1.一种衬底,其特征在于:包括由对辐照加热源的辐照波长基本无吸收的材料制成的基板(1)、由对加热源辐射波具有高吸收率和吸收系数的材料制成的吸收层(2)、用于阻挡所述基板(1)或吸收层(2)中所包含离子、原子向材料样品迁移的扩散阻挡层(3),所述吸收层(2)和所述扩散阻挡层(3)叠放设置在所述基板(1)上。
2.根据权利要求1所述的衬底,其特征在于:所述吸收层(2)为一整体单元或者包括多个独立的吸收单元(4),多个所述吸收单元(4)间隔排列设置在所述基板(1)上。
3.根据权利要求1或2所述的衬底,其特征在于:所述扩散阻挡层(3)为一整体单元或者包括多个独立的阻挡单元(5),每个阻挡单元(5)对应一个吸收单元(4)叠放设置。
4.根据权利要求1所述的衬底,其特征在于:所述基板(1)至少设置有一层基板叠层,所述吸收层(2)至少设置有一层吸收叠层,所述扩散阻挡层(3)至少设置有一层阻挡叠层。
5.根据权利要求4所述的衬底,其特征在于:每层所述基板叠层由硅片、钠钙玻璃、石英玻璃、刚玉、硼硅玻璃、蓝宝石、红宝石、硫化玻璃中的一种或者至少两种组合的材料制成;
每层吸收叠层由Si、a-Si、Ge、SiC、SiGe、a-C、GaAs、Ti、SiO2、Au、Ag、W、Mo、Ti、Cr、Pt、ZnO、TiO2、Cr2O3、Al2O3中的一种或者至少两种组合的材料制成;
每层阻挡叠层由Ti基、Ta基、W基、Zr基、Pt基、Cr基、Mo基、Co基的氮化物、氧化物、硅化物中的一种或者至少两种组合的材料制成。
6.根据权利要求1所述的衬底,其特征在于:所述基板(1)厚度为0.1mm~5mm;所述吸收层(2)厚度为10nm~10μm,所述扩散阻挡层(3)厚度为10nm~10μm。
7.一种衬底制备的方法,其特征在于包括以下步骤:
步骤一、提供对辐照加热源的辐照波长基本无吸收的材料制成的基板(1);
步骤二、根据吸收层(2)和扩散阻挡层(3)在基板(1)上的叠放顺序,分别在基板(1)上按照吸收层(2)的分布设计沉积吸收层(2)、按照扩散阻挡层(3)的分布设计沉积扩散阻挡层(3)。
8.根据权利要求7所述的衬底制备的方法,其特征在于:所述步骤一中,对基板(1)的表面进行抛光、喷砂、或制绒预处理,在所述吸收层(2)沉积前,对基板(1)进行清洗处理;清洗处理后在预处理后的基板(1)表面上沉积所述吸收层(2)和扩散阻挡层(3)。
9.一种热处理装置,其特征在于:包括如权利要求1所述的衬底(100),还包括具有容置腔的本体(6)和设置在所述本体(6)的容置腔内的加热源(7),所述衬底设置在所述本体(6)的容置腔内。
10.根据权利要求9所述的热处理装置,其特征在于:所述加热源(7)为光辐照元件, 所述光辐照元件为卤素灯、紫外线、激光、同步辐射X射线光源中的一种或者至少两种的组合。