一种多晶硅制绒机的纯水喷淋系统的制作方法

文档序号:9434599阅读:358来源:国知局
一种多晶硅制绒机的纯水喷淋系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种多晶硅制绒机的纯水喷淋系统,属于太阳电极技术领域。
【背景技术】
[0002]硅片在经过切片、研磨、倒角、抛光等加工工序后,表面已吸附了各种杂质,如颗粒、金属粒子、硅粉粉尘及有机杂质,在进行扩散前需要进行清洗,以消除各类污染物。清洗的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠率。清洗主要是利用NaOH、HF、HCL等化学液对硅片进行腐蚀处理,一方面去除硅片表面的机械损伤层以及硅片表面的硅酸钠、氧化物、油污、金属离子等杂质,另一方面通过腐蚀在硅片的表面形成凹凸面(金字塔绒面),增加光在太阳电池片表面的折射次数,利于太阳电池片对光的吸收,以达到电池片对太阳能价值的最大利用率,这一过程被称为制绒。在制绒的过程中,需要进行多道纯水喷淋工艺,以清除附着在硅片表面的污染物。传统的制绒工艺中,每一道纯水喷淋工艺中的纯水都是单次使用,纯水的消耗量大,在一定程度上造成资源的浪费,提高了生产成本。

【发明内容】

[0003]本发明针对现有技术中,制绒工艺纯水消耗量大、生产成本高的技术问题,提供一种多晶硅制绒机的纯水喷淋系统,在不影响制绒机清洗效果的前提下,节约制绒过程中纯水的用量。
[0004]为此,本发明采用如下技术方案:
一种多晶硅制绒机的纯水喷淋系统,包括进水管、出水管、连通进水管与出水管的若干支管,沿制绒工艺的流程设置的若干组由喷淋管、清洗槽及副槽组成的喷淋单元,每组喷淋单元包括若干根喷淋管,副槽收集清洗槽的纯水供喷淋管循环使用,其特征在于:在最末端的喷淋单元的清洗槽与起始端的喷淋单元的副槽之间设置有连通的支管,从而使最末端的喷淋单元的清洗槽的纯水流入起始端的喷淋单元的副槽,起始端的喷淋单元的副槽供应其喷淋单元内全部喷淋管的纯水。将最末端的喷淋单元的清洗槽排出的相对较干净的水,再次利用,引入起始端的喷淋单元的副槽中,用于对制绒起始阶段的硅片进行喷淋,这样就节省了起始端清洗槽循坏时需要补充的纯水。
[0005]进一步地,在所述进水管处设置有水表。在进水管加装水表,进行整个制绒机台的纯水喷淋系统的纯水用量监控,可以有效的监控节水量。
[0006]进一步地,在所述最末端的喷淋单元的喷淋管的进水端上设置有流量计。对该喷淋单元的纯水用量进行监控。
[0007]进一步地,在中间喷淋单元的喷淋管的进水端上设置有流量计。对该喷淋单元的纯水用量进行监控。
[0008]因此,本发明通过水道管路的改造,大大节约了纯水用量;在纯水用量绝对降低的同时也不会导致扩散不良片的增加;同时,对减少废水的排放及废水后续处理也是有很好的促进作用。
【附图说明】
[0009]图1为多晶太阳电池整个制绒工艺的流程图;
图2为本发明的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]为了使本技术领域的人员更好的理解本发明方案,下面将结合附图,对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述。
[0011]图1为多晶太阳电池整个制绒流程图,制绒工艺的流程如图中箭头部分所示,硅片依次经过制绒槽一清洗槽I —碱槽一清洗槽2 —酸槽一清洗槽3 —烘干段等步骤。具体如下:
O制绒槽:硅片首先经过制绒槽,通过制绒槽中的HN03和HF腐蚀机理制作出腐蚀坑绒面;
2)清洗槽1:通过刻蚀槽后表面会存有一定的酸残留,清洗槽I槽中的纯水会将硅片表面多余的酸液洗净;
3)碱槽:碱槽药液为Κ0Η,制绒后表面会存有多孔硅,需用KOH碱液将多孔硅去掉;
4)清洗槽2:经过碱槽中的KOH作用后虽然去除掉了多孔硅,但硅片表面会有部分碱残留,需用清洗槽2纯水将其洗掉;
5)酸槽:酸槽为HCL和HF,HF会将硅片表面存在的氧化层去掉,HCL会去掉金属离子;
6)清洗槽3:将硅片表面残留的酸液洗净;
7)烘干:将经过清洗槽3后硅片表面残余的水烘干。
[0012]其中,三个清洗槽的纯水循坏原理基本都相同,在机器正常运转前,各槽体(包括刻蚀槽、碱槽、酸槽、清洗槽)都需配好药液,以待机台开机自动运行。三个清洗槽无需配药,但需要加入纯水;三个清洗槽加入纯水时是通过阀门①\③\⑤开启后将外围纯水引入到副槽中。当各槽体及清洗槽水槽配液完毕后,机台可开启自动生产模式。此时三个清洗槽副槽中的纯水,通过循坏栗将其打入到喷淋管A\B\C\、E\F\G、I\J\K (图中黑色虚线部分)。其中从A\E\I在对硅片喷淋完后,其纯水会直接通过A1\E1\I1管道排放出去;B\C、F\G、J\K喷淋管在对硅片喷淋后,其纯水会通过B1\C1、F1\G1、J1\K1管道直接再回到副槽中;D\H\J喷淋管会通过外围②\④\⑥三个阀门开启,来直接引入外围纯水对硅片进行喷淋,喷淋完后的纯水也会流入到副槽中。此保证了三个清洗槽水槽通过排放和补充来保持清洗槽副槽中的纯水足够循坏。
[0013]如图2所示,本发明的多晶硅制绒机的纯水喷淋系统,包括进水管、出水管、连通进水管与出水管的若干支管,沿制绒工艺的流程设置的若干组由喷淋管、清洗槽及副槽组成的喷淋单元,每组喷淋单元包括若干根喷淋管,副槽收集清洗槽的纯水供喷淋管循环使用,在本实施例中,与现有制绒机相适应,依次在制绒槽、碱槽和酸槽之后配置喷淋单元,为描述方便,在此命名为第一喷淋单元、第二喷淋单元和第三喷淋单元,对应地,其内的喷淋管、清洗槽及副槽也分别命名为第一喷淋管、第二喷淋管、第三喷淋管;第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽;以及第一副槽、第二副槽、第三副槽。
[0014]在第三喷淋单元的清洗槽与第一喷淋单元的副槽之间设置有连通的支管,从而使第三喷淋单元的清洗槽的纯水流入第一喷淋单元的副槽,第一喷淋单元的副槽供应其喷淋单元内全部喷淋管的纯水。也即,第三清洗槽的纯水流入第一副槽。
[0015]作为优选,在所述进水管处设置有水表,进行整个制绒机台的纯水喷淋系统的纯水用量监控,有效地监控节水量。在第二喷淋单元和第三喷淋单元的喷淋管的进水端上设置有流量计,分别对该喷淋单元的纯水用量进行监控。
[0016]具体地,如图2所示,三个副槽中的纯水,通过循坏栗将其打入到喷淋管A\B\C\、E\F\G、I\J\K (图中黑色虚线部分)。其中从A\E\I在对硅片喷淋完后,其纯水会直接通过A1\E1\I1管道排放出去;B\C、F\G、J\K喷淋管在对硅片喷淋后,其纯水会通过B1\C1、F1\G1、J1\K1管道直接再回到对应的副槽中;H\J喷淋管会通过外围④\⑥三个阀门开启,来直接引入外围纯水对硅片进行喷淋,喷淋完后的纯水也会流入到对应副槽中。将阀门②关闭,第一清洗槽的D喷淋管的纯水供应由之前的外围供应变为由第一副槽供应,而第一副槽的进水则由第三清洗槽排出的纯水来供应;阀门④和阀门⑥加流量计用于监控第二清洗槽和第三清洗槽的喷淋量。
[0017]本发明通过将第三清洗槽排出的相对较干净的水,再次利用到第一副槽中,这样就节省了第一清洗槽循坏时需要补充的纯水。同时安装的水表会对清洗槽槽用水量进行监控,可以有效的监控节水量。
[0018]显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本发明保护的范围。
【主权项】
1.一种多晶硅制绒机的纯水喷淋系统,包括进水管、出水管、连通进水管与出水管的若干支管,沿制绒工艺的流程设置的若干组由喷淋管、清洗槽及副槽组成的喷淋单元,每组喷淋单元包括若干根喷淋管,副槽收集清洗槽的纯水供喷淋管循环使用,其特征在于:在最末端的喷淋单元的清洗槽与起始端的喷淋单元的副槽之间设置有连通的支管,从而使最末端的喷淋单元的清洗槽的纯水流入起始端的喷淋单元的副槽,起始端的喷淋单元的副槽供应其喷淋单元内全部喷淋管的纯水。2.根据权利要求1所述的多晶硅制绒机的纯水喷淋系统,其特征在于:在所述进水管处设置有水表。3.根据权利要求1所述的多晶硅制绒机的纯水喷淋系统,其特征在于:在所述最末端的喷淋单元的喷淋管的进水端上设置有流量计。4.根据权利要求1所述的多晶硅制绒机的纯水喷淋系统,其特征在于:在中间喷淋单元的喷淋管的进水端上设置有流量计。
【专利摘要】本发明涉及一种多晶硅制绒机的纯水喷淋系统,属于太阳电池技术领域,包括进水管、出水管、连通进水管与出水管的若干支管,沿制绒工艺的流程设置的若干组由喷淋管、清洗槽及副槽组成的喷淋单元,每组喷淋单元包括若干根喷淋管,副槽收集清洗槽的纯水供喷淋管循环使用,其特征在于:在最末端的喷淋单元的清洗槽与起始端的喷淋单元的副槽之间设置有连通的支管,从而使最末端的喷淋单元的清洗槽的纯水流入起始端的喷淋单元的副槽,起始端的喷淋单元的副槽供应其喷淋单元内全部喷淋管的纯水。本发明在不导致扩散不良片的增加的前提下,大大节约了纯水用量;同时,对减少废水的排放及废水后续处理也是有很好的促进作用。
【IPC分类】H01L31/18
【公开号】CN105185869
【申请号】CN201510539799
【发明人】肖斌
【申请人】常州天合光能有限公司, 湖北天合光能有限公司
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年8月28日
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