干燥装置的制作方法

本发明涉及干燥装置，具体涉及用于对进行了洗净处理的印刷电路板等的被处理物进行干燥处理的干燥装置。

背景技术：

印刷电路板等的被处理物的制备工序中，将除胶渣(デスミア)处理等的前处理工序中附着的异物等通过水洗处理等的洗净处理除去之后，进行被处理物的干燥处理。如果不充分除去附着在被处理物的表面上液体，残存的液体将会成为不良原因。虽然延长干燥时间能够充分除去液体并干燥，但是从提高生产效率的观点来看，期望尽可能短时间高效地进行干燥处理。

例如专利文献1中公开了一种干燥装置，该干燥装置在使印刷电路板以垂直悬挂的状态水平移动的同时进行干燥处理。根据该结构，相比将印刷电路板保持在水平状态下进行水平搬运的情况能够更有效率地进行干燥处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特開平6-006014号公報

技术实现要素：

即使在如专利文献1那样使印刷电路板等的被处理物以垂直悬挂状态水平移动的同时进行干燥处理的情况，由于距离干燥处理所使用的加热单元(热源)越远被处理物的温度越降低，而产生面内温度差，发生干燥不均匀。

本发明鉴于上述情况，其目的是提供能够抑制被处理物的干燥不均匀等的干燥不良的干燥装置。

解决上述课题而得到的本发明的干燥装置有以下要点，该干燥装置具有对被处理物进行干燥处理的干燥槽、所述被处理物的固定件、与所述被处理物的表面相对的加热单元、以及与所述被处理物的里面相对的加热单元，所述加热单元的长度方向相对于水平线倾斜。

另外，也优选有如下的实施方式：具有与所述被处理物的表面相对的气体喷射单元、和与所述被处理物的里面相对的气体喷射单元，所述气体喷射单元的喷嘴孔朝向斜下方。

进一步地，所述干燥槽也优选有以下任意一种实施方式：具有所述固定件的搬运机构，在底面具有排气口，具有在所述排气口的上方与从所述喷嘴孔喷射的气体碰撞的气体整流板，与所述被处理物相对的面向上方凸出形成为弯曲的形状。

优选地，所述气体喷射单元具有升降机构。

进一步地，本发明的干燥装置具有设置在所述干燥槽的入口侧的前槽和设置在所述干燥槽的出口侧的后槽，本发明还包括，所述前槽以及所述后槽具有与所述被处理物的表面相对的气体喷射单元、和与所述被处理物的里面相对的气体喷射单元，进一步地本发明还包括，所述气体喷射单元设置在与所述被处理物的上部相对的位置或者与下部相对的位置的至少一者。

另外，本发明的干燥装置进一步具有设置在所述前槽的入口侧的预加热槽，所述预加热槽优选具有加热液体喷射单元。

根据本发明的干燥装置，由于设置在干燥槽内的加热单元的长度方向设置为相对于水平线倾斜，能够抑制被处理物的上下方向的干燥不均匀。

附图说明

图1为从上方观察本发明的一种实施方式的干燥装置的俯视图。

图2为从箭头z方向观察图1的干燥装置的侧视图。

图3为图2的干燥槽的剖视图，即从箭头c方向观察的图。

图4为图2的前槽的剖视图，即从箭头d方向观察的图。

图5为图2的后槽的剖视图，即从箭头e方向观察的图。

图6为图2的预加热槽的剖视图，即从箭头f方向观察的图。

图7中的(a)为从被处理物侧观察图1所示的气体喷射单元的侧视图。另外，图7中的(b)为气体喷射单元的剖视图，即从箭头g方向观察的图。

图8为图3的干燥槽的排气口附近的放大图，即表示气体整流板的其他的实施方式的剖视图。

图9中的(a)为从被处理物侧观察图1所示的上部气体喷射单元的侧视图。另外，图9中的(b)为上部气体喷射单元的剖视图，即从箭头h方向观察的图。

图10中的(a)为从被处理物侧观察图1所示的加热液体喷射单元的侧视图。另外，图10中的(b)为加热液体喷射单元的剖视图，即从箭头i方向观察的图。

附图说明

1、干燥装置2、被处理物

3、干燥槽4、固定件

5、导轨6、加热单元

7、搬运方向8、加热液体喷射单元

10、前槽11、后槽

12、预加热槽13、排气口

14、气体喷射单元15、喷嘴孔

16、上部气体喷射单元17、下部气体喷射单元

18、气体整流板19、缺口

20、上部喷嘴孔21、支持台

22、把持部23、液体喷射喷嘴孔

24、固定件连接部25、输送辊

26、升降支持部27、升降轨

28、排水口29、上部气体喷射单元固定台

30、水平线31、喷嘴孔的设置角度

32、通过喷嘴孔中心的线33、预加热槽顶面

具体实施方式

以下，针对用于实施本发明的最优方式参照附图进行详细说明，本发明不受以下实施方式的限定。

基于附图对本发明的干燥装置1的构成进行说明。图1为从上方观察本发明的一种实施方式的干燥装置的俯视图。图2为从箭头z方向观察图1的干燥装置的侧视图。图3为图2的干燥槽3的剖视图，即从箭头c方向观察的图。此外，图1中省略了固定件和搬运机构。另外图2中省略了搬运机构。

在如图1所示的干燥装置1中，沿着被处理物2的搬运方向7依次设置有预加热槽12、前槽10、干燥槽3、后槽11，被处理物2以这个顺序通过各个槽而进行必要的处理。如图3所示，各个槽设置有缺口19而形成固定件4的通路。

干燥装置1具有用于将保持的被处理物2进行搬运的固定件4和用于在各个槽内将固定件4进行搬运的搬运机构。被处理物2通过固定件4使被处理物2的表面和里面以与干燥装置1的侧面，即正交于被处理物2的搬运方向7的面，相对的方式被保持。

固定件4用钳等的把持部22保持被处理物2的上部(一边)。如图3所示，固定件4从固定件连接部24经过缺口19在干燥槽内保持为空中状态。此外，固定件4能够使用各种公知的固定件只要其能够保持被处理物2，例如用于印刷电路板等搬运用的挂钩，或者也能够用框状的固定件保持被处理物2的多个边。此外，作为被处理物能够举例出各种树脂基板、玻璃基板、金属基板、陶瓷基板等的板状被处理物。被处理物也能够为如刚性基板(リジット基板)等这样的可挠性低的被处理物，也能够为如柔性基板等这样的可挠性高的被处理物。另外被处理物为板状时，也能够应对几毫米至亚微米级的厚度。

图3所示的搬运机构由导轨5、固定件连接部24、输送辊25构成。搬运机构在固定件连接部24的底部安装有用于在导轨5上移动的输送辊25，并利用图未示出的发动机等的驱动单元驱动。导轨5固定在干燥装置的上部。此外，搬运机构能够使用各种公知的固定件搬运单元。

各个槽间能够设置用于隔开各个槽的分隔部件，也能够不设置。从有效干燥被处理物2的观点来看，为了消除伴随分隔部件的开关的时间损失，缩短干燥时间，期望不设置分隔部件。

图3所示，为了对被处理物2进行干燥处理，干燥槽3内部设置有与被搬运的被处理物2的表面相对的加热单元6，以及与被处理物2的里面相对的加热单元6。此外，由于本发明中对被处理物2的表面和里面实施同样的处理，表面和里面能够为任意一面。

如图2所示以与被处理物2的一个面相对的方式设置的加热单元6的长度方向以相对于水平线倾斜的方式设置。由此，随着被处理物2的移动，加热单元6，具体为与热源相对的被处理物2的高度位置变化，被处理物2的面内温度分布差异减少，其结果能够抑制干燥不均匀。加热单元6的倾斜优选为被处理物2的搬运方向7近侧是水平线的上侧，此时能够从被处理物2的上侧按顺序除去液滴同时能够有效率地干燥。

在碳或陶瓷等的辐射热方式的加热能够利用的导电性材料作为加热单元6。加热单元6的形状没有特别的限定，为了能够有效率地加热被搬运的被处理物2，优选为棒状的长形。使用棒状的导电性材料时两端设置电极，能够通过通电使导电性材料被加热而产生远红外线。

此外，图示例中加热单元6的设置数量为每面2根，并不受此限定，能够根据被处理物的大小适当选择以能够充分干燥。另外加热单元6的数量能够在被处理物2的表里面设置为相同数量或者不同的数量。加热单元6能够为长形，只要其具有能够将被处理物2充分干燥的长度即可，没有特别的限定。另外图2中加热单元6从干燥槽3的入口侧延伸至出口侧，也能够分割为多个。

另外如图3所示在干燥槽3的内部设置有与被搬运的被处理物2的表面相对的气体喷射单元14，以及与里面相对的气体喷射单元14。气体喷射单元14安装在相比于加热单元6更下侧的位置。

图7中的(a)为从被处理物侧观察图1所示的气体喷射单元的侧视图。另外，图7中的(b)为气体喷射单元14的剖视图，即从箭头g方向观察的图。气体喷射单元14由内部具有空间的管部件，即管构成，并具有以规定间隔配置的朝向斜下方的多个喷嘴孔15。斜下方指的是被处理物2方向。气体喷射单元14在搬运方向7上具有长度方向，气体喷射单元14如图2所示从干燥槽3的入口侧延伸至出口侧，也能够分割为多个。

在气体喷射单元14中喷嘴孔15的设置角度31以相对于通过截面中心点的水平线30为斜下方向(通过喷嘴孔中心的线32)的方式设置。从喷嘴孔15朝向被处理物2的气体相对于水平线向斜下方喷射，在被处理物2的下部与气流碰撞。其结果是能够抑制因由上述加热单元6的加热而产生的热对流所引起的被处理物2的摇摆，同时能够除去附着在被处理物2的下端部的液滴。

此外，虽然在图7中的(b)中气体喷射单元14的截面为圆形，但也能够为四角形等其它形状，喷嘴孔15的形状也能够为圆形以外的形状。另外，在图7中的(a)中能够在管部件上设置有多个喷嘴孔15，也能够在管部件长度方向设置有缝状的缺口作为气体吐出口。或者也能够各自独立地供给气体，分别将具有喷嘴孔的空气喷嘴在作为基础的板状部件上配置有多个。

气体喷射单元14具有升降机构。通过升降机构能够使气体喷射单元14升降以调整气体的喷射位置。如图7中的(a)所示在气体喷射单元14的长度方向两侧设置的升降机构由升降支持部26、升降轨27、在升降支持部26内设置的升降用滚轮(图未示出)构成。只要在升降支持部26内部安装用于移动升降轨27的升降用滚轮且以发动机(图未示出)等驱动即可。升降支持部26通过在其升降时沿着升降轨27移动实现平滑地升降，能够使气体喷射单元14在维持水平状态同时在短时间内高精度地移动到规定的位置。此外，无论升降轨27的干燥槽3的内壁接地与否。既能够将升降轨27安装在干燥槽3的内壁上，或者，也能够将干燥槽3的顶面(天井面)或底面与支柱的端部连接，在该支柱上安装升降轨27。

在干燥槽3的底面设置有作为排气口13的缺口。从气体喷射单元14喷射的气体从排气口13向干燥槽3外排出。排气口13设置在被处理物2的正下方的位置。由此抑制因从排气口13排出的气流而引起的被处理物2的摇摆。排气口13的长度方向为搬运方向7，与气体喷射单元14的长度相当。此外，当排气口13的长度比气体喷射单元14的长度方向的长度更短时，存在因气流引起的板状被处理物2发生摇摆的可能性，因此期望优选为比气体喷射单元14的长度更长的形状。

另外在排气口13上方设置有气体整流板18。具体地，如图3所示从分别设置在被处理物2的表面和里面的气体喷射单元14喷射的气体与气体整流板18碰撞，该气体整流板18设置在排气口的上方的底面上以将排气口13夹在中间且相对。气体整流板18的长度方向与排气口13的长度方向相同，其长度也设置为与排气口13的长度相同。气体整流板18设置为向被处理物2偏离的方向倾斜，底面与气体整流板形成的角度优选为以水平状态为0°时的30-80°。从气体喷射单元14喷射的气体通过气体整流板18进行控制流动。其结果能够防止气流的乱流所引起的被处理物2的摇摆。气体整流板18的形状能够举例出如图3所示的板状，或者如图8所示的与被处理物相对的面向上方凸出形成为弯曲的形状等。气体整流板18为弯曲的形状时，进一步提高整流效果。

接下来针对设置在干燥槽3的入口侧的前槽10和设置在干燥槽3的出口侧的后槽11进行说明。

图4为图2的前槽10的剖视图，即从箭头d方向观察的图。另外图5为图2的后槽11的剖视图，即从箭头e方向观察的图。前槽10中作为干燥槽3的前处理进行附着在被处理物2上的液体的除去处理。另外后槽11作为干燥槽3的后处理进行被处理物2中残存的液体的除去处理。由于在前槽10以及后槽11中进行液体的除去处理，在内部设置有与被处理物2的表面相对的气体喷射单元、以及与被处理物2的里面相对的气体喷射单元。前槽10中气体喷射单元设置在与被处理物2的上部(比一半更靠近上侧)相对的位置(上部气体喷射单元16)。另外后槽11中气体喷射单元设置在被处理物2的下部(比一半更靠近下侧)相对的位置(下部气体喷射单元17)，进一步设置有上部气体喷射单元16。此外，前槽10、后槽11上都能够设置上部气体喷射单元16或者下部气体喷射单元17中的任意一者或者两者。

图9中的(a)为从被处理物2侧观察图1所示的上部气体喷射单元16的侧视图。另外图9中的(b)为上部气体喷射单元16的剖视图，即从箭头h方向观察的图。上部气体喷射单元16由内部具有空间的管部件，即管构成，并具有以规定间隔配置的多个上部喷嘴孔20。上部气体喷射单元16在前进方向7上具有长度方向。上部气体喷射单元16通过上部气体喷射单元固定台29保持，将上部气体喷射单元固定台29固定在前槽的墙面进行设置。此外，虽然上部气体喷射单元16如图2所示设置在前槽3的出口侧，但是只要获得上述效果，设置位置和上部气体喷射单元16的长度均不受限定。

上部气体喷射单元16设置为上部喷嘴孔20的设置角度31为相对于通过中心点的水平线30向斜上方向(通过喷嘴孔中心的线32)。气体从上部喷嘴孔20朝向被处理物2向相对于水平线斜上方喷射，气流与被处理物2保持在固定件4中的部分(保持部分)碰撞。其结果能够除去附着在保持部分的液滴。由于保持部分难以被加热，能够通过预先去除来提高干燥槽3的干燥效率。

下部气体喷射单元17具有与图7中的(a)、图7中的(b)所示的气体喷射单元14同样的构成。由此，在后槽11的内部从下部气体喷射单元17的喷嘴孔向被处理物2朝相对于水平线斜下方喷射气体，被处理物2的下部与气流碰撞。其结果能够除去附着在被处理物2的下端部的液滴。另外下部气体喷射单元17能够具有与气体喷射单元14相同的升降单元。此外，下部气体喷射单元17如图2所示设置在后槽3的入口侧，只要能够得到上述效果，设置位置和下部气体喷射单元17的长度也不受限定。

此外，设置下部气体喷射单元17时，最好与图3同样地在设置排气口13的同时设置气体整流板。

接下来针对设置在前槽10的入口侧的预加热槽12进行说明。

图6为图2的预加热槽12的剖视图，即从箭头f方向观察的图。预加热槽12由于进行被处理物2的预加热处理，在内部设置有加热液体喷射单元8。加热液体喷射单元8安装于固定在预加热槽12的顶面33上的支持台21，并设置于与被处理物2的表面相对的一侧，以及与被处理物2的里面相对的一侧。加热液体喷射单元8上设置有喷射加热的液体的液体喷射喷嘴孔23。液体喷射喷嘴孔23的设置角度设置为比水平线更靠近下方。在预加热槽12的底部设置有排水口28。从液体喷射喷嘴孔23向被处理物2相对于水平线向斜下方喷射液体，被处理物2保持在固定件4上的部分(保持部分)与液体碰撞。其结果是，经加热的液体沿着被处理物2的表面流向下方，被处理物2被加温。通过将被处理物预加温，干燥处理时能够在短时间内加热到规定温度从而能够有效率地进行干燥处理。经加热的液体从排水口28排出。

此外，加热液体喷射单元8也能够仅设置在被处理物2的一个面上。另外加热液体喷射单元8的设置方法也没有特别的限定，能够安装于固定在预加热槽12的内壁上的支持台。另外液体喷射喷嘴孔23的设置角度也没有特别的限定，为了将被处理物2整体预加热最好尽可能设置为在被处理物2的上部喷射加热液体。

在本发明中，加热单元6、气体喷射单元14、上部气体喷射单元16、下部气体喷射单元17、和加热液体喷射单元8等的喷射单元能够如上述设置在各处理槽的内部，无论处理槽的内壁是否接地。喷射单元用钳等的固定夹具保持，将该固定夹具安装在内壁上，或者也能够将该固定夹具安装在处理槽的顶面或底面上所设置的支柱上。另外来自介于被处理物2相对的气体喷射单元14、上部气体喷射单元16、下部气体喷射单元17、和加热液体喷射单元8的气体或液体以均等的压力与被处理物2碰撞，能够抑制被处理物2的摇摆。因此，喷嘴孔的设置角度和高度、喷射压力、到被处理物的水平距离能够适当调整，优选为使设置角度、设置高度、喷射压力、水平距离相等而控制从被处理物2两侧以均等的压力，从而更进一步抑制被处理物2的摇摆。

接下来参照附图对干燥装置1中进行的各处理工序的内容进行说明。被处理物2安装在固定件4之后，通过搬运机构从预加热槽12按照前槽10、干燥槽3、后槽11的顺序搬运。这时的搬运速度能够通过控制部进行操控。

本发明中的控制部具备进行各种计算处理的cpu、进行程序的存储和读取的存储器(ram、rom)、控制用程序和数据等的记录介质(磁盘等)，将存储在记录介质中的各种处理程序读出至存储器，cpu根据其内容控制各部件的操作和处理。此外，需要供电的装置与图未示出的电源连接，供给必要的电力。

另外固定件4的搬运机构与发动机和控制部(图未示出)电连接而被控制，并从控制部接收操作命令来移动固定件4。

预加热槽12通过从加热液体喷射单元8的温水与被处理物2碰撞进行预加热处理。加热液体喷射单元8通过液体供给管(图未示出)与送液泵(图未示出)、加热器等的液体加热单元(图未示出)、以及液体储罐(图未示出)连接，送液泵与图未示出的控制部电连接，通过控制部的操作命令由送液泵供给规定量的液体，从加热液体喷射单元8的喷嘴孔喷射。液体没有特别的限定，从成本方面考虑为水。水能够用设置在任意位置的加热液体喷射单元8加热至规定的温度(例如60℃左右)。在预加热槽12内保持在固定件4上的被处理物2能够停止被处理物2的加热需要的时间，也能够边移动边进行预加热处理。预加热处理后，保持在固定件4上的被处理物2移动至前槽10内。

在前槽10从上部气体喷射单元16喷射气体(例如75l/min、0.4mpa)与被处理物2的各个面的固定件4保持部分碰撞。由此进行保持在固定件4上的被处理物2的保持部分的液体除去处理。上部气体喷射单元16连接有气体供给配管(图未示出)，并通过该气体供给配管与气体供给泵(图未示出)连接。气体供给泵与图未示出的控制部电连接，根据控制部的操作命令从气体供给泵向上部气体喷射单元16供给规定量的气体，并从上部喷嘴孔20喷射。气体没有特别的限定，能够例举空气、干燥空气、氮气等的气体，从成本方面考虑为空气。空气能够用气体供给泵吸取并供给。从上部气体喷射单元16喷射的气体的喷出速度能够适当调整泵(图未示出)的压力，例如使用扁平空气喷嘴时，喷嘴宽度(例如50-200mm左右)、喷嘴的直径(例如0.1-5mm左右)时，每个喷嘴的气体的供给量和压力为50-400l/min、0.2-0.5mpa左右。在前槽10内保持在固定件4上的被处理物2能够停止保持部分液体除去需要的时间，也能够边移动边进行液体除去。处理后，保持在固定件4上的被处理物2移动至干燥槽3内。

在干燥槽3通过与被处理物2的各个面相对设置的加热单元6的辐射热进行被处理物2的表里面的干燥。另外通过与从朝向被处理物2的下端部、与被处理物2的各个面相对设置的气体喷射单元14的空气碰撞，保持被处理物2的姿势并进行液滴除去。在加热单元6的两端设置有电极，该电极与图未示出的电源部、控制部电连接，由控制部向电源部发出操作命令并通电，能够加热加热单元6并产生远红外线。此外，由于使被处理物2过热时可能造成热损伤，加热单元6通过pid控制(proportional-integral-differentialcontroller，比例-积分-微分控制器)等进行电源的开关以使被处理物2不过热从而进行温度控制。具体地被处理物2的温度为180℃以上时发生热损伤。另外被处理物2的温度为60℃以下时干燥效率差。因此需将被处理物2的温度控制在上述范围内。

气体喷射单元14与气体供给配管(图未示出)连接，通过该气体供给配管与气体供给泵(图未示出)连结。气体供给泵与图未示出的控制部电连接，根据控制部的操作命令从气体供给泵向气体喷射单元14供给规定量的气体，从喷嘴孔15喷射。气体的喷出速度能够通过泵(图未示出)的压力和管部件的直径(例如10-20mm左右)、喷嘴孔15的数量以及喷嘴孔15的直径(例如1-5mm左右)等调整。从气体喷射单元14喷射的气体的供给量和压力能够抑制被处理物2摇动，例如气体喷射单元14使用的管部件每1m的长度为100-400l/min、0.01-0.04mpa左右。

另外设置在升降支持部26的发动机与控制部(图未示出)电连接，能够根据控制部的操作命令使发动机运转驱动升降用滚轮(图未示出)通过移动升降轨27将气体喷射单元14移动至所需要的位置。因而即使被处理物2的大小改变，气体喷射单元14也能够通过用升降机构移动使气体与被处理物2的下部碰撞。

接下来，保持在固定件4上的被处理物2移动至后槽11。在后槽11中，从下部气体喷射单元17喷射的气体(例如60l/min、0.4mpa)与被处理物2的每个面的下端部碰撞。由此进行附着在被处理物2的下端部的液滴的除去处理。保持在固定件4上的被处理物2在后槽11中进行规定时间停止或者不停止的液滴除去处理。另外在后槽11中，从上部气体喷射单元16喷射的气体(例如75l/min、0.4mpa)与被处理物2的每个面的保持部分碰撞。由此进行保持部分残存的液体的除去处理。上部气体喷射单元16的控制由于与上述前槽10相同因而省略了说明。另外下部气体喷射单元的控制由于与上述干燥槽3的气体喷射单元14的控制相同因而省略了说明。处理后，保持在固定件4上的被处理物2从后槽11被搬出干燥装置外。