一种退火炉管道式热循环装置的制作方法

1.本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种退火炉管道式热循环装置。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
3.但是，现有的退火炉存在内部热量易挥发，不仅增加了能源消耗，同时降低了装置的实用性，因此，需要设计一种退火炉管道式热循环装置来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种退火炉管道式热循环装置，以解决上述背景技术中提出的现有的退火炉存在内部热量易挥发，不仅增加了能源消耗，同时降低了装置的实用性的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉管道式热循环装置，包括：
6.装置本体，所述装置本体包括退火炉本体、装置底板和抽气机，所述装置底板的一侧固定连接有旋转电机，所述旋转电机的输出端固定连接有抽气机，所述抽气机的内部横向穿插有热循环管道，所述装置底板的一侧固定连接有退火炉本体，所述退火炉本体的表面开设有探视窗，所述探视窗的表面固定连接有刻度线，所述热循环管道的一侧设置有调节机构，所述退火炉本体的一侧设置有支撑机构；
7.加热机构，所述加热机构包括固定架和加热底板，所述加热底板的一侧固定连接有固定架，所述固定架的一侧固定连接有电热阻丝，所述加热底板的一侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有往复丝杆，所述往复丝杆的一侧套接有加热底座，所述加热底座的两侧活动连接有收缩板，两组所述收缩板的内部皆套接有伸缩板，两组所述伸缩板的一侧活动连接有风扇。
8.优选的，所述退火炉本体的表面开设有探视窗，所述探视窗的表面固定连接有刻度线。
9.优选的，所述往复丝杆的一侧啮合连接有旋转齿轮，所述旋转齿轮的一侧活动连接于加热底座上。
10.优选的，所述调节机构包括调节板和螺纹套，所述热循环管道的表面固定连接有调节板，所述热循环管道的表面套接有螺纹套，所述螺纹套的内部螺纹连接有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆的一侧固定连接有连接杆，所述连接杆的一侧固定连接有转盘。
11.优选的，所述转盘的表面套接有防滑垫。
12.优选的，所述支撑机构包括第一支撑杆和连接筒，所述退火炉本体的一侧活动连
接有第一支撑杆，所述第一支撑杆的一侧固定连接有连接筒，所述连接筒的一侧固定连接有第二支撑杆，所述第二支撑杆的一侧活动连接有支撑底座。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、通过设置有退火炉本体、装置底板和抽气机，当装置使用时，工作人员可通过启动电热阻丝进行内部发热，通过风扇可快速将热能吹入退火炉本体内部，大大提升了装置使用的工作效率，同时，工作人员启动伺服电机通过收缩板带动旋转齿轮旋转，当旋转齿轮旋转时，可匀速调整风扇的吹风角度，使内部热量分散更加均匀，大大提升了装置的实用性。
15.2、当装置使用时，工作人员可通过旋转转盘，带动螺纹丝杆在螺纹套内部旋转，将螺纹套转离螺纹套内部，保持内部热气循环通畅，大大提升了装置的使用的便捷性，同时，当装置使用完成时，可通过逆时针旋转转盘将螺纹丝杆卡合于螺纹套内部，提升了装置使用的安全性。
附图说明
16.图1为本实用新型的结构正视剖面示意图；
17.图2为本实用新型的加热机构结构正视剖面示意图；
18.图3为本实用新型的调节机构结构正视剖面示意图；
19.图4为本实用新型的支撑机构结构正视示意图。
20.图中：100、装置本体；110、退火炉本体；111、探视窗；112、刻度线；113、装置底板；114、抽气机；115、旋转电机；116、热循环管道；200、加热机构；210、电热阻丝；211、固定架；212、加热底座；213、加热底板；214、往复丝杆；215、旋转齿轮；216、伺服电机；217、收缩板；218、伸缩板；219、风扇；300、调节机构；310、调节板；311、螺纹套；312、螺纹丝杆；313、转盘；314、防滑垫；315、连接杆；400、支撑机构；410、第一支撑杆；411、连接筒；412、第二支撑杆；413、支撑底座。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：
23.一种退火炉管道式热循环装置，包括装置本体100，装置本体100包括退火炉本体110、装置底板113和抽气机114，装置底板113的一侧固定连接有旋转电机115，旋转电机115的输出端固定连接有抽气机114，抽气机114的内部横向穿插有热循环管道116，装置底板113的一侧固定连接有退火炉本体110，退火炉本体110的表面开设有探视窗111，探视窗111的表面固定连接有刻度线112，热循环管道116的一侧设置有调节机构300，退火炉本体110的一侧设置有支撑机构400；
24.加热机构200，加热机构200包括固定架211和加热底板213，加热底板213的一侧固定连接有固定架211，固定架211的一侧固定连接有电热阻丝210，加热底板213的一侧固定
连接有伺服电机216，伺服电机216的输出端固定连接有往复丝杆214，往复丝杆214的一侧套接有加热底座212，加热底座212的两侧活动连接有收缩板217，两组收缩板217的内部皆套接有伸缩板218，两组伸缩板218的一侧活动连接有风扇219，当装置使用时，工作人员可通过启动电热阻丝210进行内部发热，通过风扇219可快速将热能吹入退火炉本体110内部，大大提升了装置使用的工作效率。
25.进一步的，退火炉本体110的表面开设有探视窗111，探视窗111的表面固定连接有刻度线112，工作人员可通过探视窗111与刻度线112观察内部原料工作情况，提升了装置的实用性。
26.进一步的，往复丝杆214的一侧啮合连接有旋转齿轮215，旋转齿轮215的一侧活动连接于加热底座212上，工作人员启动伺服电机216通过收缩板217带动旋转齿轮215旋转，当旋转齿轮215旋转时，可匀速调整风扇219的吹风角度，使内部热量分散更加均匀，大大提升了装置的实用性。
27.进一步的，调节机构300包括调节板310和螺纹套311，热循环管道116的表面固定连接有调节板310，热循环管道116的表面套接有螺纹套311，螺纹套311的内部螺纹连接有螺纹丝杆312，螺纹丝杆312的一侧固定连接有连接杆315，连接杆315的一侧固定连接有转盘313，工作人员可通过旋转转盘313，带动螺纹丝杆312在螺纹套311内部旋转，将螺纹套311转离螺纹套311内部，保持内部热气循环通畅，提升了装置的使用的便捷性，同时，当装置使用完成时，可通过逆时针旋转转盘313将螺纹丝杆312卡合于螺纹套311内部，提升了装置使用的安全性。
28.进一步的，转盘313的表面套接有防滑垫314，当工作人员旋转转盘313时，可通过握住防滑垫314增加手部与装置之间的摩擦，防止手滑，提升了装置使用的安全性。
29.进一步的，支撑机构400包括第一支撑杆410和连接筒411，退火炉本体110的一侧活动连接有第一支撑杆410，第一支撑杆410的一侧固定连接有连接筒411，连接筒411的一侧固定连接有第二支撑杆412，第二支撑杆412的一侧活动连接有支撑底座413，当装置使用时，可通过第一支撑杆410对装置起到支撑效果，大大提升了装置使用的稳定性。
30.工作原理：当装置使用时，工作人员可通过启动电热阻丝210进行内部发热，通过风扇219可快速将热能吹入退火炉本体110内部，提升了装置使用的工作效率，同时，工作人员启动伺服电机216通过收缩板217带动旋转齿轮215旋转，当旋转齿轮215旋转时，可匀速调整风扇219的吹风角度，使内部热量分散更加均匀，提升了装置的实用性。
31.工作人员可通过旋转转盘313，带动螺纹丝杆312在螺纹套311内部旋转，将螺纹套311转离螺纹套311内部，保持内部热气循环通畅，提升了装置的使用的便捷性，同时，当装置使用完成时，可通过逆时针旋转转盘313将螺纹丝杆312卡合于螺纹套311内部，提升了装置使用的安全性。
32.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。