一种冷却装置及冷却设备的制作方法

本实用新型涉及冷却设备技术领域，具体为一种冷却装置及冷却设备。

背景技术：

在太阳能电池生产线上，电池片在其他腔室内输出时为高温状态，约为200℃左右，需要将其放置在载板(输送板)上并送入真空腔室内进行冷却处理。太阳能电池生产工艺控制中，为确保电池片的转换效率，需要严格限制电池片在真空腔室降温后并输出真空腔室时的温度确保在120℃以下。

目前，通常在真空腔室内配备有冷却器对载板上的电池片进行降温。根据生产工艺要求，在真空腔室内，放置电池片的载板的温度需要降低至100℃以下时，才能保证输出真空腔室时电池片的温度低于120℃。在正常生产过程中，载板在进入真空腔室后需要在20－30s内降低至100℃以下，目前现有冷却器的冷却能力有限，无法满足载板在规定时间内冷却至100℃以下，同时现有的冷却器对载板及电池片进行冷却的均匀性较差，会造成电池片及载板出现开裂及变形的风险，降低了电池片的合格率，严重影响电池片的正常生产。

因此，需要设计一种冷却装置，其能够确被冷却的工件能够均匀且快速的降温，保证工件合格率及生产效率。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于解决现有的冷却器不能均匀且快速的对进入冷却室内的运输载板及工件降温的问题，提供了一种结构简单、效率高、消耗低的冷却装置及冷却设备，冷却装置能够确保载有工件的运输载板在进入冷却室内能够快速的降温，避免其出现变形的问题，同时，能够确保工件输出冷却室的工艺质控要求，确保工件的合格率及生产效率。

实现实用新型目的的技术方案如下：

本实用新型提供了一种冷却装置，包括位于冷却室内的冷却结构，冷却结构包括气盒，气盒内设有冷却水管，且气盒上设有出气部，冷却水管内冷却液用于对气盒内的冷却气体降温，并将冷却后的冷却气体经出气部排出至冷却室，对冷却内的运输载板及运输载板上的工件降温。

冷却装置还包括位于冷却室外部的冷却气循环结构，冷却气循环结构的一端与气盒连通，冷却气循环结构的另一端与冷却室连通。

冷却气循环结构、气盒、冷却室三者形成冷却气体的闭环循环结构。

冷却装置的工作原理是：首先，冷却气体与气盒内的冷却水管内的冷却液热交换进行降温；其次，冷却后的冷却气体在冷却气循环结构的作用下经出气部排出至冷却室；然后，冷却气体对冷却室内的高温高热的运输载板及运输载板上的工件降温；最后，进行热交换的冷却气体在冷却气循环结构的作用下从冷却室排出并输送至气盒内与冷却水管内的冷却液再次进行热交换，冷却气体经冷却气循环结构在在气盒与冷却室之间不断的循环，对冷却室的壁、运输载板、运输载板上的工件降温。

冷却装置的气盒设置在冷却室内，冷却气体能够以更短的路径直接对冷却室内运输载板及运输载板上的工件进行降温，相比设置在冷却室外具有更好的冷却效果，能够在工艺控制要求的时间范围内达到降温的要求，避免运输载板被破坏从而保证生产的效率，也能够确保工件的质量；同时，冷却气体在冷却气循环结构、气盒、冷却室三者之间形成闭环结构，减少了冷却气体的消耗，并可保证足够的冷却能力。

其中，气盒位于运输载板的正上方，且气盒的底壁与运输载板相平行。将气盒设置在运输载板的正上方，能够使得从出气部排出的冷却气体很好的与高温的工件接触，确保工件的降温效果。使气盒的底壁与运输载板相平行，能够确保经出气部排出的冷却气体与运输载板及运输载板上的工件距离相同，确保同一位置的运输载板及运输载板上的工件的冷却效果相同。

在本实用新型出气部的一种结构中，出气部包括多个第一出气部，多个第一出气部均匀地设置在气盒的底部。冷却气体经多个第一出气部排出至冷却室内，投射到运输载板上的气体辐射面积大于等于运输载板的面积。

当冷却气体的气体辐射面积大于运输载板的面积时，运输载板及运输载板上的工件能够全部与冷却气体接触，均匀设置的第一出气部排出的冷却气体能够均匀的与工件及运输载板接触，确保同一位置的工件及运输载板冷却效果的均一性，避免工件开裂及运输载板变形影响工件的质量及运输载板的承载效果。

在本实用新型第一出气部的一种结构中，第一出气部包括开设在气盒的底壁上的出气孔。冷却气体经出气孔排出时与气盒的底壁相垂直，且垂直投射(喷射)对运输载板、运输载板上的工件、冷却室的底壁降温。

在本实用新型第一出气部的另一种结构中，第一出气部包括开设在气盒的底壁上的出气孔，出气孔上还设有出气管头，且出气管头与气盒的底壁之间具有角度。在出气孔上设置出气管头，出气管口可以与气盒的底壁之间具有任意角度，在冷却气体经出气孔及出气管头排出时，一方面，冷却气体可以垂直的投射(喷射)，对运输载板、运输载板上的工件、冷却室的底壁进行降温，另一方面冷却气体可以以倾斜的角度投射(喷射)到冷却室内部的侧壁上，对冷却室的侧壁进行降温。

当冷却室的壁(上壁、四周侧壁、底壁)为带有夹层的腔室时。现有的方法是在冷却室的壁上开设孔，将冷却水通入腔室内进行降温，此时需要额外增加冷却装置，增加了设备的制造成本及维护成本，且当冷却水通入带有夹层的腔室时，当冷却室的壁出现漏液等情况也会影响环境卫生及产生安全隐患。因此，本实用新型对上述出气部进行改进，具体的，出气部还包括第二出气部，第二出气部及冷却气循环结构均与冷却室的腔室连通，冷却气体经冷却气循环结构及第二出气部在冷却室的腔室与气盒之间循环，对冷却室的壁内的腔室降温。第二出气部的设置，避免了额外的冷却装置的设置降低了设备的成本，并且在实际工作过程中，冷却气体经第一出气部排出对冷却室内的运输载板及工件降温的过程中，冷却气体同时能够经第二出气部进入冷却室的壁的腔室对冷却室的壁进行降温。工作过程中，即使出现冷却室的壁的腔室有裂痕或小孔的出现，冷却气体经裂痕或小孔排出时也会产生一定程度的噪音，对工作人员进行警示，且冷却气体排出冷却室外或者排出冷却室内也不会造成环境的污染及安全隐患。

在本实用新型的一个优选实施例中，上述气盒内的冷却水管为导热管道，包括金属导热管道或非金属导热管道，导热管道具有很好的导热系数，能够使导热管道内的冷却液与气盒内的冷却气体进行热交换，对冷却气体进行降温。金属导热管道可以选择铜管、锂/钠/钾/铍/钙/镁/铝等的合金管。非金属导热管道可以选择氧化物a12o3、mgo、zno、nio；氮化物aln、si3n4、bn；sic陶瓷等具有高导热性的材料制成。

同时，为了提高冷却气体的冷却效率，导热管道可以在气盒内以s型、螺旋形、多条管道并列排列等各种形式布置。同时，为了确保导热管道的稳定性，可以将导热管道用固定件固定在气盒的内壁上。

在本实用新型的一个优选实施例中，冷却气循环结构包括冷却风机及驱动组件，驱动组件用于驱动冷却风机工作。冷却风机的出气端设有进气管道，进气管道与气盒连通；冷却风机的进气端设有出气管道，出气管道与冷却室连通。

冷却气循环结构使冷却气体在气盒与冷却室之间闭环循环的原理是：驱动组件(可以用皮带、皮带轮、磁体流将电机与冷却风机连接起来，经皮带、皮带轮、磁体流将电机的动力传递给冷却风机)驱动冷却风机工作，冷却风机将冷却室内的冷却气体经出气管道吸出，经进气管道排入气盒内在气盒内与冷却水管内的冷却液进行热交换，冷却后的冷却气体经出气部排出对冷却室、运输载板、运输载板上的工件降温，然后再经出气管道排出，冷却气体经冷却风机、进气管道、出气管道在气盒与冷却室之间闭环循环。冷却气循环结构的设置，减少了冷却气体的消耗，降低了工件的冷却成本。

本实用新型的冷却装置的应用范围广，能够应用在需要对工件进行快速、均匀、高效的降温的设备中。本实用新型还提供了一种冷却设备，用于在太阳能电池的生产过程中对运输载板及位于运输载板上的电池片进行降温。冷却设备包括上述的冷却装置，其中，冷却装置的气盒设置于真空腔室内部，冷却装置的冷却气循环结构设置在真空腔室外部。在实际使用过程中，电池片从生产腔室中输出后具有200℃左右的高温，冷却装置的应用能够使载板在进入真空腔室后，能够均匀的对运输载板及电池片进行降温，且在20－30s内降低至100℃以下，同时在电池片在输出真空腔室后确保其温度控制在120℃以下，在冷却过程中能够避免出现电池片开裂及运输载板变形的问题，确保电池片的合格率及生产效率。

具体的，气盒设置在真空腔室内运输载板的正上方，冷却气循环结构设置在真空腔室的外部，冷却气体经冷却气循环结构在真空腔室及气盒内闭环循环，对运输载板及运输载板上的电池片进行降温。冷却装置可以对150℃左右的电池片及运输载板进行降温的过程是：冷却水管内的冷却液与气盒内的冷却气体进行热交换，一部分冷却后的冷却气体经第一出气部排出至真空腔室内对运输载板及电池片降温；另一部分冷却后的冷却气体经第二出气部输入真空腔室的壁腔内，对真空腔室的壁进行降温；冷却气循环结构将真空腔室及真空腔室的壁腔内的冷却气体吸出，并输送回气盒内经冷却水管内的冷却液降温。冷却气体经冷却气循环结构在气盒与真空腔室及真空腔室的壁腔内循环对运输载板、电池片、真空腔室的壁降温。

冷却装置应用后，冷却气体能够均匀且高效的对运输载板及运输载板上的电池片进行降温，保证了运输载板及电池片降温的温度均匀性，同时，电池片从真空腔室输出时温度确保低于120℃，且运输载板在进入真空腔室开始后能够在20－30s内迅速降低至100℃以下，避免电池片开裂及运输载板变形问题的产生，确保了电池片的质量及太阳能电池的生产效率。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型的冷却装置的气盒设置在冷却室内，冷却气体能够以更短的路径直接对冷却室内运输载板、运输载板上的工件进行降温，相比设置在冷却室外具有更好的冷却效果，能够在工艺控制要求的时间范围内达到降温的要求，避免运输载板被破坏从而保证生产的效率，也能够确保工件的质量。

2.使冷却气体经多个第一出气部排出至冷却室内时，投射到运输载板上的气体辐射面积大于等于运输载板的面积，能够使运输载板及运输载板上的工件全部与冷却气体接触；且均匀设置的第一出气部排出的冷却气体能够均匀的与工件及运输载板接触，确保同一位置的工件及运输载板冷却效果的均一性，避免工件开裂及运输载板变形影响工件的质量及运输载板的承载效果。

3.冷却气体能够在冷却气循环结构、气盒、冷却室三者之间形成闭环结构，减少了冷却气体的消耗，并可保证足够的冷却能力。

4.将冷却气循环结构设置在冷却室的外部，可更加方便的进行操作，同时将冷却气循环结构设置在冷却室的外部，能够避免冷却室内高温对冷却气循环结构的影响，也能够避免冷却气循环结构对冷却室内运输载板正常工作的影响。

5.将本实用新型的冷却装置应用在太阳能电池的生产过程中电池片的降温，能够保证运输载板及电池片降温的温度均匀性，同时，电池片从真空腔室输出时温度能够确保低于120℃，且运输载板在进入真空腔室开始后能在20－30s内迅速降低至100℃以下，避免电池片开裂及运输载板变形问题的产生，确保了电池片的质量及太阳能电池的生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中冷却装置的正视图；

图2为本实用新型实施例中冷却装置的侧视图；

图3为本实用新型实施例中冷却装置的俯视图；

图4为本实用新型实施例中冷却装置的气盒的示意图；

其中，1.冷却室；2.气盒；3.冷却水管；4.运输载板；5.工件；6.冷却气循环结构；7.出气孔；8.固定件；9.冷却风机；10.驱动组件；11.进气管道；12.出气管道；10－1.皮带；10－2.皮带轮；10－3.电机。

具体实施方式

下面结合具体实施例来进一步描述本实用新型，本实用新型的优点和特点将会随着描述而更为清楚。但这些实施例仅是范例性的，并不对本实用新型的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本实用新型的精神和范围下可以对本实用新型技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本实用新型的保护范围内。

在本实施例的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

实施例1：

本具体实施方式提供了一种冷却装置，在本实施方式中，冷却装置包括位于冷却室1内的冷却结构。

其中，如图1所示，冷却结构包括气盒2，气盒2内设有冷却水管3，且气盒2上设有出气部，冷却水管3内冷却液用于对气盒2内的冷却气体降温，并将冷却后的冷却气体经出气部排出至冷却室1，对位于冷却室内的运输载板4及运输载板4上的工件5进行降温。

具体的，如图1所示，气盒2位于运输载板4的正上方，且气盒5的底壁与运输载板4相平行。本实施方式中将气盒2设置在运输载板4的正上方，能够使得从出气部排出的冷却气体很好的与高温的工件5接触，确保工件5的降温效果。同时，使气盒3的底壁与运输载板4相平行，能够确保经出气部排出的冷却气体与运输载板4及运输载板4上的工件5距离相同，确保同一位置的运输载板4及运输载板4上的工件5的具有相同的冷却效果。

进一步的，气盒2可以为上端开口的结构，气盒2的上端四周边缘与冷却室1紧密接触，避免冷却气体从气盒2与冷却室1的接触处漏出。气盒2也可以为中空的方形结构，经连接件将气盒2固定设置在冷却室1内。

进一步的，在本实施方式的出气部的一种结构中，如图4所示，出气部包括多个第一出气部，多个第一出气部均匀地设置在气盒2的底部。冷却气体经多个第一出气部排出至冷却室1内，投射到运输载板4上的气体辐射面积大于等于运输载板4的面积。当冷却气体的气体辐射面积大于运输载板4的面积时，运输载板4及运输载板4上的工件5能够全部与冷却气体接触，均匀设置的第一出气部排出的冷却气体能够均匀的与工件5及运输载板4接触，确保同一位置的工件5及运输载板4冷却效果的均一性，避免工件5开裂及运输载板4变形影响工件5的质量及运输载板4的承载效果。

更进一步的，在第一出气部的一种结构中，如图4所示，第一出气部包括开设在气盒2的底壁上的出气孔7。冷却气体经出气孔7排出时与气盒2的底壁相垂直，且垂直投射(喷射)对运输载板4、运输载板4上的工件5、冷却室1的底壁降温。

更进一步的，在第一出气部的另一种结构中，第一出气部包括开设在气盒2的底壁上的出气孔7，出气孔7上还设有出气管头(附图未画出)，且出气管头与气盒2的底壁之间具有角度。在出气孔7上设置出气管头，出气管口可以与气盒2的底壁之间具有任意角度(出气管头与气盒2的底壁之间的角度优选为5～90°)，在冷却气体经出气孔7及出气管头排出时，一方面，冷却气体可以垂直的投射(喷射)对运输载板4、运输载板4上的工件5、冷却室1的底壁进行降温，另一方面冷却气体可以以倾斜的角度投射(喷射)到冷却室1内部的侧壁上，对冷却室1的侧壁进行降温。

具体的，上述气盒2内的冷却水管3为导热管道。

进一步的，导热管道包括金属导热管道或非金属导热管道，导热管道具有很好的导热系数，能够使导热管道内的冷却液与气盒2内的冷却气体进行热交换，对冷却气体进行降温。金属导热管道可以选择铜管、锂/钠/钾/铍/钙/镁/铝等的合金管。非金属导热管道可以选择氧化物a12o3、mgo、zno、nio；氮化物aln、si3n4、bn；sic陶瓷等具有高导热性的材料制成。

更进一步的为了提高冷却气体的冷却效率，导热管道可以在气盒内以s型、螺旋形、多条管道并列排列等各种形式布置。同时，为了确保导热管道的稳定性，可以将导热管道用固定件8固定在气盒2的内壁上。

其中，冷却装置还包括位于冷却室1外部的冷却气循环结构6，冷却气循环结构6的一端与气盒2连通，冷却气循环结构6的另一端与冷却室1连通。

具体的，如图1、图2、图3所示，冷却气循环结构6包括冷却风机9及驱动组件10，驱动组件用于驱动冷却风机9工作。冷却风机9的出气端设有进气管道11，进气管道11与气盒2连通；冷却风机9的进气端设有出气管道12，出气管道12与冷却室1连通。冷却气循环结构6、气盒2、冷却室1三者形成冷却气体的闭环循环结构。

冷却气循环结构使冷却气体在气盒2与冷却室1之间闭环循环的原理是：驱动组件10(如图1、图2所示，驱动组件10是用皮带10－1、皮带轮10－2、磁体流将电机10－3与冷却风机连接起来，经皮带10－1、皮带轮10－2、磁体流将电机的动力传递给冷却风机9)驱动冷却风机9工作，冷却风机9将冷却室1内的冷却气体经出气管道12吸出，在经进气管道11排入气盒2内在气盒2内与冷却水管3内的冷却液进行热交换，冷却后的冷却气体经出气部排出对冷却室1、运输载板4、运输载板4上的工件5降温，然后再经出气管道12排出，冷却气体经冷却风机9、进气管道11、出气管道12在气盒2与冷却室之间闭环循环。冷却气循环结构6的设置，减少了冷却气体的消耗，降低了工件5的冷却成本。

本具体实施方式的冷却装置的工作原理是：首先，冷却气体与气盒2内的冷却水管3内的冷却液热交换进行降温；其次，冷却后的冷却气体在冷却气循环结构6的作用下经出气部排出至冷却室1；然后，冷却气体对冷却室1、冷却室1内的高温高热的运输载板4及运输载板4上的工件5降温；最后，进行热交换的冷却气体在冷却气循环结构6的作用下从冷却室1排出并输送至气盒2内与冷却水管3内的冷却液再次进行热交换，冷却气体经冷却气循环结构6在在气盒2与冷却室1之间不断的循环，对冷却室1的壁、运输载板4、运输载板4上的工件5降温。

冷却装置的气盒2设置在冷却室1内，冷却气体能够以更短的路径直接对冷却室1壁、运输载板4、运输载板4上的工件5进行降温，相比设置在冷却室1外具有更好的冷却效果，能够在工艺控制要求的时间范围内达到降温的要求，避免运输载板4被破坏从而保证生产的效率，也能够确保工件2的质量；同时，冷却气体在冷却气循环结构6、气盒2、冷却室1三者之间形成闭环结构，减少了冷却气体的消耗，并可保证足够的冷却能力。

实施例2：

本具体实施方式，是在实施例1的基础上进行改进的，一般来说，当冷却室1(如真空腔室)的壁(上壁、四周侧壁、底壁)为带有夹层的腔室时，真空腔室内运输载板4及电池片也会使得真空腔室内的温度升高，为了尽快对真空腔室内进行降温，现有的方法是在真空腔室的壁上开设孔，将冷却水通入腔室内进行降温，此时需要额外增加冷却装置，增加了设备的制造成本及维护成本，且当冷却水通入带有夹层的腔室时，当真空腔室的壁出现漏液等情况也会影响环境卫生及产生安全隐患。

因此，本具体实施方式对上述实施例1中的出气部进行了改进，具体的，出气部还包括第二出气部(附图未画出)，第二出气部及冷却气循环结构6均与真空腔室的壁的腔室连通，冷却气体经冷却气循环结构6及第二出气部在真空腔室的腔室与气盒2之间循环，对真空腔室的腔室降温。第二出气部的设置，避免了额外的冷却装置的设置降低了设备的成本，并且在实际工作过程中，冷却气体经第一出气部(即出气孔)排出对冷却室内的运输载板4及电池片降温的过程中，冷却气体同时能够经第二出气部进入真空腔室的壁的腔室对真空腔室的壁进行降温。工作过程中，即使出现真空腔室的壁的腔室有裂痕或小孔的出现，冷却气体经裂痕或小孔排出时也会产生一定程度的噪音，对工作人员进行警示，且冷却气体排出真空腔室外或者排出真空腔室内也不会造成环境的污染及安全隐患。

其中，在本实施方式中，气盒2内的冷却水管3选用铜管，铜管呈s型结构分布在气盒2内的底壁上，且铜管经压块(即固定件8)固定。且铜管内的通入的冷却液为冷却水，冷却水与冷却气体热交换后，再排出经冷却器对冷却水进行降温，确保与冷却气体热交换的冷却水处于低温状态(例如4～10℃)。

其中，在本实施方式中，气盒2选用上部开口的结构，气盒2的上端四周边缘与真空腔室的内壁紧密接触。

其中，在本实施方式中，气盒2上的多个第一出气部为出气孔7，冷却气体经出气孔7排出时，以较短距离及垂直角度与运输载板4及运输载板4上的工件5均匀的进行接触，能够确保运输载板4及运输载板4上的工件5的降温速度及降温效果。

实施例3：

实施例1及实施例2的冷却装置的应用范围广，能够应用在需要对工件进行快速、均匀、高效的降温的设备中。本实施例提供了一种冷却设备，冷却设备用于在太阳能电池的生产过程中对运输载板4及位于运输载板4上的电池片进行降温。冷却设备包括实施例2的冷却装置，冷却装置的气盒2设置于真空腔室(即冷却室1)内部，冷却装置的冷却气循环结构6设置在真空腔室外部。

在太阳能电池生产过程中，电池片(即工件)从生产腔室中输出后具有200℃左右的高温，其需要通过运输载板4(运输载板4安装设置在滚轮上，滚轮安装在传输轴上，经滚轮及传输轴共同作用使运输载板4进出真空腔室(即冷却室1)将运输载板4上的电池片输出至真空腔室外)，运输载板4及运输载板4上的电池片需要在真空腔室内进行降温，使电池片输出时温度确保在120℃以下，同时为了确保工艺控制中运输载板4在进入真空腔室后在20－30s内降低至100℃以下，避免高温环境下运输载板4因降温效果不佳而被破坏。

如图1至图4所示，在太阳能电池的生产过程中，上述的冷却装置对在真空腔室内大于等于200℃的电池片及运输载板4进行降温。其中，气盒2设置在真空腔室内运输载板4的正上方，冷却气循环结构6设置在真空腔室的外部，冷却气体经冷却气循环结构6在真空腔室及气盒2内闭环循环，对运输载板4及运输载板4上的电池片降温。

其中，在本实施方式中，冷却气体可以选用氮气对冷却腔室、运输载板4、电池片进行降温。

在太阳能电池生产设备中，冷却装置对大于等于200℃的电池片及运输载板4进行降温的过程是：冷却水管3内的冷却水与气盒2内的冷却氮气进行热交换，一部分冷却后的冷却氮气经出气孔7排出至真空腔室内对运输载板4及电池片降温；另一部分冷却后的冷却氮气经第二出气部输入真空腔室的壁腔内，对真空腔室的壁进行降温。冷却气循环结构6将真空腔室及真空腔室的壁腔内的冷却氮气吸出，并输送回气盒2内经冷却水管内的冷却水降温。冷却氮气经冷却气循环结构6在气盒2与真空腔室及真空腔室的壁腔内循环对运输载板4、电池片、真空腔室的壁降温。

冷却装置应用后，冷却氮气能够均匀且高效的对运输载板4及运输载板4上的电池片进行降温，保证了运输载板4及电池片降温的温度均匀性，同时，电池片从真空腔室输出时温度确保低于120℃，且运输载板4在进入真空腔室开始后能够在20－30s内迅速降低至100℃以下，避免电池片开裂及运输载板4变形问题的产生，确保了电池片的质量及太阳能电池的生产效率。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。