一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置的制作方法

文档序号:14256846阅读:197来源:国知局

本发明属于半导体材料加工领域,尤其涉及一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置。



背景技术:

目前,硅材料大量用于日常生活之中,硅片的生产量也日趋增大,硅片在经过一系列的加工程序之后需要进行清洗制绒,清洗的目的是消除吸附在硅片表面的各类污染物,制绒是在其表面制作绒面结构减少太阳光发射,清洗洁净程度直接影响成品率。硅片清洗机往往配置大量槽位,不易清洗,污染物又会对传动机构造成腐蚀,槽位水分难以烘干,都是目前清洗机烘干存在的问题。

综上所述,现有技术存在的问题是:目前多晶硅片清洗制绒机的烘干方式需要消耗大量的氮气,不仅设备造价昂贵,而且企业生产成本高,难以获取利益,以往干燥方法往往不能彻底干燥,造成水分残留。



技术实现要素:

针对现有技术存在的问题,本发明提供了一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置。

本发明是这样实现的,该多晶硅片清洗制绒机烘干装置设置有枪体,所述枪体的表面嵌装有温度显示装置,所述温度显示装置与枪体内部的加热器电连接;

所述枪体的前端设置有烘干孔,所述烘干孔通过管道连通加热器;所述枪体的下端安装有开关,所述开关与加热器电连接。

进一步,所述枪体的上端嵌装有定位灯,所述定位灯通过导线与开关电连接。

进一步,所述枪体的下端套装有橡胶层,所述橡胶层的外部设置有防滑纹。

进一步,所述枪体的上端一体设置有挂孔。

本发明的优点及积极效果为:该多晶硅片清洗制绒机烘干装置可在多种环境下使用,能够在不同工况下合理控制耗电量,节省成本,增大企业效益;同时可以做到探入设备多角度烘干,节省时间,同时装置本身在10万级无尘车间中使用,保重了控干不存在污染。装置结构简单,方便操作者学习,满足了企业的需求。

附图说明

图1是本发明实例提供的多晶硅片清洗制绒机烘干装置的结构示意图;

图中:1、枪体;2、温度显示装置;3、挂孔;4、定位灯;5、防滑纹;6、开关;7、烘干孔。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的发明内容、特点及功效,兹例举以下实施例,并配合附图详细说明如下。

下面结合附图1对本发明的结构作详细的描述。

该多晶硅片清洗制绒机烘干装置设置有枪体1,所述枪体1的表面嵌装有温度显示装置2,所述温度显示装置2与枪体1内部的加热器电连接;

所述枪体1的前端设置有烘干孔7,所述烘干孔7通过管道连通加热器;所述枪体1的下端安装有开关6,所述开关6与加热器电连接。

作为本发明的优选实施例,所述枪体1的上端嵌装有定位灯4,所述定位灯4通过导线与开关6电连接。

作为本发明的优选实施例,所述枪体1的下端套装有橡胶层,所述橡胶层的外部设置有防滑纹5。

作为本发明的优选实施例,所述枪体1的上端一体设置有挂孔3。

本发明的工作原理是:通过开关6对加热器进行控制,实现产热;产生的温度通过温度显示装置2进行实时显示。热空气通过烘干孔7喷出,实现对晶硅片的烘干作业;在烘干过程中,可通过定位灯4对烘干的部位进行定位;通过防滑纹5增加握持的摩擦力,避免掉落;使用完毕后,可通过挂孔3将枪体1进行悬挂。

以上所述仅是对本发明的较佳实施例而已,并非对本发明作任何形式上的限制,凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改,等同变化与修饰,均属于本发明技术方案的范围内。



技术特征:

技术总结
本发明属于半导体材料加工领域,公开了一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置,设置有枪体,所述枪体的表面嵌装有温度显示装置,所述温度显示装置与枪体内部的加热器电连接;所述枪体的前端设置有烘干孔,所述烘干孔通过管道连通加热器;所述枪体的下端安装有开关,所述开关与加热器电连接。该多晶硅片清洗制绒机烘干装置可在多种环境下使用,能够在不同工况下合理控制耗电量,节省成本,增大企业效益;同时可以做到探入设备多角度烘干,节省时间,同时装置本身在10万级无尘车间中使用,保重了控干不存在污染。装置结构简单,方便操作者学习,满足了企业的需求。

技术研发人员:邵玉林
受保护的技术使用者:无锡琨圣科技有限公司
技术研发日:2017.10.25
技术公布日:2018.04.24
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