专利名称：炉床结构的制作方法
技术领域：
本实用新型属连续式气氛烧结炉技术领域，特别是针对推板式连续气氛烧结炉的内输送道炉床结构的崭新设计，具有避免轨道变形、避免推板板翘及減少温度梯度而达均温的功效。
背景技术：
按，在电子元件或粉末冶金材料的制备エ艺中，需导入不同的气氛气体于窑炉内烧结或热处理，烧结或热处理是ー个相当重要的エ艺，因为烧结或热处理工艺攸关电子元件或粉末冶金材料产品品质的好坏。本实用新型发明人先前以连续式气氛烧结炉来达成严控炉内烧结气氛的要求，如第097204412号「连续式真空气氛烧结炉」、第093216847号「推·板式连续气氛烧结炉」···等。以第093216847号专利为例，该专利主要由炉体、内输送道、夕卜输送道及交換系统所构成，该内输送道设于炉体内部，并连结设于炉体ニ侧的交换系统，夕卜输送道设于炉体外部，并连结炉体ニ侧的交换系统，以做为置放待烧结电子元件载具的输送平台，该炉体为密闭式，并导入保护或反应用气氛气体，且依エ艺区分有升温烧结段与冷却段，升温烧结段内具有耐热材及视烧结程序所需温度的加热元件，冷却段具有冷却装置，该设于炉体ニ侧的交换系统各具有二道气密门，并形成一交換室，当载具被送进炉体前，炉体头端的二道气密门为封闭，待交換室内抽真空并导入气氛气体至与炉体内相同气氛环境后，炉内侧气密门方打开将载具推入炉体内，当载具要送出炉体前，炉体尾端的二道气密门为封闭，且交换室内已经抽真空并导入气氛气体至与炉体内相同气氛环境，炉内侧气密门方打开将载具推入交換室内，具有避免炉体内混入炉外空气来提高电子元件等烧结热处理品质的功效。惟该前案推板式连续气氛烧结炉，为避免板翘缺失，其长度受到限制不能太长。又，请參阅图I所示，该供推板A运行的炉床B，以耐火材料制成具凹部C的块状排列而成，由于エ艺的限制，每个耐火块的尺寸受到限制，且因为是实心的耐火块构成，炉床易因膨胀变化而致产生其所承载的推板运行不顺畅，甚至凸起板翘卡炉。再者，由于在电子元件粉末冶金粉体材料等产品的烧结热处理工艺中，为增加产能效率，必须加大容体及加快速度。但若以高度増加容体，会受稳定度风险的影响，所以为增加产能效率，只能加宽及加长炉体，为了使烧结热处理的温度梯度平均，并采用了上、下加热方式，即于待烧结热处理材料的上、下端置加热元件D，现有技术由于推板置于实心的炉床上，下加热器产生的高温需通过实心的炉床传递方能到达待烧结材料处，此即产生上、下温度梯度不均的缺失，严重影响烧结品质，为其缺失。此即为现有技术存有最大的缺失，此缺失乃成业界亟待克服的难题。
实用新型内容为了解决上述技术问题，本实用新型提供ー种「炉床结构」，本实用新型特别是针对推板式连续气氛烧结炉的内输送道炉床结构崭新设计，其主要于推板式连续气氛烧结炉的轨道支撑座ニ侧相对位置上设置侧轨，ニ侧轨内侧的轨道支撑座上设数道底轨，侧轨及底轨间具有凹部做为推板行进的轨道，且所述侧轨及底轨具有中空部，以减少膨胀系数避免变形，具有避免推板板翘及減少温度梯度而达均温的功效。优选地，该底轨及侧轨呈长条状。作为优选技术方案，该相邻的底轨与侧轨间，底轨与底轨及侧轨与侧轨的衔接位
置错开设置，不在同一位置。作为优选技术方案，该相邻的底轨与底轨间，其各底轨的衔接位置错开设置，不在
同一位置。作为优选技术方案，各底轨间具有间隙。优选地，该侧轨为碳化硅构成，可得较佳的导热、耐热及润滑度。 优选地，该底轨为碳化硅构成，可得较佳的导热、耐热及润滑度。本实用新型前述底轨呈长条状且交错设置，避免相邻底轨于同一位置衔接，使推板行进更为顺畅，井能避免推板卡炉。本实用新型前述底轨间具有间隙，下加热器可通过间隙直接对推板加热，可达成减少温度梯度而达均温的功效。
图I是现有连续式推板炉剖视及上视图。图2是本实用新型实施例剖视图。图3是图2的圆圈处局部放大图。主要元件符号说明A、推板；B、炉床；C、凹部；D、加热元件；I、轨道支撑座；2、侧轨；20、中空部；3、底轨；30、中空部；4、凹部；5、推板；6、下加热器；8、间隙；9、衔接处。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进ー步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型井能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。本实用新型特别是针对推板式连续气氛烧结炉的内输送道炉床结构崭新设计，请參阅图2、3所示，由图可知本实用新型主要于推板式连续气氛烧结炉的轨道支撑座I ニ侧相对位置上设置侧轨2，ニ侧轨2内侧的轨道支撑座I上设数道底轨3，侧轨2及底轨3间具有凹部4，构成推板5行进的轨道，前述侧轨2及底轨3具有中空部20、30，借侧轨2及底轨3中空部20、30的设计，可減少侧轨2及底轨3的膨胀系数，进而避免侧轨2及底轨3变形，而底部加热元件6当可通过中空部20、30的设计对推板5上的待烧结元件加热，如此当可有效避免推板5板翘及減少温度梯度而达均温的功效。本实用新型前述侧轨2及底轨3，其材质可选用碳化硅SiC，可得到较佳的导热性、耐热性及润滑度。请參阅图2、3所示，本实用新型前述底轨3及侧轨2呈长条状，且为交错衔接设置相邻底轨3或侧轨2避免在同一衔接处9衔接，形成交错衔接，且由于在エ艺上可以制造的长度较大，使衔接处9減少，如此当可使推板5行进更为顺畅，井能避免推板5卡炉。请參阅图3所示，本实用新型前述底轨3间具有间隙8，下加热器6可通过间隙8直接对推板5上的待烧结元件加热，如此当可达成減少温度梯度而达均温的功效。以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
权利要求1.一种炉床结构，其特征在于，主要于推板式连续气氛烧结炉的轨道支撑座二侧相对位置上设置侧轨，二侧轨内侧的轨道支撑座上设数道底轨，侧轨及底轨间具有凹部做为推板行进的轨道，且所述侧轨及底轨具有中空部。
2.如权利要求I所述的炉床结构，其特征在于，该底轨及侧轨呈长条状。
3.如权利要求2所述的炉床结构，其特征在于，该相邻的底轨与侧轨间，底轨与底轨及侧轨与侧轨的衔接位置错开设置。
4.如权利要求2所述的炉床结构，其特征在于，该相邻的底轨与底轨间，其各底轨的衔接位置错开设置。
5.如权利要求I所述的炉床结构，其特征在于，各底轨间具有间隙。
6.如权利要求I所述的炉床结构，其特征在于，该侧轨为碳化硅构成。
7.如权利要求I所述的炉床结构，其特征在于，该底轨为碳化硅构成。
专利摘要本实用新型有关一种炉床结构，特别针对推板式连续气氛烧结炉的内输送道炉床结构崭新设计，其主要于推板式连续气氛烧结炉的轨道支撑座二侧相对位置上设置侧轨，二侧轨内侧的轨道支撑座上设数道底轨，侧轨及底轨间构成推板的行进的轨道，前述侧轨及底轨具有中空部，以减少膨胀系数避免变形，具有避免推板板翘及减少温度梯度而达均温的功效，其材质可选用碳化硅，可得较佳的导热、耐热及润滑度，本实用新型底轨呈长条状且可交错设置，避免相邻底轨于同一位置衔接，使推板行进更为顺畅，并能避免推板卡炉。
文档编号F27B9/30GK202613966SQ201220122340
公开日2012年12月19日 申请日期2012年3月28日 优先权日2012年3月28日
发明者秦文隆 申请人:秦文隆