一种新型碳化硅桨调整机构的制作方法

本实用新型涉及机械设计领域，尤其涉及一种新型碳化硅桨调整机构。

背景技术：

在实际运用中由于碳化硅桨的长悬臂特性和加载在碳化硅桨上的负载硅片较重，碳化硅桨会不可避免的产生弯曲变形，变形的幅度由于碳化硅材质本身特性存在差异而不同，在工艺炉内的位置调整不好很容易影响硅片的处理品质，这样就要求碳化硅桨必须有可以调整位置的机构，该调整机构越简单方便、调整的位置精度越高，则该调整机构就越能实现并产生经济效益。现有的技术方案是通过前后两组螺丝顶紧的方式来调整碳化硅桨的上下位置和上下倾角、通过内外两组螺丝顶紧的方式来调整碳化硅桨的水平位置和水平倾角。

现有的碳化硅桨的调整机构都是利用螺丝顶拉作用使需要调整的零件相对另一零件产生相互滑动来实现平移或角度的调节，这种滑动调整的机构需要克服的摩擦力往往很大，调整的难度很大，调整精度也不容易控制，往往需要反复进行调整，调节浪费很长的时间，严重影响经济效益。

技术实现要素：

为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种新型碳化硅桨调整机构，以快速准确调整硅桨位置和旋转角度，所述技术方案如下：

本实用新型提供一种新型碳化硅桨调整机构，其包括安装座、支撑组件、第一调整机构、第二调整机构、第三调整机构及第四调整机构，所述支撑组件包括垂直设置的第一支撑组件与第二支撑组件，所述第一支撑组件包括设置在安装座上的第一支撑件及设置在第一支撑件上的第二支撑件，所述第一支撑件与第二支撑件平行设置；

所述第二支撑组件包括与第二支撑件垂直设置的支撑座、设在支撑座上的第三支撑件及设在第三支撑件上的固定座，所述固定座用于固定碳化硅桨，所述支撑座、第三支撑件及固定座均平行设置；

所述第一调整机构用于驱动所述第三支撑件沿第一方向移动，进而带动所述硅桨移动；所述第二调整机构用于驱动所述固定座相对第三支撑件转动，进而带动所述硅桨转动；所述第三调整机构用于驱动所述第一支撑件沿第二方向移动，进而带动所述硅桨移动；所述第四调整机构用于驱动所述第二支撑件相对第一支撑件转动，进而带动所述硅桨转动；所述第一方向与第二方向垂直。

进一步地，所述第一调整机构包括与第三支撑件连接的第一调节件及设置在第三支撑件与支撑座之间的两个第一交叉导轨，两个第一交叉导轨之间保持间距，所述第一调节件的延伸方向与第一方向平行，在外力作用下，所述第一调节件移动带动所述第三支撑件沿第一方向移动，所述第三支撑件移动带动固定座移动，进而带动所述碳化硅桨移动。

进一步地，所述第一交叉导轨包括与支撑座固定连接的第一导轨、与第三支撑件固定连接的第二导轨及设置在第一导轨和第二导轨之间的轴承，所述第一导轨与第二导轨相配合。

进一步地，所述第二调整机构包括与固定座连接的第二调节件及设置在固定座内的第一转动件，所述第二调节件与第一转动件之间通过第一连接轴连接，所述第二调节件的延伸方向与第一方向平行，在外力作用下，所述第二调节件移动，以带动所述固定座以第一转动件为中心相对第三支撑件转动，进而带动所述碳化硅桨转动。

进一步地，所述第一转动件包括设置在固定座上的第一旋转轴及套设在第一旋转轴上的第一旋转轴承，当所述第二调节件沿第一方向移动时，带动所述第一连接轴绕第一转动件转动，进而带动固定座转动。

进一步地，所述第三调整机构包括与第一支撑件连接的第三调节件及设置在第一支撑件与安装座之间的两个第二交叉导轨，两个第二交叉导轨之间保持间距，所述第三调节件的延伸方向与第二方向平行，在外力作用下，所述第二调节件移动带动所述第一支撑件相对安装座移动，进而带动所述碳化硅桨移动。

进一步地，所述第四调整机构包括与第二支撑件连接的两个第四调节件及设置在第二支撑件内的第二转动件，所述第四调节件与第二转动件之间通过第二连接轴连接，所述第四调节件的延伸方向与第二方向平行，在外力作用下，所述第四调节件移动，以带动所述第二支撑件以第二转动件为中心相对第一支撑件转动，进而带动所述碳化硅桨转动。

进一步地，所述第二转动件包括设置在第二支撑件内的第二旋转轴及套设在第二旋转轴上的第二旋转轴承，当所述第四调节件沿第二方向移动时，带动所述第二连接轴绕第二旋转轴转动，进而带动固定座转动。

进一步地，所述调整机构还包括固定设置在支撑座上的连接板，所述第一调节件设置在连接板上；所述固定座包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板之间设有用于放置硅桨的中空空间。

进一步地，所述调整机构还包括与第三支撑件连接的第一支撑板及与第一支撑板连接的第二支撑板，所述第一支撑板上设置有用于与固定座相抵的固定件，所述第二调节件设置在第二支撑板上。

本实用新型提供的技术方案带来的有益效果如下：

a.本实用新型提供的碳化硅桨调整机构为简单控制、精确调整的滚动摩擦式的精确调整机构，实现快速准确的调整碳化硅桨的位置和角度，极大的节约了成本，提高了工作效率；

b.本实用新型的新型碳化硅桨调整机构，所述第一调整机构和第三调整机构均使用交叉导轨连接，第二调整机构和第三调整机构均使用转动件，相对现有的滑动摩擦式的连接调整机构，调整机构具有省力、快速调节省时、精度易控制等优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的新型碳化硅桨调整机构的立体图；

图2是本实用新型实施例提供的新型碳化硅桨调整机构的俯视图；

图3是本实用新型实施例提供的碳化硅桨竖直旋转后的主视图；

图4是本实用新型实施例提供的碳化硅桨水平旋转后的调整机构的俯视图；

图5是本实用新型实施例提供的新型碳化硅桨调整机构的图3中a方向的剖面图；

图6是本实用新型实施例提供的新型碳化硅桨调整机构的第一调整机构和第二调整机构的立体图；

图7是本实用新型实施例提供的碳化硅桨水平旋转后的第二调整机构的俯视图；

图8是本实用新型实施例提供的碳化硅桨水平旋转后的第二调整机构的主视图；

图9是本实用新型实施例提供的第一调整机构和第二调整机构的爆炸图；

图10是本实用新型实施例提供的新型碳化硅桨调整机构的第一转动件的爆炸图。

其中，附图标记包括：1-安装座，2-第一调整机构，21-第一调节件，22-第一交叉导轨，31-第二调节件，32-第一转动件，321-第一旋转轴，322-第一旋转轴承，41-第三调节件，42-第二交叉导轨，51-第四调节件，52-第二转动件，521-第二旋转轴，522-第二旋转轴承，6-第一支撑件，7-第二支撑件，8-支撑座，9-第三支撑件，10-固定座，101-第一固定板，102-第二固定板，11-连接板，12-第一支撑板，13-第二支撑板，14-固定件，15-碳化硅桨。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、装置、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本实用新型的一个实施例中，提供了一种新型碳化硅桨调整机构，具体结构参见图1和图2，所述调整机构包括安装座1、支撑组件、第一调整机构2、第二调整机构、第三调整机构及第四调整机构，所述支撑组件包括垂直设置的第一支撑组件与第二支撑组件，所述第一支撑组件包括设置在安装座1上的第一支撑件6及设置在第一支撑件6上的第二支撑件7，所述第一支撑件6、第二支撑件7与安装座1均平行设置。

所述第二支撑组件的具体结构如下：所述第二支撑组件包括与第二支撑件7垂直设置的支撑座8、设在支撑座8上的第三支撑件9及设在第三支撑件9上的固定座10，所述固定座10用于固定碳化硅桨，所述支撑座8、第三支撑件9及固定座10均平行设置，且所述支撑座8与第二支撑件7固定连接，所述第二支撑件7与所述支撑座8优选为一体结构，形成l型结构。所述固定座10包括第一固定板101和第二固定板102，所述第一固定板101和第二固定板102之间设置有用于放置硅桨的中空空间，即硅桨的一端固定设置在第一固定板101和第二固定板102之间。

本实用新型提供的新型碳化硅桨调整机构的具体实施方式如下：所述第一调整机构2用于驱动所述第三支撑件9沿第一方向(前后方向，后是在图朝向使用者的方向，前是远离使用者的方向)移动，进而带动所述硅桨移动；所述第二调整机构用于驱动所述固定座10相对第三支撑件9转动(即在水平面上旋转，水平面指第三支撑件9和固定座10所在平面)，进而带动所述硅桨转动；所述第三调整机构用于驱动所述第一支撑件6沿第二方向移动，进而带动所述硅桨移动；所述第四调整机构用于驱动所述第二支撑件7相对第一支撑件6转动(即在竖直面上旋转，竖直面为安装座所在平面，竖直面与水平面垂直设置)，进而带动所述硅桨转动；所述第一方向与第二方向垂直。

所述第一调整机构2的具体结构如下：参见图6和图9，所述第一调整机构2包括与第三支撑件9连接的第一调节件21及设置在第三支撑件9与支撑座8之间的两个第一交叉导轨22，两个第一交叉导轨22之间保持间距，所述第一调节件21的延伸方向与第一方向平行，在外力作用下，所述第一调节件21移动带动所述第三支撑件9相对支撑座8沿第一方向(前后)移动，所述第三支撑件9移动带动固定座10移动，进而带动所述碳化硅桨移动。具体地，所述支撑座8上端的两边分别设置有凹槽，所述第一交叉导轨22包括与支撑座8固定连接的第一导轨、与第三支撑件9固定连接的第二导轨及设置在第一导轨和第二导轨之间的轴承，轴承为滚珠或滚针。

所述第一导轨与所述支撑座8上凹槽一一对应，所述第一调节件21移动时，第三支撑件9移动使得所述第二导轨相对第一导轨移动，第三支撑件9移动带动固定座10移动，进而带动硅浆移动，支撑座8在这个移动过程中不会发生位移变化。外力动力带动第三支撑件9移动，第二导轨朝向第一导轨方向的导向面沿滚针滑动，其导向面为内凹的v型凹面，v型凹面是一个夹角，具有限位作用，且两个面与滚珠形成滑面，使第二导轨的活动性能好且减少了其滑动所产生的摩擦力，提高第二导轨的使用寿命，滚针所具有的功能就是防滑功能，不需要第一导轨和第二导轨之间直接接触产生的滑动摩擦力。水平调整位置时滚动摩擦力很小，可轻松快速准确的进行水平位置的调整。

所述调整机构还包括固定设置在支撑座8上的连接板11，所述第一调节件21设置在连接板11上，所述连接板11上设置有供调节件21穿过的开孔，便于旋进选出第一调节件21。

所述第二调整机构的具体结构如下：参见图4、图7、图8和图9，所述第二调整机构包括与固定座10连接的第二调节件31及设置在固定座10内的第一转动件32，所述第二调节件31与第一转动件32之间通过第一连接轴连接，所述第二调节件31的延伸方向与第一方向平行，在外力作用下，所述第二调节件31移动，以带动所述固定座10以第一转动件32为中心相对第三支撑件9转动，进而带动所述碳化硅桨(硅浆固定设置在固定座10上)转动，转动时，第三支撑件9轴线与支撑座8轴线之间保持小于90度的夹角，偏移参见图7中箭头所指a，相对未旋转，a所指距离增大，两条虚线之间的夹角为偏移角度。

所述第一转动件32的具体结构如下：参见图10，所述第一转动件32包括设置在固定座10上的第一旋转轴321及套设在第一旋转轴321上的第一旋转轴承322，第一旋转轴承为滚针轴承，当所述第二调节件31沿第一方向移动时，带动所述第一连接轴绕第一转动件32转动，进而带动固定座10转动，具体地，当所述第二调节件31向后移动时，带上固定座10逆时针转动，进而带动硅桨顺时针转动；当所述第二调节件31向前移动时，带上固定座10顺时针转动，进而带动硅桨逆时针转动。水平面调整角度时旋转的摩擦力很小，可轻松快速准确的进行水平角度的调整。

所述第三调整机构的具体结构如下：所述第三调整机构包括与第一支撑件6连接的第三调节件41及设置在第一支撑件6与安装座1之间的两个第二交叉导轨42，两个第二交叉导轨42之间保持间距，所述第三调节件41的延伸方向与第二方向平行，在外力作用下，所述第三调节件41上下移动，以带动所述第一支撑件6相对安装座1(安装座1固定不动)移动，所述第一支撑件6移动带动第二支撑件7移动，进而带动所述碳化硅桨移动(第二支撑件7与支撑座8固定连接)。

所述第二交叉导轨42包括与第一支撑件6固定连接的第三导轨、与安装座1固定连接的第四导轨及设置在第三导轨和第四导轨之间的轴承，所述第三导轨和第四导轨相配合，轴承为滚珠或滚针。

所述安装座上两边设置有凹槽，一个凹槽用于放置一个相配合的第三导轨和第四导轨，所述第三调节件41移动时，第一支撑件6移动使得所述第三导轨相对第四导轨移动，第三支撑件9移动带动固定座10移动，进而带动硅浆移动，安装座在这个移动过程中不会发生位移变化。外力动力带动第一支撑件6移动，第三导轨朝向第四导轨方向的导向面沿轴承滑动，其导向面为内凹的v型凹面，v型凹面是一个夹角，具有限位作用，且两个面与滚珠形成滑面，使第三导轨的活动性能好且减少了其滑动所产生的摩擦力，提高第三导轨的使用寿命，滚针所具有的功能就是防滑功能，不需要第三导轨和第四导轨之间直接接触产生的滑动摩擦力。调整上下位置时滚动摩擦力很小，可轻松快速准确的进行竖直方向位置的调整。

所述第四调整机构的具体结构如下：参见图3和图5，所述第四调整机构包括与第二支撑件7连接的两个第四调节件51及设置在第二支撑件7内的第二转动件52，所述第四调节件51与第二转动件52之间通过第二连接轴连接，所述第四调节件51的延伸方向与第二方向平行，在外力作用下，所述第四调节件51移动，以带动所述第二支撑件7以第二转动件52为中心相对第一支撑件6转动，进而带动所述碳化硅桨转动，转动时，第二支撑件7轴线与安装座1轴线之间保持小于90度的夹角。

所述第二转动件52的具体结构如下：所述第二转动件52包括设置在第二支撑件7上的第二旋转轴521及套设在第二旋转轴521上的第二旋转轴承522，第二旋转轴承为滚针轴承，当所述第四调节件51沿第二方向(上下)移动时，带动所述第二连接轴绕第二旋转轴521转动，进而带动固定座10转动。所述第四调节件51设置为两个，一个用于调节硅桨在竖直平面上顺时针转动，一个于调节硅桨在竖直平面上逆时针转动，当硅桨在竖直平面旋转一定角度后，顶紧件(还包括顶紧件)会顶紧第二旋转轴521，以限制第二旋转轴521转动。竖直方向调整角度时旋转的摩擦力很小，可轻松快速准确的进行竖直方向角度的调整。

所述第一调节件21、第二调节件31、第三调节件41和第四调节件51优选为调节螺丝，设置所述第四调整机构，方便调整硅桨在竖直平面的旋转角度；设置所述第二调整机构，方便调整硅桨在水平平面的旋转角度。现有设计是滑动摩擦，硅桨很重，靠滑动调节困难，本申请提供的调整机构是省力机构，轴承的滚动是滚动摩擦，摩擦力小，且通过调整螺丝实现微调，方便调整，可以很轻松的进行角度调整和控制角度的调整精度。

所述调整机构还包括与第三支撑件9连接的第一支撑板12以及与第一支撑板12连接的第二支撑板13，所述第一支撑板12与第二支撑板13垂直设置，所述第一支撑板12上设置有用于与固定座10相抵的固定件14，固定件14优选为凸轮随动器，当调整碳化硅桨在水平面旋转的角度时，固定件14压紧固定座不让其往上翘；所述第一支撑板12上开设有凹槽，所述固定座10一部分设在第一支撑板12的凹槽内，设置第一支撑板12便于第一连接轴与第二调节件连接；所述第二调节件31设置在第二支撑板13上，所述第二支撑板13用于固定第二调节件31。

本实用新型的新型碳化硅桨调整机构，所述第一调整机构和第三调整机构均使用交叉导轨连接，第二调整机构和第三调整机构均使用旋转轴承和转动件的组合连接方式，相对现有的滑动摩擦式的连接调整机构，调整机构具有省力、快速调节省时、精度易控制等优点。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。