用于半导体制造车间火灾烟尘扩散抑制的气流系统的制作方法

文档序号:11911582阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于半导体制造车间火灾烟尘扩散抑制的气流系统,其特征在于,包括:

通风管组,包括若干阵列排布的通风管,所述通风管安装于所述半导体制造车间的天花板处;

通风管组控制器,与所述通风管组连接,适于控制所述通风管组中通风管工作的数量、分组及风力。

2.根据权利要求1所述的用于半导体制造车间火灾烟尘扩散抑制的气流系统,其特征在于,所述半导体制造车间包括:

主车间,包括若干虚拟空间,所述虚拟空间的大小依据所述通风管组控制器控制的通风管工作状态和非工作状态的数量划分;

辅道生产间,位于所述主车间正下方,可容忍污染气体及污染颗粒;

底板,位于所述主车间和所述辅道生产间之间,适于隔离所述主车间和所述辅道生产间,所述底板上设有若干孔洞。

3.根据权利要求2所述的用于半导体制造车间火灾烟尘扩散抑制的气流系统,其特征在于,所述虚拟空间包括高压虚拟空间和低压虚拟空间,所述低压虚拟空间对应于所述半导体制造车间的起火区域,所述高压虚拟空间对应于所述半导体制造车间的非起火区域。

4.根据权利要求3所述的用于半导体制造车间火灾的气流系统,其特征在于,所述高压虚拟空间的大小对应于工作状态中所述通风管的数量,所述低压虚拟空间的大小对应于非工作状态中所述通风管的数量。

5.根据权利要求1-4任一项所述的用于半导体制造车间火灾烟尘扩散抑制的气流系统,其特征在于,所述通风管组控制器控制所述通风管工作时的风力大于所述通风管非工作时的风力。

6.根据权利要求1所述的用于半导体制造车间火灾烟尘扩散抑制的气流系统,其特征在于,所述通风管组控制器还包括温度传感器、烟雾传感器和火焰传感器。

7.根据权利要求1所述的用于半导体制造车间火灾烟尘扩散抑制的气流系统,其特征在于,所述通风管与所述天花板之间的夹角为90°。

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