专利名称：一种新型晶体炉观察窗挡板结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶体生长设备和高温设备，属于晶体生长设备和半导体设备制造 技术领域，具体是一种新型晶体炉观察窗挡板结构。
背景技术：
本发明目的是为了降低晶体炉膛观察窗挡板转轴和挡板的温度，可以极大的提高 转轴真空密封的可靠性，提高使用寿命。同时，有效的把挥发物沉淀在挡板上，延长观察窗 的使用寿命。传统的观察窗的挡板的转轴为实心金属棒(参见图1)，这样挥发物容易沉淀在挡 板上，使得观察不够清晰，缩短了观察窗的使用寿命。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种降低晶体炉膛观察窗挡板转轴和 挡板的温度，极大的提高转轴真空密封的可靠性，提高使用寿命的新型晶体炉观察窗挡板 结构。本实用新型所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现，一种新型晶体炉观察窗挡板结构，包括挡板转轴和真空动密封，挡板转轴穿过真 空动密封的内腔后和观察窗挡板相接，在观察窗挡板的上方设置观察窗，用于观察炉膛内 晶体的生长，其特征在于所述的挡板转轴由水冷装置构成，水冷装置包括进水管和出水 管，在所述进水管和出水管外密封水冷挡板。所述的进水管、出水管和密封水冷挡板之间构成中空水冷结构，减低了转轴的表
面温度。所述水冷挡板的表面加装高温金属片或陶瓷片。在所述的真空动密封结构中包括磁流体密封形式。本实用新型的另一种技术方案是，一种新型晶体炉观察窗挡板结构，包括挡板转 轴和真空动密封，挡板转轴穿过真空动密封的内腔后和观察窗挡板相接，在观察窗挡板的 上方设置观察窗，用于观察炉膛内晶体的生长，其特征在于所述的挡板转轴和观察窗挡板 均由水冷装置构成，水冷装置包括进水管和出水管，在所述进水管和出水管外密封水冷挡 板。所述的进水管、出水管和密封水冷挡板之间构成中空水冷结构，减低了转轴的表
面温度。所述水冷挡板的表面加装高温金属片或陶瓷片。在所述的真空动密封结构中包括磁流体密封形式。本实用新型的有益效果是将转轴结构中的实心金属棒更换成水冷结构，在实际使 用中能有效的把热量通过冷却水带走，减低了转轴的表面温度，从而保护了转轴外面的真 空密封圈或磁流体结构，有利于提高了真空度和延长真空动密封的使用温度和使用寿命。
3同时挡板的温度也更低，有效的把挥发物沉淀在挡板上，延长观察窗的使用寿命。
图1是传统观察窗挡板结构的示意图；图2是本实用新型第一种技术方案观察窗挡板结构示意图；图3是本实用新型第二种技术方案观察窗挡板结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下 面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。如图2所示，一种新型晶体炉观察窗挡板结构，包括挡板转轴1和真空动密封2，挡 板转轴1穿过真空动密封2的内腔后和观察窗挡板3相接，在观察窗挡板3的上方安装观 察窗4，用于观察炉膛内晶体的生长，其中挡板转轴1由水冷装置5构成，水冷装置5包括 进水管51和出水管52，进水管51和出水管52外密封水冷挡板53，在进水管51、出水管52 和密封水冷挡板53之间构成中空水冷结构，减低了转轴的表面温度，并在水冷挡板53的表 面加装高温金属片或陶瓷片。如图3所示，一种新型晶体炉观察窗挡板结构，包括挡板转轴1和真空动密封2，挡 板转轴1穿过真空动密封2的内腔后和观察窗挡板3相接，在观察窗挡板3的上方安装观 察窗4，用于观察炉膛内晶体的生长，其中挡板转轴1和观察窗挡板3由水冷装置5构成， 水冷装置5包括进水管51和出水管52，在进水管51和出水管52外密封水冷挡板53，这样 进水管51、出水管52和密封水冷挡板53之间构成中空水冷结构，减低了转轴的表面温度。 其中水冷挡板53的表面加装高温金属片或陶瓷片。以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行 业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述 的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还 会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型 要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求一种新型晶体炉观察窗挡板结构，包括挡板转轴和真空动密封，挡板转轴穿过真空动密封的内腔后和观察窗挡板相接，在观察窗挡板的上方设置观察窗，用于观察炉膛内晶体的生长，其特征在于所述的挡板转轴由水冷装置构成，水冷装置包括进水管和出水管，在所述进水管和出水管外密封水冷挡板。
2.根据权利要求1所述新型晶体炉观察窗挡板结构，其特征在于所述的进水管、出水 管和密封水冷挡板之间构成中空水冷结构，减低了转轴的表面温度。
3.根据权利要求1所述新型晶体炉观察窗挡板结构，其特征在于所述水冷挡板的表 面加装高温金属片或陶瓷片。
4.根据权利要求1所述新型晶体炉观察窗挡板结构，其特征在于包括挡板转轴和真 空动密封，挡板转轴穿过真空动密封的内腔后和观察窗挡板相接，在观察窗挡板的上方设 置观察窗，用于观察炉膛内晶体的生长，所述的挡板转轴和观察窗挡板均由水冷装置构成， 水冷装置包括进水管和出水管，在所述进水管和出水管外密封水冷挡板。
5.根据权利要求4所述新型晶体炉观察窗挡板结构，其特征在于所述的进水管、出水 管和密封水冷挡板之间构成中空水冷结构，减低了转轴的表面温度。
6.根据权利要求4所述新型晶体炉观察窗挡板结构，其特征在于所述水冷挡板的表 面加装高温金属片或陶瓷片。
专利摘要一种新型晶体炉观察窗挡板结构，涉及晶体生长设备和高温设备，属于晶体生长设备和半导体设备制造技术领域，包括挡板转轴和真空动密封，挡板转轴穿过真空动密封的内腔后和观察窗挡板相接，在观察窗挡板的上方设置观察窗，用于观察炉膛内晶体的生长，其特征在于所述的挡板转轴由水冷装置构成，水冷装置包括进水管和出水管，在所述进水管和出水管外密封水冷挡板。有益效果是将转轴结构中的实心金属棒更换成水冷结构，在实际使用中能有效的把热量通过冷却水带走，减低了转轴的表面温度，从而保护了转轴外面的真空密封圈或磁流体结构，有利于提高了真空度和延长真空动密封的使用温度和使用寿命。
文档编号F27D21/02GK201648568SQ20092021023
公开日2010年11月24日 申请日期2009年9月27日 优先权日2009年9月27日
发明者黄小卫 申请人:上海元亮光电科技有限公司