嘴机构的后端。

所述喷嘴机构包括：缓冲喷嘴机构，设置在所述燃料气体供给管的后端及所述氧化剂供给管的前端；及主喷嘴机构，设置于所述氧化剂供给管的后端及所述火花塞的前端。

所述2种以上的喷嘴分别为在所述燃料气体通过的所述燃烧器主体内部配置的甜甜圈形态，在甜甜圈周边部设有多个贯通孔。

所述2种以上的喷嘴中至少一个以上的喷嘴，从中心向放射方向以多个同心圆形态形成所述多个贯通孔，所述贯通孔的直径从中心越向放射方向外侧面越大。以所述多个同心圆形态形成的贯通孔直径为其外侧以同心圆形态形成的贯通孔直径的0.1至0.5倍。

所述2种以上的喷嘴中至少一个以上的喷嘴的所述多个贯通孔中有至少一对以上的如下的贯通孔：相对于彼此最相邻的具有相同直径的贯通孔中心之间的距离(s)，所述彼此最相邻的具有相同直径的贯通孔直径(d)的比(s/d)为1至5。

所述废气焚烧用燃烧器可以包括：第一紫外线传感器，形成于所述燃烧器主体的长度方向末端；第一紫外线传感器管道，用于所述第一紫外线传感器的检测，从所述燃烧器主体内部中心贯通至所述喷嘴机构；第二紫外线传感器，在所述喷嘴机构后端与所述燃烧器主体的侧面连通且形成于所述火花塞的相对面。

所述燃烧器主体包括：燃烧器上部主体，形成有第一紫外线传感器、所述缓冲喷嘴机构、所述燃料气体供给管及所述氧化剂供给管；燃烧器下部主体，上端与所述燃烧器上部主体连接，形成有所述火花塞及所述第二紫外线传感器；所述主喷嘴机构配置在所述燃烧器下部主体的上端和燃烧器上部主体的下端部。

在所述主喷嘴机构的下端部至所述燃烧器下部主体终端的距离(hfg)与所述燃烧器下部主体的直径(dn)的比(hfg/dn)为0至10。

供给到所述燃料气体供给管的燃料流量(qf)和第一氧化剂流量(qa1)的流量比(qf/qa1)为1至25，供给到所述燃料气体供给管的第二氧化剂流量(qa2)与所述燃料气体的理论上完全燃烧必要空气量相比为0至300％。

所述主喷嘴机构上形成的多个贯通孔的直径可以全部相同。所述燃烧器主体包括：燃烧器冷却主体，包围所述燃烧器上部主体及所述燃烧器下部主体形成；燃烧器主体支承架，包围所述燃烧器冷却主体，与所述燃烧器上部主体凸缘结合；所述燃烧器主体形成有与所述燃烧器主体支承架的一侧连通形成的工艺冷却水(processcoolingwater)流入口及与所述燃烧器支承架的另一侧连通形成的工艺冷却水流出口。

所述燃料气体混合了2种以上的气体，所述燃料气体包括液化天燃气(liquidnaturalgas,lng)和纯氧及/或压缩干燥空气(compresseddryair,cda)。

所述废气流入部包括2个以上。

发明效果如下：

如上所述，本申请发明的废气焚烧用燃烧器，将火花塞配置为与燃烧主体的侧面连通的结构，可以防止燃烧气体在燃烧器主体点火。

另外，形成有可以控制燃料气体的流动的结构的喷嘴束，因此是在燃料气体流速高的情况下也可以点火的结构。

另外，通过增加燃烧器主体的内径，可以防止废气堵住燃烧器入口的问题。

另外，为了减少氮氧化物的产生，在降低燃烧温度的状态下，火焰也不消失，具有可以稳定运行的优点。

附图说明

图1为根据本申请发明的一实施例的废气焚烧用燃烧器的立体图。

图2为根据本申请发明的一实施例的废气焚烧用燃烧器的剖面图。

图3为根据本申请发明的一实施例的废气焚烧用燃烧器的主喷嘴立体图。

图4为根据本申请发明的一实施例的废气焚烧用燃烧器的燃烧器下部主体的结构剖面图。

图5为根据本申请发明的一实施例的废气焚烧用燃烧器的工艺冷却水结构剖面图。

图6为根据本申请发明的一实施例的燃料及1次氧化剂流量的火焰稳定化区域实验资料。

图7为根据本申请发明的一实施例的燃料流量的co及nox生成量实验资料。

其中，附图标记说明如下：

100：废气焚烧用燃烧器；110：燃烧器支承部；120：燃烧器主体；121：燃烧器上部主体；122：燃烧器下部主体；123：燃烧器冷却主体；124：燃烧器主体支承架；125：工艺冷却水流入口；126：工艺冷却水流出口；127：吐出孔；130：燃料气体供给管；31：氧化剂供给管；140：火花塞；151：缓冲喷嘴机构；152：主喷嘴机构；160：废气流入部；171：第一紫外线传感器；172：第二紫外线传感器；173：第一紫外线传感器管；174：第一紫外线传感器连接插口。

具体实施方式

为了实现如上所述的目的，本申请发明的废气焚烧用燃烧器100，用于焚烧废气的腔室中，所述废气焚烧用燃烧器100包括：燃烧器主体120，与废气流入部160隔开配置；燃料气体供给管130，与所述燃烧器主体120连通且向所述燃烧器主体120内部供给燃料气体和第一氧化剂；氧化剂供给管131，与所述燃烧器主体120连通且向所述燃烧器主体120内部供给第二氧化剂；一个以上的喷嘴机构，所述喷嘴机构用于控制所述燃料气体及氧化剂的流动且包括2种以上的喷嘴，所述喷嘴机构位于所述燃烧器主体的内部且配置在所述燃料气体供给管后端。

所述燃烧器主体120可以结合在燃烧器支承部110。

所述燃烧器支承部110位于腔室(未图示)上端，为了防止流入到所述腔室内部的废气从所述腔室流出，所述燃烧器支承部110可以结合为密封腔室的结构，可以在所述燃烧器支承部110的外周边形成用于与腔室固定的结构，或者使用螺丝等固定用部件固定。

所述燃烧器主体120为与所述燃烧器支承部110连通的结构，废气流入部160也是与所述燃烧器支承部110连通的结构,所述废气流入部160与所述燃烧器主体120隔开设置。因此，所述废气直接注入到位于所述燃烧器支承部110的下部的腔室内部，在腔室内部，该被注入的废气与在所述燃烧器主体120被点火并通过燃烧器主体120向腔室方向喷出的火焰相遇而燃烧。另一方面，废气流入部160可以是不与燃烧器支承部连通、而是与腔室直接连通的结构。

所述燃料气体供给管130与所述燃烧器主体120连通，通过所述燃料气体供给管130流入的燃料气体被位于所述燃烧器主体120的侧面的火花塞140点火。所述火花塞140形成于比所述燃料气体供给管130更接近燃烧器支承部110的下端，从所述燃料气体供给管130流入的燃料气体利用自身的流速通过燃烧器支承部110而向腔室方向形成流动，所以被所述火花塞140点火的燃料气体向腔室方向形成火焰。

所述燃料气体供给管130可以向所述燃烧器主体120以切线方向注入燃料气体。

所述燃料气体可以形成漩涡。

所述燃烧器主体120可以由不锈钢材料构成，即使燃烧器主体由于点火的燃料气体的逆流加热，也可以防止燃烧器主体熔融。

所述燃烧器主体120的内径为10mm～30mm，详细地可以形成为10mm～20mm，通过内径的调节，可以形成较快的燃料气体的流速，可以防止被点火的燃料气体逆流的问题。

另外，所述燃烧器主体120的内径设定为较大，可以防止废气附着于与腔室内部连通的燃烧器主体120部分而堵塞的情形。

与此相关，图1为根据本申请发明的一实施例的废气焚烧用燃烧器100的立体图。

图2为根据本申请发明的一实施例的废气焚烧用燃烧器100的剖面图。

参考图1，废气焚烧用燃烧器100可以包括：燃烧器支承部110，所述燃烧器支承部110与废气流入的腔室(未图示)结合且形成为平面上圆形的形态；燃烧器主体120，所述燃烧器主体120与所述燃烧器支承部110连通且与所述废气流入部160隔开配置；燃料气体供给管130，所述燃料气体供给管130与所述燃烧器主体120连通而向所述燃烧器主体120内部供给燃料气体和第一氧化剂；所述追加供给第二氧化剂的氧化剂供给管131；一个以上的喷嘴机构，所述喷嘴机构用于控制所述燃料气体及氧化剂的流动且包括2种以上的喷嘴，所述喷嘴机构位于所述燃料装置主体120的内部且配置于所述燃料气体供给管130后端。

在燃烧器支承部110的外周可以形成与腔室结合的结构，但是图1省略这样的结构。不过只要是结合燃烧器支承部110和腔室而能够完全密闭腔室的结构，就不特别限制为特定的结构。

燃料装置主体120位于燃烧器支承部110的中心部，在燃料装置主体120的外周边，与燃料装置主体120隔开形成多个废气流入部160。燃料装置主体120及废气流入部160为与燃烧器支承部110连通的结构，燃料气体在燃料装置主体120内部被点火，将火焰形成至腔室内部，废气通过废气流入部160直接注入到腔室，燃料气体和废气可以在腔室内部燃烧。图1中示出形成4个废气流入部160的结构，废气流入部160的个数及大小可以变更为多样的方式。

所述燃料装置主体120可以包括：

燃料装置上部主体121，形成有所述第一紫外线传感器171、缓冲喷嘴机构151、所述燃料气体供给管130及所述氧化剂供给管131；

燃烧器下部主体122，上端与所述燃烧器上部主体121连接，形成有所述火花塞140及所述第二紫外线传感器172；

燃烧冷却主体123，包围所述燃烧器上部主体121及所述燃烧器下部主体122形成；

燃烧器主体支承架124，包围所述燃烧器冷却主体123，与所述燃烧器上部主体121凸缘结合。

所述主喷嘴机构152可以配置在燃烧器下部主体122的上端和所述燃烧器上部主体121的下端部。

在燃烧器主体120的上端设有第一紫外线传感器171，在与火花塞140相对的方向设有第二紫外线传感器172。第一紫外线传感器171位于燃料气体的移动方向的相反方向，因此不用担心被点火的燃料气体的火焰损伤，可以准确地检测出形成于相对方向的火焰。所述第二紫外线传感器172位于火花塞140的相对方向，配置在有利于检测火花塞有无点火的位置。

这样，可以通过第二紫外线传感器172检测火花塞140的准确的工作与否，可以通过第一紫外线传感器171检测燃料气体是否被点火，可以提高紫外线传感器的点火检测判断的可靠性。

一般，作为燃料气体使用纯氧及液化天燃气(lng)时，燃烧温度升高，具有nox的产生量增加的问题，有必要将燃烧温度设定为一定的范围。

因此，所述燃料气体可以构成为包括氧且至少混合2种以上的气体的形态，例如，所述燃料气体可以包括液化天燃气(liquidnaturalgas，lng)和纯氧及/或压缩干燥空气(compresseddryair，cda)。为了降低燃烧温度，优选附加压缩干燥空气或代替纯氧供给压缩干燥空气。

所述燃烧器主体120垂直连通于所述燃烧器支承部110，所述2种以上的喷嘴分别在所述燃料气体通过的燃烧器主体120的内部以甜甜圈形态配置，在甜甜圈周边部设有多个贯通孔。

所述喷嘴机构可以包括：缓冲喷嘴机构151，设置于所述燃料气体供给管130的后端及所述氧化剂供给管131的前端；以及主喷嘴机构152，设置于所述氧化剂供给管131的后端及所述火花塞140的前端。

在喷嘴机构中，在贯通孔的内径相同时，不容易点火。因此，本申请发明中，可以由贯通孔的内径彼此不同的2个喷嘴构成。在一个喷嘴中也可以配置内径不同的贯通孔。

另外，所述燃烧器主体120可以包括火花塞140，所述火花塞140与燃烧器支承部110垂直连通，所述火花塞140连通于所述燃烧器主体120的侧面且配置于所述喷嘴机构的后端。

在这种情况下，位于中心部的贯通孔的内径最大，配置于外侧的贯通孔可以构成为内径逐步减少的形态，贯通孔可以构成为放射型同心圆形态。

所述主喷嘴机构152的贯通孔优选彼此之间以一定的间隔隔开配置。

与此相关，图3为根据本申请发明的一实施例的废气焚烧用燃烧器的主喷嘴机构152的立体图。

图3的燃料气体通过喷嘴机构的流速可以形成为2m/s～70m/s，所述喷嘴机构包括多个贯通孔，所述流速与贯通孔的内径大小成正比，其中，缓冲喷嘴机构151的流速相对大，主喷嘴机构152的流速与内径大小成正比地减少。

在所述喷嘴机构的下端设有火花塞140，对通过喷嘴机构的燃料气体进行点火。

通过所述缓冲喷嘴机构151的燃料气体可以强到不能点火的程度的流速流动，通过主喷嘴机构152的燃料气体以可以点火的流速流动。

另外，所述相邻的贯通孔中心之间的间距s与贯通孔直径d的比s/d可以是1至5。

所述相邻的贯通孔中心之间的间距s与贯通孔直径d的比s/d，结构上不可能存在s/d为0.1以下；当5.0以上时，火焰孔(flamehole)之间的距离过远，火焰传播及燃烧器结构构成可能存在困难。

另外，与所述喷嘴的中心轴相邻的第一个以同心圆形态形成的贯通孔的直径可以是在其紧邻外侧以同心圆形态形成的贯通孔直径的0.1～0.5倍。

另外，所述燃烧器主体120包括：燃烧器上部主体121，形成有所述第一紫外线传感器171、所述缓冲喷嘴机构151、所述燃料气体供给管130及所述氧化剂供给管131；燃烧器下部主体122，上端与所述燃烧器上部主体121连接，形成有所述火花塞140及所述第二紫外线传感器172；所述主喷嘴机构152可以配置在所述燃烧器下部主体122的上端和所述燃烧器上部主体121的下端部。

另外，所述燃烧器主体120可以由不锈钢材质构成。

另外，所述燃烧器主体120的内径可以是10mm～30mm。

另外，通过所述喷嘴的燃料气体的流速可以是2m/s～70m/s。

图4为根据本申请发明的一实施例的废气焚烧用燃烧器的燃烧器下部主体122的结构剖面图。

另外，从所述主喷嘴机构152的下端部到所述燃烧器下部主体122终端的距离hfg和所述燃烧器下部主体122的直径dn的比hfg/dn可以是0～10。

从所述主喷嘴机构152的下端部到所述燃烧器下部主体122终端的距离hfg和所述燃烧器下部主体122的直径dn的比hfg/dn为0时，没有形成所述燃烧器的火焰导引；为10的情况为止，形成火焰导引，可以引导稳定地形成火焰。

从所述主喷嘴机构152的下端部到所述燃烧器下部主体122终端的距离hfg和所述燃烧器下部主体122的直径dn的比hfg/dn大于10时，虽然结构上有可能性，但是判断为实际上没有火焰导引效用。

另外，供给到所述燃料气体供给管130的燃料流量qf和第一氧化剂流量qa1的流量比qf/qa1可以是1至25。

所述第一氧化剂的流量可以设定为可燃极限范围内，若所述燃料为可燃性气体，就不限制其燃料形态。

所述燃料可以是碳原子数为1至6的碳氢化合物，优选为lng、lpg中的某一个。

所述氧化剂只要是包含氧气的气体，就不限于其氧化剂形态，优选可以为空气。

另外，供给到所述氧化剂供给管131的第二氧化剂流量qa2与所述燃料气体的理论上完全燃烧所需空气量相比可以为0至300％。

所述第二氧化剂被供给到所述燃烧器上部主体121及所述燃烧器下部主体122的外表面和所述燃烧器冷却主体123的内表面之间，可以在所述燃烧器下部主体122终端以环空形态供给。

供给到所述氧化剂供给管131的第二氧化剂流量qa2与所述燃料气体的理论上完全燃烧所需空气量相比可以为0至300％，优选为10％至200％，更优选15％～100％。

若脱离上述条件，可能无法形成稳定的火焰。

另外，形成于所述主喷嘴机构152的多个喷嘴的直径可以相同。

另外，所述燃烧器主体120包括：燃烧器冷却主体123，包围所述燃烧器上部主体121及所述燃烧器下部主体122形成；燃烧器主体支承架124，包围燃烧器冷却主体123，与所述燃烧器上部主体121凸缘结合；所述燃烧器主体120可以形成工艺冷却水流入口125及工艺冷却水流出口126，所述工艺冷却水流入口125与所述燃烧器主体支承架124的一侧连通形成，所述冷却水流出口126与所述燃烧器主体支承架124的另一侧连通形成。

在所述燃烧器主体120外壳可以附加冷却部，所述冷却部可以在所述燃烧器主体120的外周边以套形态配置。

火花塞和第二紫外线传感器172位于以燃烧器主体120为中心相对的方向，在与燃烧器支承部110连通的区间的燃烧器主体120的外周边，配置包围燃烧器主体120的结构的冷却结构。冷却结构构成为工艺冷却水(processcoolingwater，pcw)流入后流过燃烧器主体的外周边而冷却燃烧器主体后排出。

所述燃烧器的废气处理温度，在仅运行燃烧器主体120自身时为1500℃至2000℃，但是处理废气时变成1000℃左右。本申请发明可以是附加有如上所述的用工艺冷却水冷却燃烧器主体的冷却结构的结构，可以防止燃烧器主体120过热。

所述燃烧器主体120可以是在与所述燃烧器支承部110连通的周边形成有防止粒子堆积的吐出部的结构，具体地，所述吐出部可以是沿着所述燃烧器主体120与所述燃烧器支承部110连通的周边形成有吐出孔127的结构，吐出孔127排出气体。

参考图4，冷却结构形成为包围燃烧器120的外周边的结构，在燃烧器主体120和燃烧器支承部110连通的周边部形成有吐出孔127，所述吐出孔127排出通过单独的氧化剂供给管供给的气体。

沿着燃烧器主体120及燃烧器支承部110连通的部分的周边，所述吐出孔127以环形态或以形成多个孔的结构构成，所述多个孔以一定间隔隔开。因此，所述气体在通过所述燃烧器支承部110而向腔室移动的燃烧器主体120周边，朝向腔室内部喷射，可以防止腔室内部的废气附着于燃烧器主体120周边。

通过所述吐出孔127排出的气体，例如可以是压缩干燥空气cda。

下面，参考根据本申请发明的实施例进行说明，但是这是为了更容易理解本申请发明，本申请发明的范围不受其限制。

(实施例)

图6为根据本申请发明的一实施例的燃料及1次氧化剂流量的火焰稳定化区域实验资料。

图6是将燃料气体的流量变化为4至30lpm，将第一氧化剂的流量变化为0至600lpm的同时，利用紫外线传感器确认火焰稳定化区域的实验结果。

火焰条件设定为当量比0.9，第二氧化剂以50lpm供给。

图7为根据本申请发明的一实施例的燃料流量的co及nox生成量实验资料。

图7是将燃料气体的流量变化为5至30lpm，将第一氧化剂的流量变化为0至600lpm的同时，测量产生的一氧化碳co及氮氧化物nox的实验结果。在当量比为0.9的条件下，在整个实验区间氮氧化物nox不超过30ppm，一氧化碳co也维持10ppm以下。

在本申请发明所属的领域，普通技术人员根据所述内容，可以在本申请发明的范围内进行多样的应用及变形。