一种硅材料生产冷却机构的制作方法

本技术涉及半导体硅材料生产，具体为一种硅材料生产冷却机构。

背景技术：

1、半导体材料的种类有很多，通过不同的性质以及不同的形态来进行分组，而硅就是其中一种，由于硅的材料性质优良，一些种类的硅形态可以直接作为半导体器件，而半导体硅材料进行生产加工时，需要进行冷却处理作业。

2、晶圆半导体生产的过程中常常需要对高温加热后的晶圆进行退火冷却，但是现在的冷却装置一般是通过水冷方式进行操作，在对半导体进行冷却时需要使半导体与冷水接触将半导体本体的热量传导到水中，从而降低本身的热量，现有的硅材料在进行冷却时晶圆片易发生漂浮在冷却水表面的情况，导致晶圆片冷却效果不佳，散热效果差影响后续加工，故而提出一种硅材料生产冷却机构来解决上述问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅材料生产冷却机构，具备冷却效果好，尽量避免晶圆片在进行散热时漂浮在冷却水表面优点，解决了半导体硅材料在生产加工时，冷却效果不佳，放入冷却水中时易漂浮在水面上，而影响散热效果的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅材料生产冷却机构，包括冷却壳体，所述冷却壳体的底部固定连接有数量为两个的支撑板，所述冷却壳体的左右两侧内壁均固定连接有导向槽板，两个所述导向槽板的内部滑动连接有同一个承载板，所述承载板的顶部固定连接有冷却箱，所述冷却箱的内部铰接有盖板，所述冷却箱的右侧内壁固定连接有固定块，所述盖板的底部固定连接有卡接柱，所述冷却壳体的左右两侧均固定连接有液压缸，两个所述液压缸的活动端固定连接有同一个顶板，所述顶板的底部与冷却箱的顶部固定连接，所述冷却壳体的右侧固定连接有电机，所述电机输出轴的一端固定连接有传动轴，所述传动轴的外表面固定连接有若干个搅拌扇叶，所述冷却壳体的底部固定连接有过滤箱，所述过滤箱的内部固定连接有数量为两个安装块，两个所述安装块的顶部可拆卸连接有同一个过滤网板。

3、进一步，两个所述支撑板的形状均为长方形板，两个导向槽板的内部均开设有导向槽，所述承载板的左右两侧均通过导向槽与两个导向槽板滑动连接，所述承载板的内部开设有透水网孔。

4、进一步，所述盖板的底部固定连接有橡胶垫，所述盖板的顶部固定连接有把手，所述固定块的内部开设有卡接柱槽，所述卡接柱通过卡接柱槽位于固定块的内部。

5、进一步，所述顶板的底部固定连接有数量为两个的连接杆，所述顶板通过两个连接杆与冷却箱的顶部固定连接。

6、进一步，所述冷却壳体的右侧固定连接有安装壳，所述电机通过安装壳与冷却壳体的右侧外表面固定连接。

7、进一步，所述冷却壳体的底部固定连接有排水管，所述排水管的外表面固定连接有电磁阀，两个所述安装块的内部均开设有定位槽，所述过滤网板通过定位槽位于两个安装块的顶部。

8、与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

9、1、该硅材料生产冷却机构，当晶圆片在生产后需要进行冷却时，将其放置到冷却箱的内部后，盖上盖板与固定块进行卡接，启动两个液压缸带动顶板向下移动，将冷却箱连同承载板一起浸入到冷却壳体的内部与冷却水接触，再启动电机带动传动轴在冷却壳体的内部旋转搅拌，使得冷却水充分搅动提高晶圆片冷却的效率；当冷却水在使用一段时间后，可达到排水管将冷却水传送到过滤网板的顶部进行过滤，过滤后的杂质留在过滤网板的顶部，而干净的冷却水则抽吸走再循环利用即可。

10、2、该硅材料生产冷却机构，通过在盖板的底部设置橡胶垫，使得晶圆片在放置到冷却箱的内部进行冷却时，橡胶垫可以起到缓冲的作用，尽量避免晶圆片与冷却箱发生磕碰的而造成损坏的情况。通过在传动轴的外表面设置若干个搅拌扇叶，使得晶圆片在冷却时可以不断对冷却水进行搅动，提高本装置冷却的效率。

技术特征：

1.一种硅材料生产冷却机构，包括冷却壳体(2)，其特征在于：所述冷却壳体(2)的底部固定连接有数量为两个的支撑板(1)，所述冷却壳体(2)的左右两侧内壁均固定连接有导向槽板(3)，两个所述导向槽板(3)的内部滑动连接有同一个承载板(4)，所述承载板(4)的顶部固定连接有冷却箱(5)，所述冷却箱(5)的内部铰接有盖板(6)，所述冷却箱(5)的右侧内壁固定连接有固定块(7)，所述盖板(6)的底部固定连接有卡接柱(8)，所述冷却壳体(2)的左右两侧均固定连接有液压缸(9)，两个所述液压缸(9)的活动端固定连接有同一个顶板(10)，所述顶板(10)的底部与冷却箱(5)的顶部固定连接，所述冷却壳体(2)的右侧固定连接有电机(11)，所述电机(11)输出轴的一端固定连接有传动轴(12)，所述传动轴(12)的外表面固定连接有若干个搅拌扇叶(13)，所述冷却壳体(2)的底部固定连接有过滤箱(14)，所述过滤箱(14)的内部固定连接有数量为两个安装块(15)，两个所述安装块(15)的顶部可拆卸连接有同一个过滤网板(16)。

2.根据权利要求1所述的一种硅材料生产冷却机构，其特征在于：两个所述支撑板(1)的形状均为长方形板，两个导向槽板(3)的内部均开设有导向槽，所述承载板(4)的左右两侧均通过导向槽与两个导向槽板(3)滑动连接，所述承载板(4)的内部开设有透水网孔。

3.根据权利要求1所述的一种硅材料生产冷却机构，其特征在于：所述盖板(6)的底部固定连接有橡胶垫，所述盖板(6)的顶部固定连接有把手，所述固定块(7)的内部开设有卡接柱槽，所述卡接柱(8)通过卡接柱槽位于固定块(7)的内部。

4.根据权利要求1所述的一种硅材料生产冷却机构，其特征在于：所述顶板(10)的底部固定连接有数量为两个的连接杆，所述顶板(10)通过两个连接杆与冷却箱(5)的顶部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅材料生产冷却机构，其特征在于：所述冷却壳体(2)的右侧固定连接有安装壳，所述电机(11)通过安装壳与冷却壳体(2)的右侧外表面固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅材料生产冷却机构，其特征在于：所述冷却壳体(2)的底部固定连接有排水管，所述排水管的外表面固定连接有电磁阀，两个所述安装块(15)的内部均开设有定位槽，所述过滤网板(16)通过定位槽位于两个安装块(15)的顶部。

技术总结
本技术涉及一种硅材料生产冷却机构，包括冷却壳体，所述冷却壳体的底部固定连接有数量为两个的支撑板，所述冷却壳体的左右两侧内壁均固定连接有导向槽板。该硅材料生产冷却机构，当晶圆片在生产后需要进行冷却时，将其放置到冷却箱的内部后，盖上盖板与固定块进行卡接，启动两个液压缸带动顶板向下移动，将冷却箱连同承载板一起浸入到冷却壳体的内部与冷却水接触，再启动电机带动传动轴在冷却壳体的内部旋转搅拌，使得冷却水充分搅动提高晶圆片冷却的效率；当冷却水在使用一段时间后，可达到排水管将冷却水传送到过滤网板的顶部进行过滤，过滤后的杂质留在过滤网板的顶部，而干净的冷却水则抽吸走再循环利用即可。

技术研发人员：牟景林,周廉,田贝贝
受保护的技术使用者：江苏顺璋硅材料研究院有限公司
技术研发日：20230613
技术公布日：2024/1/15