专利名称：一种聚四氟乙烯pfa化学液加热器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及化学液加热器，特别是涉及一种聚四氟乙烯PFA化学液加热器。
背景技术：
半导体器件工业在化学腐蚀及清洗工艺中广泛使用各种加热器来加热各种化
学液和去离子水，实现工艺要求的腐蚀清洗。典型的加热器为一包覆PFA塑料的 电热丝,作为加热体并盘成螺旋状组成加热器。在实际使用中螺旋状态的电热丝分 布不均匀，使得加热丝密处发热量集中易产生高温，特别是在加热碱性化学液时因 其在高温处更易结晶加剧了加热丝密处的温度上升。极易损坏电热丝的PFA包覆 层。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提 供一种聚四氟乙烯PFA化学液加热器。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现 一种聚四氟乙烯PFA化学 液加热器，其特征在于，包括四根氟塑料螺杆、四个连接柱、加热丝以及超高温保 护传感器，所述的四根氟塑料螺杆通过四个连接柱连接成加热框架，所述的加热丝 均匀等间隙盘绕于加热框架的氟塑料螺杆上，所述的超高温保护传感器与加热丝热 连接，所述的加热丝上包覆有PFA塑料层。
所述的氟塑料螺杆的截面呈十字形，其周缘上均匀设有槽，所述的加热丝盘绕 于槽上。
所述的超高温保护传感器的导线和加热丝的连接处均设有PFA塑料热熔连接 密封层。
与现有技术相比，本实用新型提高了加热液体时的温度均匀性和使用可靠性.特别在加热易结晶的碱性液体时更具有明显优点。
图1为本实用新型的结构示意图2为本实用新型的氟塑料螺杆的界面图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示， 一种聚四氟乙烯PFA化学液加热器，包括四根氟塑料螺杆l、 四个连接柱2、加热丝3以及超高温保护传感器4，所述的四根氟塑料螺杆1通过 四个连接柱2连接成加热框架，所述的加热丝3均匀等间隙盘绕于加热框架的氟塑 料螺杆1上，所述的超高温保护传感器4与加热丝3热连接，所述的加热丝3上包 覆有PFA塑料层。本实用新型的特点是具有氟塑料棒的螺杆结构，以及具有氟塑 料套管保护的电阻丝缠绕在其螺杆结构上；由传感器和外包覆PFA塑料层的加热 丝热连接来保护PFA塑料层。
所述的氟塑料螺 杆1的截面呈十字形，其周缘上均匀设有槽，所述的加热丝3 盘绕于槽上。
所述的超高温保护传感器4的导线和加热丝3的连接处均设有PFA塑料热熔 连接密封层，超高温保护传感器可以采用热电偶。
本实用新型的加热丝均匀分布在十字形氟塑料杆上，形成等距，包覆PFA塑 料的加热丝绕在十字形氟塑料螺杆上，被杆上的槽等距近似悬空固定，仅四点和支 架接触，最大限度均匀的和被加热液体热交换。
权利要求1.一种聚四氟乙烯PFA化学液加热器，其特征在于，包括四根氟塑料螺杆、四个连接柱、加热丝以及超高温保护传感器，所述的四根氟塑料螺杆通过四个连接柱连接成加热框架，所述的加热丝均匀等间隙盘绕于加热框架的氟塑料螺杆上，所述的超高温保护传感器与加热丝热连接，所述的加热丝上包覆有PFA塑料层。
2. 根据权利要求1所述的一种聚四氟乙烯PFA化学液加热器，其特征在于， 所述的氟塑料螺杆的截面呈十字形，其周缘上均匀设有槽，所述的加热丝盘绕于槽 上。
3. 据权利要求1所述的一种聚四氟乙烯PFA化学液加热器，其特征在于， 所述的超高温保护传感器的导线和加热丝的连接处均设有PFA塑料热熔连接密封 层。
专利摘要本实用新型涉及一种聚四氟乙烯PFA化学液加热器，包括四根氟塑料螺杆、四个连接柱、加热丝以及超高温保护传感器，所述的四根氟塑料螺杆通过四个连接柱连接成加热框架，所述的加热丝均匀等间隙盘绕于加热框架的氟塑料螺杆上，所述的超高温保护传感器与加热丝热连接，所述的加热丝上包覆有PFA塑料层。与现有技术相比，本实用新型提高了加热液体时的温度均匀性和使用可靠性。特别在加热易结晶的碱性液体时更具有明显优点。
文档编号F24H9/20GK201401910SQ20092006961
公开日2010年2月10日 申请日期2009年3月30日 优先权日2009年3月30日
发明者倪党生, 孙义荣 申请人:上海思恩电子技术有限公司