专利名称：多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种生产多晶硅的还原炉，尤其是涉及一种多晶硅还原炉 之水冷双层玻璃视镜。属多晶硅制备技术领域。
背景技术：
多晶硅是生产单晶硅的直接材料。高纯度多晶硅是光电转换电池、集 成电路等半导体器件的基础材料。随着世界半导体工业的迅猛发展、超大 规格集成电路的大量应用、光伏电池的大量需求，整个世界对多晶硅的需 求量在大幅增加。
生产多晶硅的方法有多种，氢还原法是最常见的一种方法。该方法是 把提纯的硅卤化物和净化好的氢气作为原料通入还原炉，在高温环境中， 硅卤化物与氢气发生化学反应，生成多晶硅，并沉积在发热体(小直径的 硅棒)上。化学反应继续进行，沉积在发热体上的多晶硅越来越多，硅棒
渐渐变粗，最后生成了有效高度约为2. 8m、直径约为150mm的多晶硅硅棒。 多晶硅还原炉是多晶硅硅棒的最终生成设备，在硅卤化物被氢气还原 生成多晶硅硅棒的过程中，会放出大量的热，还原炉内的工作温度超过1000 °C，还原炉的冷却直接关系还原炉的安全使用和还原炉的使用寿命。 多晶硅还原炉，国内已有相关研究，下面分别予以说明。专利号ZL 200420060144.8也公开了一种多晶硅氢还原炉，该还原炉 包括带有冷却水腔的封头和炉体，底盘，底盘下的进气管和排气管，底盘 上的电极，所述电极为12对、即24个电极，且在底盘上沿两个圆周均布 设置；所述进气管主要由一个水平环管和9个喷嘴连通构成，其中8个喷 嘴位于两圈电极之间、且沿同一圆周均布设置在底盘上， 一个喷嘴设置在 底盘中心位置。8对电极中设置在外圆周上，其余4对电极设置在内圆周 上。电极中，正、负电极在底盘上逐一间隔设置。底盘是水冷式结构，其 上设置冷却水进口和出口。炉体上设置有双层玻璃结构的视窗。封头顶部 设置有连接法兰。该专利的主要不足之处在于视镜未采用水冷结构，不能 保证在还原炉内超过100CTC高温条件下长期稳定使用。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足，提供一种带有水冷结构的多晶硅还 原炉之水冷双层玻璃视镜。
本发明的目的是这样实现的 一种多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜，
包括内筒、外筒、法兰ni、法兰II、法兰I、内层玻璃、外层玻璃、冷却
水进口 I 、冷却水进口II、冷却水出口II和冷却水出口 I ，所述内筒与外
筒同轴设置，内筒插置在法兰m内孔内，外筒设置在法兰m内端，法兰n 和法兰i依次叠层布置在法兰ni外侧，内层玻璃设置在法兰m与法兰n之 间，外层玻璃设置在法兰n与法兰i之间，内层玻璃、外层玻璃和法兰n 之间围成一封闭容腔，法兰n上设置有冷却水进口n和冷却水出口n，外 筒上设置有冷却水进口 i和冷却水出口 i 。冷却水对外层玻璃、内层玻璃、内筒、外筒进行冷却。
与现有多晶硅还原炉用视镜相比，本发明能保证视镜的长期、可靠工 作，以实现还原炉的长期、安全、高效的运行。
图1为本发明多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜结构示意图。
图中冷却水进口 I 1、冷却水进口I12、螺栓3、螺母4、外层玻璃5、 内层玻璃6、法兰17、法兰118、冷却水出口I19、法兰IIIIO、冷却水出口 I 11、内筒12、外筒13。
具体实施例方式
参见图1，多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜主要由内筒12、外筒13、 法兰IIIIO、法兰118、法兰17、内层玻璃6、外层玻璃5、冷却水进口 12、 冷却水进口IIl、冷却水出口II9和冷却水出口 I 11组成。所述内筒12与 外筒13同轴设置，内筒12插置在法兰mi0内孔内，外筒13设置在法兰 III10内端，法兰118和法兰I 7依次叠层布置在法兰IIIIO外侧，并用螺栓 3和螺母4固定。内层玻璃6设置在法兰IIIIO与法兰I18之间。外层玻璃5 设置在法兰II8与法兰I7之间。内层玻璃6、外层玻璃5和法兰II8之间 围成一封闭容腔。法兰H8上设置有冷却水进口 112和冷却水出口 119。外 筒12上设置有冷却水进口 I 1和冷却水出口 I 11。 一路冷却水从冷却水进 口II2进入、流过外层玻璃5与内层玻璃6之间的间隙，对外层玻璃5与 内层玻璃6进行冷却，从冷却水出口II9排出。另一路冷却水从冷却水进 口I1进入，对内筒12、外筒13进行冷却，从冷却水出口I11排出。
权利要求
1、 一种多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜，其特征在于所述视镜包括内筒(12)、外筒(13)、法兰III(IO)、法兰II(S)、法兰I (7)、内层玻璃(6)、外层玻璃(5)、冷却水进口 i (2)、冷却水进口n(i)、冷却水出口n(9)和冷却水出口I(ll)，所述内筒(12)与外筒(13)同轴设置，内筒(12)插置在 法兰III(10)内孔内，外筒(13)设置在法兰III(10)内端，法兰II (8)和法兰I(7)依次叠层布置在法兰ni (io)外侧，内层玻璃(6)设置在法兰in (io)与法 兰n(8)之间，外层玻璃(5)设置在法兰n(8)与法兰i (7)之间，内层玻璃(6)、外层玻璃(5)和法兰II(8)之间围成一封闭容腔，法兰II(8)上设置有冷却水进口n (2)和冷却水出口n (9)，外筒(i2)上设置有冷却水进口 i (i) 和冷却水出口 I (11)。
全文摘要
本发明涉及一种多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜，包括内筒(12)、外筒(13)、法兰III(10)、法兰II(8)、法兰I(7)、内层玻璃(6)、外层玻璃(5)、冷却水进口I(2)、冷却水进口II(1)、冷却水出口II(9)和冷却水出口I(11)，所述内筒(12)插置在法兰III(10)内孔内，外筒(13)设置在法兰III(10)内端，法兰II(8)和法兰I(7)依次叠层布置在法兰III(10)外侧，内层玻璃(6)设置在法兰III(10)与法兰II(8)之间，外层玻璃(5)设置在法兰II(8)与法兰I(7)之间，内层玻璃(6)、外层玻璃(5)和法兰II(8)之间围成一封闭容腔，法兰II(8)上设置有冷却水进口II(2)和冷却水出口II(9)，外筒(12)上设置有冷却水进口I(1)和冷却水出口I(11)。冷却水对外层玻璃、内层玻璃、内筒、外筒进行冷却。本发明冷却效果好。
文档编号F27B5/00GK101311657SQ20081001869
公开日2008年11月26日 申请日期2008年3月12日 优先权日2008年3月12日
发明者孙惺惺, 田永刚, 董黎明, 建 赵, 陈冠斌 申请人:江苏双良锅炉有限公司