膜干燥装置制造方法

膜干燥装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种膜干燥装置。所述膜干燥装置包括腔室、位于腔室内并被构造为固定膜的膜固定单元以及位于腔室内并被构造为将热量施加到膜的加热器。
【专利说明】膜干燥装置
[0001] 本申请要求于2013年4月16日在韩国知识产权局提交的第10-2013-0041832号 韩国专利申请的优先权和利益，该韩国专利申请的全部公开内容通过引用包含于此。

【技术领域】
[0002] 本发明的实施例的多个方面涉及一种装置，更具体地讲，涉及一种用于干燥膜的 装直。

【背景技术】
[0003] 移动或便携式电子设备被广泛的应用。移动电子设备包括小型电子装置，诸如手 机以及近来被广泛使用的平板电脑（PC)。为了支持各种功能，这样的移动电子设备包括用 来为用户提供可视信息(例如图像）的显示器单元。最近，随着驱动显示单元的其他部件变 得更小，显示单元在电子设备中的重要性正在增长，并且还正在开发可以被弯曲而具有给 定角度(或曲度）的结构(例如，柔性结构)。
[0004] 可以形成各种类型的这样的显示单元。在这种情况下，根据制造过程或根据制造 之后的操作坏境，膜可被用作显示单元的一个组件。例如，在显示单元的制造过程中，为了 简化制造过程以及为了缩短制造时间，可能使用不同类型的膜。在这种情况下，如果膜包含 杂质或者如果杂质落在膜表面，可能会降低显示单元的质量。


【发明内容】

[0005] 本发明的实施例提供了一种用于干燥膜的装置，所述装置可快速并有效地干燥 膜。
[0006] 根据本发明的一方面，膜干燥装置包括：腔室；膜固定单元，位于腔室内，并被构 造为固定膜；加热器，位于腔室内，被构造为将热量施加到膜。
[0007] 所述腔室可被构造为选择性地保持真空状态。
[0008] 所述膜固定单元可包括第一夹具和第二夹具，所述第二夹具可枢转地连接到腔室 和第一夹具中的至少一个上，其中，第二夹具被构造为选择性地结合到第一夹具，用来约束 膜。
[0009] 所述膜固定单元可还包括主体单元，可移动地安装在第一夹具上。
[0010] 所述主体单元可具有开口。
[0011] 所述膜固定单元可还包括位于主体单元和第一夹具中的至少一个上的张力保持 单元。
[0012] 所述张力保持单元可包括在主体单元上的第一磁力单元以及在第一夹具上的第 二磁力单元，所述第二磁力单元被构造产生排斥第一磁力单元的排斥力。
[0013] 所述加热器可被构造为发出远红外线。
[0014] 所述加热器可包括第一板、在第一板内的电热丝以及在第一板上的第二板。
[0015] 所述第一板可包括铝。
[0016] 所述第二板可被构造为发出远红外线。
[0017] 所述第二板可包括陶瓷材料。
[0018] 所述加热器可包括多个区域，加热器的多个区域中的每一个的温度可被构造为彼 此独立控制。
[0019] 所述膜干燥装置可还包括多个加热器及多个膜固定单元，加热器和膜固定单元可 交替排列。
[0020] 所述膜干燥装置可还包括膜温度测量单元，所述膜温度测量单元在位于多个膜固 定单元的其中一个上的膜上，膜温度测量单元被构造为测量膜的温度。
[0021] 根据膜温度测量单元测量的膜的温度来调节所述多个加热器中的至少一个的操 作。
[0022] 所述膜干燥装置可还可包括反射单元，所述反射单元被构造为反射加热器发出的 热量。
[0023] 所述反射单元可包括第一反射板以及绕枢轴旋转连接在第一反射板上的第二反 射板。
[0024] 所述反射单元可还包括使第一反射板结合到第二反射板的旋转角度调节单元，所 述旋转角度调节单元被构造为控制第二反射板和第一反射板之间的角度。
[0025] 根据本发明的另一方面，提供了一种膜干燥方法，包括将多个膜送入真空腔室，然 后以相应温度操作多个加热器中的每一个；利用结合到所述多个膜中的一个上的膜温度测 量单元来测量膜的表面温度；根据所测量的膜的表面温度，控制多个加热器中的加热器和 反射板中的至少一个的操作。
[0026] 每个加热器可为板状，并可包括多个区域，每个区域具有相应的温度，每个温度可 被独立控制。
[0027] 可根据所测量的表面温度控制每个加热器的多个区域的温度。
[0028] 反射板的至少一部分是可绕枢轴旋转的，可根据所测量的表面温度控制所述反射 板的至少一部分的旋转角度。
[0029] 所述膜干燥方法可还包括，当膜的温度达到目标温度时，停止加热器的操作。

【专利附图】

【附图说明】
[0030] 通过下面结合附图对实施例进行的详细描述，本发明的上述和/或其他特征和优 点将会变得清楚，其中：
[0031] 图1为根据本发明实施例的膜干燥装置的示意图；
[0032] 图2为与图1所示实施例的狭缝对应的部分的放大示意图；
[0033] 图3为图2所示实施例的第一主体单元的透视图；
[0034] 图4为图1所示实施例的第一加热器的透视图；
[0035] 图5为沿着图4所示实施例的V-V线获得的剖视图；
[0036] 图6为图1所示实施例的第一反射单元的透视图；
[0037] 图7为图1所示实施例的膜干燥装置的第一狭缝的操作状态的概念图。

【具体实施方式】
[0038] 现在通过结合附图描述实施例来对本发明的实施例进行描述。然而，本发明的实 施例可以不同的形式被实施，不限于在此阐述的实施例。而且，提供这些实施例是为了本公 开可以彻底和完整，并将本发明的范围全面传达给本领域普通技术人员。此外，本发明由根 据权利要求的范围限定。在此使用的术语是用来描述具体实施例，并且不限于本发明的实 施例。单数形式表述的术语可包括复数形式，除非上下文中清楚地指出相反情形。在本申 请中，应该理解术语"包括"、"组成"、"具有"、"包含"意在指示说明书中出现的特征、形态、 步骤、操作、组件、部件或它们的组合，并并不排除还可存在或可添加一个或多个其他特征、 形态、步骤、操作、组件、部件或他们的组合。此外，尽管术语使用"第一" "第二"来描述不同 组件，但是，组件不受该术语限制。使用这些术语是为了将一个组件与另一个组件区分开。 当诸如"……中的至少一个"位于在一系列元素之前时，其修饰整列元素，而不是修饰该列 中的个别元素。
[0039] 图1是根据本发明实施例的膜干燥装置100的示意图。
[0040] 参照图1，膜干燥装置100包括腔室110。在这种情况下，腔室110包括内部空间， 腔室110的内部可选择性地保持真空状态。
[0041] 膜干燥装置100的腔室110的内部可被分割为多个空间以形成多个狭缝（S1至 SN)。例如，多个狭缝可包括从腔室110的下侧到其上侧的第一狭缝S1到第N狭缝SN (这 里N是自然数)。在所示的实施例中，第一狭缝S1对应于用来控制膜干燥装置100的操作 的参考狭缝，第二狭缝S2至第N狭缝SN可对应于在其中使膜(例如，真正的膜或将被制造 的装置）干燥的空间。
[0042] 膜干燥装置100可包括用于将膜固定在腔室中的膜固定单元。此外，膜干燥装置 100可包括安装于腔室110内并为膜施加能量(例如，热量）的加 热器。
[0043] 膜干燥装置100可包括安装在腔室110内并且反射从加热器发出的能量的反射单 元。此外，膜干燥装置可包括安装在膜上并测量膜的温度的膜温度测量单元190。在这种情 况下，膜温度测量单元190可安装在多个膜中的一个上，并可测量所述膜的每个区域的温 度。例如，膜温度测量单元190可被布置在第一狭缝S1内。
[0044] 膜固定单元、加热器和反射单元在数量上可以是多个。例如，膜固定单元、加热器 和反射单元可被安装在第一狭缝S1至第N狭缝SN的每一个内，或可被安装在一部分狭缝 内。
[0045] 例如，多个膜固定单元可包括被布置在第一狭缝S1内的第一膜固定单元130-1至 布置在第N狭槽SN内的第N膜固定单元130-N。在这种情况下，固定到每个膜固定单元的 膜可包括布置在(或位于）在第一狭缝S1内的第一膜F1至布置在(或位于）第N狭缝SN内 的第N膜FN。
[0046] 多个加热器可包括布置在（或位于）在第一狭缝S1内的第一加热器120-1至布置 在(或位于）第N狭缝SN内的第N加热器120-N。此外，多个反射单元可包括布置在(或位 于)第一狭缝S1内的第一反射单元140-1至布置在第N狭缝SN内的第N反射单元140-N。
[0047] 膜干燥装置100可包括控制单元，所述控制单元控制第一加热器120-1至第N加 热器120-N以及第一反射单元140-1至第N反射单元140-N。在这种情况下，控制单元可基 于通过膜温度测量单元190测量的第一膜F1的状态，控制第一加热器120-1至第N加热器 120-N，以及第一反射单元140-1至第N反射单元140-N。
[0048] 将在下面更详细地依次描述膜固定单元、加热器以及反射单元。此外，为了描述方 便，将更详细地描述设置在第一狭缝S1中的第一膜固定单元130-1、第一加热器120-1以及 第一反射单元140-1。
[0049] 图2是与图1中的狭缝S1对应的部分的放大示意图。图3是图2的第一主体单 元133-1的透视图。
[0050] 参照图2和图3,第一膜固定单元130-1可包括第一夹具(或第一夹具部分)131-1 和第二夹具(或第二夹具部分）132-1，第二夹具(或第二夹具部分）132-1可枢转地结合到腔 室110和第一夹具131-1中的至少一个上。在这种情况下，第一夹具131-1可被安装为固 定到腔室110。此外，第二夹具132-1可选择性地结合到第一夹具131-1，以约束(或夹持、 固定、保持住或抓住）第一膜F1。
[0051] 第一膜固定单元130-1可包括可移动地放置在第一夹具131-1上的第一主体单元 133- 1。第一主体单元133-1可成形为平板形状，并且可具有中空部分(或窗口、开口），使从 第一加热器120-1发出的能量(或热量）可以从其中通过。
[0052] 此外，膜固定单元130-1可包括第一张力保持单元134-1，其被安装在第一主体单 元133-1和第一夹具131-1的其中之一上。在这种情况下，第一张力保持单元134-1可包 括安装在第一主体单元133-1上的第一磁力单元134-la和安装在第一夹具131-1上的第 二磁力单元134-lb。例如，第一磁力单元134-la和第二磁力单元134-lb可被安装为彼此 面对，并可产生排斥力。
[0053] 在这种情况下，第一磁力单元134-la和第二磁力单元134-lb可以不同类型形 成。例如，第一磁力单元134-la和第二磁力单元134-lb可包括永磁体或电磁体。然而，为 了方便起见，将在下面更详细地描述包括永磁体的第一磁力单元134-la和第二磁力单元 134- lb的实施例。
[0054] 图4是图1中的第一加热器120-1的透视图。图5是沿着图4的V-V线截取的剖 视图。
[0055] 参照图4和图5,第一加热器120-1可被安装在腔室110的第一狭缝S1上。在这 种情况下，第一加热器120-1可向外发出远红外线。
[0056] 例如，第一加热器120-1可包括第一板121-1和形成在第一板121-1上的第一电 热丝122-1。此外，第一加热器120-1可包括形成在第一板121-1上的第二板123-1。
[0057] 在这种情况下，第一板121-1可包括铝材料。此外，第二板123-1可包括产生远红 外线的材料。例如，第二板123-1可包括陶瓷材料。
[0058] 这样的第一加热器120-1可被分为多个区域。在这种情况下，第一加热器120-1 的多个区域的温度可被调节(或被控制）为彼此不同。例如，第一加热器120-1的第一区域 A1的温度可被调节为（或被控制为具有）第一温度，第一加热器120-1的第二区域A2的温 度可被调节为(或被控制为具有）与第一温度不同的第二温度。
[0059] 可根据需要以各种方式设置第一加热器120-1的区域。例如，第一加热器120-1 的区域的形状、数量、位置可根据用户设置而以各种方式形成。在这种情况下，通过可区别 地(或独立地）安装在每个区域上的电热丝122-1 (例如，每个区域具有其自己相应的电热 丝122-1，该电热丝122-1相对于其他第一电热丝122-1被独立地控制)，可以将第一加热器 120-1的每个区域的温度实现为彼此不同。
[0060] 图6是图1所示实施例的第一反射单元140-1的透视图。参照图6,第一反射单元 140-1可被布置为面向第一加热器120-1。在这种情况下，第一反射单元140-1可反射从加 热器120-1发射的能量。
[0061] 第一反射单元140-1包括第一反射板141-1以及可旋转地(或可枢转地)连接到第 一反射板141-1的第二反射板142-1。在图6所示的实施例中，第二反射板142-1在数量上 是多个，并且可被安装在第一反射板141-1的每一端。
[0062] 第一反射单元140-1可包括将第一反射板141-1连接到第二反射板142-1的第一 旋转角度调节单元143-1。在这种情况下，第一旋转角度调节单元143-1可调节(或控制、限 制）第二反射板142-1的旋转角度。
[0063] 例如，第一旋转角度调节单元143-1被构造为使第二反射板142-1旋转，并包括连 接到第二反射板142-1的第一旋转轴143-la。此外，第一旋转角度调节单元143-1包括第一 驱动单元143-lb，第一驱动单元143-lb与第一旋转轴143-la连接并使第一旋转轴143-la 旋转。
[0064] 以上面描述的方式形成的第一驱动单元143-lb可使第一旋转轴143-la按顺时针 或逆时针方向旋转，以调节(或控制)由第一反射板141-1和第二反射板142-1形成的角度。 在这种情况下，第一反射板141-1可保持其初始状态，仅第二反射板142-1可旋转。
[0065] 将在下面更详细地描述膜干燥装置100的操作。
[0066] 图7是图1所示的膜干燥装置100的第一狭缝S1的操作状态的示意图。
[0067] 参照图1和图7,在膜干燥装置100开始运行前，通过打开腔室110,可将第一膜F1 至第N膜FN送入腔室110中。在这种情况下，第一膜F1至第N膜FN可分别被固定在第一 固定单元130-1至第N固定单元130-N上。然而，由于固定第一膜F1至第N膜FN的方式 是一样的，因此下面将仅详细描述固定第一膜F1的方式。
[0068] 例如，为了固定第一膜F1，可旋转第二夹具132-1，从而在第一夹具131-1和第二 夹具132-1之间获得间隙。在这种情况下，第一膜F1的一端可被放置在一个第一夹具131-1 和一个第二夹具132-1之间。此外，第一膜F1的另一端可被放置在相对的第一夹具131-1 和相对的第二夹具132-1之间。
[0069] 当上述过程完成后，可旋转第二夹具132-1，使其与第一夹具131-1接触。在这种 情况下，第一夹具131-1和第二夹具132-1可通过另外的固定构件被固定。因此，第一夹具 131-1的一个表面可与第二夹具132-1完全紧密接触，从而支撑(或夹紧）第一膜F1。
[0070] 当第一膜F1以此方式固定时，第一膜F1的中间部分会由于其自身重量而下垂。在 这种情况下，第一张力保持单元134-1可被用于保持第一膜F1的张力。
[0071] 例如，当第一膜F1按照如上描述的方式被安装时，第一磁力单元134-la和第二磁 力单元134-lb可被被设置为彼此面对。在这种情况下，第一磁力单元134-la和第二磁力单 元134-lb可由于如上所述的排斥力而互推(例如，排斥)。例如，由于第二磁力单元134-lb 施加到第一磁力单元134-la上的排斥力，可将力施加到第一主体单元133-1的中部上，由 于第一磁力单元134-la施加到第二磁力单元134-lb上的排斥力，可将力施加到第一主体 单元133-1的边缘。因此，用于固定第一膜F1的两端(例如，相对的两端)的第一夹具131-1 之间的间隔（或空间、距离)由于具有相反方向的力而增大，因此第一夹具131-1可保持第一 膜F1的张力。
[0072] 当第一膜F1如上所述被固定时，可操作第一加热器120-1。在这种情况下，当第一 加热器120-1运行时，还可同时操作第一加热器120-1至第N加热器120-N。
[0073] 此外，当第一加热器120-1至第N加热器120-N工作时，第一反射单元140-1至第N 反射单元140-N可运转。在这种情况下，由于第一反射单元140-1至第N反射单元140-N的 操作彼此相似，因此仅描述第一反射单元140-1的操作。即，第一旋转角度调节单元143-1 可操作以使第二反射板142-1旋转。例如，控制单元可控制第一旋转角度调节单元143-1， 使得第二反射板142-1旋转一个旋转角度(例如，预设的旋转角度)。
[0074] 在这种情况下，当各个膜被固定在各个膜固定单元时，由于自身重力（或其自身重 量)，各个膜的中部通常会变得更靠近各加热器。因此，由于每个加热器发出的能量是均匀 的，所以更多的辐射热会从每个加热器施加到各个膜的中部。
[0075] 在上述情况下，各个加热器发出的能量可穿透各个膜并传到各反射单元，并可被 从各反射单元朝着各个膜被反射回来。在每个反射单元的第一反射板141-1和第二反射板 142-1形成一个平面的情况中，所有(基本上所有或大部分）反射的能量基本上均匀地朝着 膜的各个部分反射。
[0076] 例如，在上述情况下，从各个加热器发出的能量和从各个反射单元反射的能量的 总和在各个膜的中心部分是最大的，并且在各个膜的边缘部分是最小的。在这种情况下，由 于能量不是均匀传到每个膜的表面，会存在干燥后膜的表面是不均匀的局限性(或缺陷)。 因此，通过相对于第一反射板141-1旋转第二反射板142-1，可减小第二反射板142-1与膜 之间的间隙(例如，距离)，由此增加由第二反射板142-1反射的能量(或热量)。因此，可均 匀地产生到达每个膜的能量(例如，在每个膜上基本上均匀地提供热量)。
[0077] 当如上所述完成第一反射单元140-1至第N反射单元140-N的操作时，第一加热 器120-1至第N加热器120-N按照如上描述的方式操作，因此可干燥第一膜F1至第N膜FN。 在这种情况下，第一加热器120-1至第N加热器120-N中每一个被如上所述地分成多个区 域，控制单元可单独地控制第一加热器120-1的每个区域的温度至第N加热器120-N的每 个区域的温度。例如，控制单元可控制第一加热器120-1至第N加热器120-N中的每一个， 使得第一加热器120-1的每个区域的温度至第N加热器120-N的每个区域的温度对应于各 个温度(例如，预设的温度)。
[0078] 当正在干燥第一膜F1至第N膜FN时，控制单元可从膜温度测量单元190接收所 测量的关于第一膜F1的表面温度的反馈。在这种情况下，控制单元可确定所测量的第一膜 F1的表面温度是否与目标温度(例如，预设目标温度）相同。
[0079] 例如，当确定所测量的第一膜F1的表面温度与目标温度不同时，控制单元可控制 第一加热器120-1至第N加热器120-N以及第一反射单元140-1至第N反射单元140-N中 的至少一个的操作。
[0080] 例如，当确定所测量的第一膜F1的表面温度与目标温度不同时，控制单元可控制 第一加热器120-1和第一反射单元140-1中的至少一个的操作。在控制单元控制第一加热 器120-1的操作的情况下，控制单元可控制第二加热器120-2至第N加热器120-N，使得它 们的操作与第一加热器120-1的操作相同。
[0081] 例如，当确定第一膜F1的表面温度比目标温度(例如，预设目标温度)低时，控制单 元可使第一加热器120-1至第N加热器120-N发出的能量增加。反之，当确定第一膜F1的 表面温度比目标温度高时，控制单元可停止第一加热器120-1至第N加热器120-N的操作。
[0082] 在本实施例中，可对应于第一膜F1的每个区域设置目标温度。例如，控制单元可 将第一膜F1的每个区域的表面温度与每个区域的目标温度进行比较，然后控制从第一加 热器120-1至第N加热器120-N的每个区域发出的能量。例如，当第一膜F1的每个区域 的表面温度比每个区域的目标温度低时，控制单元可控制第一加热器120-1至第N加热器 120-N，使从第一加热器120-1的相应部分至第N加热器120-N的相应部分发出的能量增 力口。反之，当第一膜F1的每个区域的表面温度比每个区域的目标温度高时，控制单元可控 制第一加热器120-1至第N加热器120-N，使第一加热器120-1的相应部分至第N加热器 120-N的相应部分的停止操作。因此，按照区域控制第一加热器120-1至第N加热器120-N 发出的热量，因此，可向每个膜的表面均匀传送能量。
[0083] 此外，在控制单元控制第一反射单元140-1的操作的实施例中，控制单元可控制 第二反射单元140-2至第N反射单元140-N，使其操作与第一反射单元140-1的操作相同。 例如，当第一膜F1具有第一膜F1的表面温度低于目标温度(例如，预设目标温度）的区域 时，控制单元可控制第一驱动单元143-la的操作，使第二反射板142-1旋转，因此将反射的 能量聚集在第一膜F1的所述区域上，在该区域中，第一膜F1的表面温度比目标温度低。此 夕卜，当第一膜F1具有第一膜F1的表面温度比目标温度(例如，预设目标温度）高的区域时， 控制单元可控制第一驱动单元143-lb，使第二反射板142-1旋转，以防止反射的能量聚集 (例如，改变反射的能量的方向，使其远离该区域）到第一膜F1的所述区域上，在所述区域 中，第一膜F1的表面温度比目标温度高。在这种情况下，控制单元还可控制第二反射单元 140-2至第N反射单元140-N，使它们按照如上描述的方式操作。
[0084] 此外，在控制单元控制第一加热器120-1和第一反射单元140-1的实施例中，控制 单元还可控制第二加热器120-2至第N加热器120-N和第二反射单元140-2至第N反射单 元140-N的操作，使它们的操作与第一加热器120-1和第一反射单元140-1的操作相同。在 这种情况下，控制单元控制第一加热器120-1至第N加热器120-N的方式或控制单元控制 第一反射单元140-1至第N反射单元140-N的方式基本上与上面所描述的方式相同的，因 此这里将不再重复它们的详细描述。
[0085] 在干燥各个膜时可重复执行上述过程。在通过这种反馈连续重复所述过程之后过 去一段时间(例如，预设时间)时，控制单元可停止第一加热器120-1至第N加热器120-N的 操作。在这种情况下，控制单元可将腔室110的内部空间从真空状态改变为大气压状态。
[0086] 例如，当腔室110的内部空间变成大气压状态时，用户可打开腔室110,然后从腔 室110中移走每个膜。按照与上面描述的顺序相反的顺序的方式移走所述膜，因此，这里将 不再提供相关细节描述。
[0087] 因此，根据所述膜干燥装置100和膜干燥方法，可在腔室110中插入并干燥多个 膜，由此减少所需的工作时间，增加工作效率。此外，膜干燥装置100和膜干燥方法可接收 关于安装在第一狭缝S1中的第一膜F1的状态的反馈，调节第二狭缝S2至第N狭缝SN的 干燥环境，由此精确地、准确地控制干燥环境。
[〇〇88] 虽然已经结合上述示例性实施例描述了本发明，但是，在不脱离本发明的主旨或 范围的情况下，可以作出各种改变或变型。因此，权利要求将包括属于本发明的主旨及其等 同物的这些变型或改变。
【权利要求】
1. 一种膜干燥装置，包括： 腔室； 膜固定单元，位于腔室内，被构造为固定膜；以及 加热器，位于腔室内，被构造为将热量施加到膜。
2. 如权利要求1所述的膜干燥装置，其中，膜固定单元包括： 第一夹具；以及 第二夹具，可枢转地连接到腔室和第一夹具中的至少一个上，其中，第二夹具被设置为 选择性地结合到第一夹具，以约束膜。
3. 如权利要求2所述的膜干燥装置，其中，膜固定单元还包括：可移动地安装在第一夹 具上的主体单元。
4. 如权利要求3所述的膜干燥装置，其中，膜固定单元还包括位于所述主体单元和第 一夹具中的至少一个上的张力保持单元。
5. 如权利要求1所述的膜干燥装置，其中，加热器被构造为发射远红外线。
6. 如权利要求1所述的膜干燥装置，其中，加热器包括多个区域，其中，加热器的多个 区域中的每一个的温度被设置为被彼此独立地控制。
7. 如权利要求1所述的膜干燥装置，还包括多个加热器和多个膜固定单元，其中，加热 器和膜固定单元交替布置。
8. 如权利要求7所述的膜干燥装置，还包括膜温度测量单元，所述膜温度测量单元在 位于多个膜固定单元的其中一个上的膜上，膜温度测量单元被构造为测量所述膜的温度。
9. 如权利要求8所述的膜干燥装置，其中，根据膜温度测量单元测量的膜的温度来调 节所述多个加热器中的至少一个的操作。
10. 如权利要求1所述的膜干燥装置，还包括反射单元，所述反射单元被构造为反射加 热器发出的热量。
【文档编号】F26B9/06GK104110942SQ201310495403
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2013年10月21日 优先权日:2013年4月16日
【发明者】金圭范, 朴宰奭 申请人:三星显示有限公司