安装头清洗装置的制作方法

技术领域

本发明涉及对具备回转头的安装头内的空气通路进行清洗且在清洗后能够检查安装头的性能的安装头清洗装置。

背景技术：

在具备回转型的安装头的元件安装机中，在圆周上以能够升降的方式保持有多个吸嘴的回转头设置成能够转位。在具备这种安装头的元件安装机中，为了吸附电子元件，向与多个吸嘴分别相连的空气通路依次导入负压空气，但是在由吸嘴吸附电子元件时，在空气通路中抽吸灰尘等，因此需要定期地对安装头内进行保养(清洗)。

以往，作为保养装置，已知有例如专利文献1记载的保养装置。专利文献1记载的保养装置在保养时从安装头的头保持装置12将旋转头11拆下，将该旋转头11安设在保养装置的底座33上。并且，在安设的旋转头11的上表面安装保养适配器40，将旋转头11内部的空气通路与保养液供给装置41连接，通过手动操作，对与设置在旋转头11的圆周上的多个吸嘴相连的空气通路进行清洗。

专利文献1：日本特开2011-3679号公报

技术实现要素：

然而，在专利文献1记载的保养装置中，通过手动操作，对与设置在旋转头11的圆周上的多个吸嘴相连的空气通路进行清洗，而且，在保养时，从元件安装机的安装头将旋转头11分解而拆下，并安设在保养装置的底座33上，因此存在保养作业复杂、保养需要较多时间的问题。

而且，在专利文献1记载的保养装置中，对旋转头11内的空气通路仅进行清洗，不具有在清洗后检查旋转头的功能，因此存在无法验证是否良好地进行了空气通路的清洗的问题。

本发明为了解决上述的问题而作出，目的在于提供一种能够将具备回转头的安装头自身安设于清洗单元并且不仅能够进行安装头内的空气通路的清洗而且在清洗后能够检查安装头的性能的安装头清洗装置。

为了解决上述的课题，第一方案的发明的特征在于，安装头清洗装置具备安装头，并向该安装头内的负压空气通路供给空气或油雾而对上述安装头内进行清洗，上述安装头具有吸附元件的吸嘴，上述安装头清洗装置在对从元件安装机拆下的上述安装头进行安装的部位设有与上述元件安装机通用的头夹紧装置。

根据上述的结构，能够通过与元件安装机通用的头夹紧装置来安装从元件安装机拆下的安装头，因此能够简单且有效地进行安装头内的清洗。

第二方案的发明的特征在于，安装头清洗装置具备安装头，并向该安装头内的负压空气通路供给空气或油雾而对安装头内进行清洗，上述安装头具有吸附元件的吸嘴，上述安装头清洗装置具有以能够装卸的方式安装上述安装头的清洗单元，该清洗单元具备：切换单元，将由空气供给源供给的空气选择性地向清洗用通路或检查用通路供给；导入单元，从由该切换单元选择的清洗用通路或检查用通路，向与多个上述吸嘴分别连接的上述安装头内的各负压空气通路导入空气；及空气测定单元，设置在上述检查用通路中。

根据上述的结构，由于将安装头自身安装于清洗单元而对安装头内的负压空气通路进行清洗，因此通过从元件安装机拆下安装头而安装于清洗单元，能够对安装头内自动地进行清洗，能够简单且短时间地进行清洗作业。

另外，根据上述的结构，能够利用由清洗单元的清洗用通路向安装头内的负压空气通路导入的空气对负压空气通路进行清洗，因此能够将在元件吸附时等由吸嘴吸入到负压空气通路内的灰尘等排除。而且，在清洗后，对切换单元进行切换而从清洗单元的检查用通路向安装头内导入空气，由此能够由空气测定单元测定检查用通路的空气流动。

第三方案的发明的特征在于，以第二方案为基础，上述安装头清洗装置具备基于由上述空气测定单元所测定的信息来显示清洗结果的操作面板。

根据上述的结构，能够将由设置在检查用通路中的空气测定单元所测定的信息显示于操作面板。

第四方案的发明的特征在于，以第二或第三方案为基础，上述空气测定单元由测定在上述检查用通路中流通的空气流量的流量测定传感器构成。

根据上述的结构，能够将由设置在检查用通路中的流量测定传感器所测定的流量的信息显示于操作面板，能够在操作面板上显示清洗结果及基于该清洗结果而判定的是否合格等。

第五方案的发明的特征在于，以第二至第四方案中任一方案为基础，清洗用通路由供给空气的清洗空气通路和供给油雾的清洗油通路构成，对上述清洗空气通路及清洗油通路进行切换而向上述负压空气通路供给空气或油雾。

根据上述的结构，能够通过空气或油选择性地进行负压空气通路的清洗，例如，每隔一定时期即利用空气进行清洗，每利用清洗数次即利用油进行清洗，由此能够有效地进行安装头的清洗。

第六方案的发明的特征在于，以第二至第五方案中任一方案为基础，上述清洗单元具有对从上述安装头的上述吸嘴排出的污垢的空气或油进行抽吸的污垢抽吸风机。

根据上述的结构，通过污垢抽吸风机，能够避免因负压空气通路的清洗而从吸嘴排出的污垢的空气或油向周围飞散。

第七方案的发明的特征在于，以第三至第六方案中任一方案为基础，当上述清洗单元上安装有上述安装头时，在上述操作面板上显示对上述安装头进行清洗的清洗模式和对上述安装头进行检查的检查模式的选择画面，通过选择上述清洗模式或上述检查模式来实施清洗循环或检查循环。

根据上述的结构，在安装头向清洗单元安装后，按照显示于操作面板的选择画面进行操作，由此能够选择清洗模式或检查模式，能够容易地实施清洗循环或检查循环。

第八方案的发明的特征在于，以第七方案为基础，在实施上述检查循环时，盖上盖子以避免从上述吸嘴排出空气。

根据上述的结构，在检查循环时，能够由盖子阻止空气从吸嘴的排出，因此能够检查空气从保持吸嘴的吸嘴轴的滑动部的泄漏等。

第九方案的发明的特征在于，以第八方案为基础，在上述检查用通路连接有测定上述检查用通路内的空气压力的压力传感器，在实施上述检查循环时，将所测定的空气压力及基于该空气压力而判定的是否合格的判定结果显示在上述操作面板上。

根据上述的结构，能够通过压力传感器对空气压力的测定来进行空气从保持吸嘴的吸嘴轴的滑动部的泄漏等的检查，并能够将其结果显示于操作面板。

第十方案的发明的特征在于，以第八方案为基础，上述安装头以能够转位的方式设有回转头，上述回转头在圆周上保持有吸附元件的多个吸嘴，在向上述负压空气通路供给了空气的状态下，使上述回转头依次进行转位，并且在各转位位置处使上述各吸嘴升降，测定这些吸嘴的升降移动时间，将所测定的升降移动时间及基于该升降移动时间而判定的是否合格的判定结果显示在上述操作面板上。

根据上述的结构，不仅能够进行空气从吸嘴轴、机械切换阀等的滑动部的泄漏等的检查，而且通过吸嘴的升降移动时间的测定，能够测定保持有吸嘴的吸嘴轴的滑动阻力，能够检查灰尘或金属粉向滑动部的啮入等异常状态，其中，该吸嘴轴对在回转头内滑动的吸嘴进行保持，该机械切换阀进行负压空气向负压空气通路的供给及切断的切换。

附图说明

图1是表示适用了本发明的安装头清洗装置的元件安装机的整体的立体图。

图2是表示本发明的实施方式的回转型的安装头的图。

图3是表示将安装头夹紧于X轴滑动件或清洗单元的头夹紧装置的图。

图4是表示将安装头安装于X轴滑动件或清洗单元的状态的剖视图。

图5是表示对负压空气通路进行开闭的机械切换阀的图。

图6是表示对安装头内进行清洗的清洗单元的图。

图7是表示设于清洗单元的流体供给电路的图。

图8是表示对清洗单元进行控制的控制装置的框图。

图9是表示利用空气进行的清洗循环的流程图。

图10是表示利用油进行的清洗循环的流程图。

图11是表示清洗后的检查循环的流程图。

具体实施方式

以下，基于附图，说明本发明的实施方式。如图1所示，元件安装机10具备元件供给装置20、基板搬运装置30及元件移载装置40。

元件供给装置20作为一例，在基台11上将多个盒式供料器21沿X轴方向并列设置而构成。供料器21具有供给带盘23，该供给带盘23能够装卸地安装于主体框架22，且卷绕有将多个电子元件具有间隔地收容成一列的带件，该主体框架22能够脱离地安装于基台11。虽然未图示，但是在供料器21的内部内置有作为对带件进行间距传送的驱动源的电动机，通过该电动机将带件一个间距一个间距地送出，将收容于带件的电子元件向在供料器21的前端部设置的元件供给位置依次供给。

基板搬运装置30将电路基板B沿着X轴方向搬运，并定位保持在预定位置，作为一例，由将搬运单元31、32并列设置两列的双输送机类型的结构构成。各搬运单元31、32在基台11上分别使一对导轨33、34相互平行地相向而分别水平地并列设置。在搬运单元31、32并列设置有对由导轨33、34引导的电路基板B进行支撑并搬运的一对输送带(未图示)。

元件移载装置40由XY机器人构成，XY机器人装架于基台11上而配设在元件供给装置20及基板搬运装置30的上方，具有能够沿着导轨41在与X轴方向正交的Y轴方向上移动的Y轴滑动件43。Y轴滑动件43的Y轴方向移动经由滚珠丝杠而由伺服电动机44控制。X轴滑动件45由Y轴滑动件43引导支撑为能够在X轴方向上移动，X轴滑动件45的X轴方向移动经由滚珠丝杠而由伺服电动机46控制。

在X轴滑动件45上，如后文详细叙述那样，以能够装卸的方式安装具有吸附电子元件的吸嘴的安装头47。而且，在X轴滑动件45安装有拍摄电路基板B的基准标记(未图示)的基板相机48。

如图2所示，安装头47具有能够装卸地安装于X轴滑动件45的头主体50。通过R轴电动机51每次转位预定角度的转位轴52能够旋转地支撑于头主体50，在该转位轴52的下端固定有回转头53。

在回转头53的圆周上，多个(例如，12个)吸嘴轴54被保持为在与回转头53的旋转轴线平行的方向上能够升降且能够旋转。吸嘴轴54借助图示省略的弹簧的弹力而通常保持在上升端位置。在吸嘴轴54的各前端分别以能够装卸的方式安装有吸附电子元件的吸嘴55。

由此，当R轴电动机51被驱动时，经由转位轴52使保持有多个吸嘴55的吸嘴轴54绕着铅垂轴线(R轴方向)转动，使多个吸嘴55依次转位到预定的角度位置(元件吸附位置)。

形成有从动齿轮56和θ轴齿轮57的旋转体58被以仅能够旋转的方式支撑在转位轴52上。在头主体50固定有θ轴电动机59，在通过θ轴电动机59而旋转的驱动齿轮60上啮合有从动齿轮56。θ轴齿轮57沿着旋转体58的轴向形成预定长度，在各吸嘴轴54的上端固定的吸嘴齿轮61分别能够相对滑动地啮合于该θ轴齿轮57。

由此，当θ轴电动机59被驱动时，经由驱动齿轮60、从动齿轮56、θ轴齿轮57及吸嘴齿轮61，使全部吸嘴轴54相对于回转头53旋转(自转)。

而且，在头主体50上，吸嘴动作部件62由引导杆63引导成能够在上下方向上滑动。吸嘴动作部件62通过滚珠丝杠机构65而升降，该滚珠丝杠机构65利用固定于头主体50的Z轴电动机64而动作。吸嘴动作部件62具有按压部66，该按压部66与转位到元件吸附位置的吸嘴轴54的上端抵接，并将吸嘴轴54向Z轴方向的下方按压。

由此，当Z轴电动机64被驱动时，通过滚珠丝杠机构65使吸嘴动作部件62在上下方向上移动，通过按压部66使转位到元件吸附位置的吸嘴轴54在Z轴方向上升降。

在基台11上固定有从下方对由吸嘴55吸附的电子元件进行拍摄的元件相机68(参照图1)。元件相机68在从元件供给装置20的元件供给位置向电路基板B上的预定位置移动的中途对由吸嘴55吸附的电子元件进行拍摄，检测电子元件相对于吸嘴55的中心的偏心及角度偏差等，基于该偏心等，对安装头47的XY方向的移动量进行校正，并使吸嘴55旋转而进行角度校正，能够将电子元件准确地安装在电路基板B上的所规定的坐标位置。

上述的结构的安装头47根据电路基板B等的种类而准备多个种类。这些安装头47能够装卸地安装于X轴滑动件45，在安装头47的清洗时或检查时，从X轴滑动件45拆下，向后述的清洗单元90(参照图6)安装。

接着，基于图3及图4，说明将安装头47夹紧于X轴滑动件45的头夹紧装置70的结构。

在图3中，安装头47能够装卸地安装于X轴滑动件45的正面部。即，在X轴滑动件45的正面部安装的安装头47的背面部的上部设有卡合块71，卡合辊72以能够绕着与X轴方向平行的轴线旋转的方式轴支承于该卡合块71。而且，在安装头47的背面部的下部的在X轴方向上分离预定量的位置，截面为V字形的2个腿部73在X轴方向上分离预定量而形成。

另一方面，在X轴滑动件45的正面部的上部形成有收纳卡合块71的收纳孔74，在该收纳孔74内，与卡合块71的两侧卡合的一对上部定位用辊75在X轴方向上分离地设置。而且，在X轴滑动件45的正面部的下部，形成有与2个腿部73卡合的V槽状的2个腿部支撑部76，一对下部定位用辊77在X轴方向上分离地设置在腿部支撑部76的上方。一对下部定位用辊77与安装头47的2个腿部73的内侧端面卡合。

由此，通过2个腿部73与2个腿部支撑部76的卡合，安装头47相对于X轴滑动件45而Z轴方向的移动受到限制。而且，各一对上部定位用辊75及下部定位用辊77与卡合块71的两侧及2个腿部73的内侧端面分别卡合，由此安装头47相对于X轴滑动件45而X轴方向的移动受到限制。在该状态下，安装头47的背面部能够与X轴滑动件45的正面部进行面接触。

在X轴滑动件45的上部，如图4所示，推杆部件80被支撑为能够在上下方向上滑动，并通过销81来限制旋转运动。在推杆部件80的前端(下端)形成有与轴支承于安装头47的卡合辊72卡合的倾斜面80a。推杆部件80的倾斜面80a通过与卡合辊72的卡合，而以使安装头47的背面部与X轴滑动件45的正面部进行压力接触的方式作用。在推杆部件80的上端形成有楔形面80b，按压部件83的楔形面83a楔形卡合于该楔形面80b。按压部件83通过图示省略的操作部件的操作而在轴向上移动，经由两楔形面83a、80b将推杆部件80向下方按压。

另外，在安装头47上设有经由连通路134(参照图5)及空气导入通路133而与在吸嘴轴54的中心部形成的负压空气通路85(参照图5)连通的连接管路132。通过将安装头47安装于X轴滑动件45，该连接管路132与设于X轴滑动件45的供给管路131连接。

如图5所示，吸嘴55通过向在吸嘴轴54的中心部形成的负压空气通路85供给负压空气而吸附电子元件，通过切断负压空气的供给并供给正压而释放电子元件。负压空气向负压空气通路85的供给及切断的切换由分别设置在各吸嘴轴54上的机械切换阀(以下，称为机械阀)87进行。

与吸嘴55的数量相同(N个)的机械阀87能够分别在上下方向上滑动地嵌合于回转头53。机械阀87的各上端从回转头53的上表面突出，在这些突出部形成有卡合部87a。机械阀87的卡合部87a以能够脱离的方式能够与通过步进电动机88升降预定量的动作轴89的卡合部89a卡合，通过回转头53的转位，机械阀87的卡合部87a依次卡合于动作轴89的卡合部89a。

另外，机械阀87通过图示省略的摩擦力保持装置来阻止因重力等而滑动的情况，只要不向机械阀87施加超过摩擦力的大小的力，机械阀87就保持在上升端位置或下降端位置。

与转位到元件吸附位置的吸嘴55对应的机械阀87通过回转头53的旋转(R轴旋转)，从动作轴89使卡合脱离，当回转头53转位预定角度时，与相邻的吸嘴55对应的机械阀87卡合于动作轴89。并且，动作轴89通过步进电动机88而升降，由此在上升端位置与下降端位置之间移动。

机械阀87当从图5所示的位置移动至上升端位置时，机械阀87进行打开动作，供给到安装头47内的空气能够向负压空气通路85导入。反之，通过机械阀87向下降端位置的移动，机械阀87进行关闭动作，供给到安装头47内的空气向负压空气通路85的导入被切断。

图6是表示对安装头47的负压空气通路85进行清洗的清洗单元90的整体的立体图，清洗单元90设置在带有脚轮92的作业台93上，清洗单元90能够与作业台93一起移动到任意的位置。在上述清洗单元90适当安装具备回转头53(参照图2)的安装头47，通过由一定程度透明的树脂等构成的图示省略的能够开闭的罩来覆盖。在清洗单元90安装有操作面板95，在该操作面板95设有显示部(显示器)125、数据输入用的键盘126，在该键盘126设有起动按钮SB等各种操作按钮、使显示于显示部125的光标移动的箭头键128等。

在显示部125显示对安装于清洗单元90的安装头47进行清洗还是进行检查的选择模式等，并且显示清洗后的检查结果等。

在清洗单元90上，在对从元件安装机10拆下的安装头47进行安装的部位设有头夹紧装置96，通过该头夹紧装置96将安装头47定位夹紧于清洗单元90的单元主体91。而且，在清洗单元90设有油回收箱98，该油回收箱98具有对清洗安装头47内之后的空气或油进行抽吸的污垢抽吸风机97。

另外，头夹紧装置96与在元件安装机10的X轴滑动件45上夹紧安装头47的头夹紧装置70(参照图4)通用(结构相同)，图4表示在清洗单元90的单元主体91上安装(定位夹紧)有安装头47的状态。并且，在对安装头47进行清洗时，将安装头47从元件安装机10拆下而运送至清洗单元90，通过头夹紧装置96而安装于清洗单元90的单元主体91。

图7表示设置在清洗单元90侧的流体供给电路100，流体供给电路100具备与空气供给源(压缩机)101连接的空气供给通路102，在空气供给通路102连接有配置了调节阀103的主通路104。

主通路104经由空气/油清洗切换阀115而选择性地与清洗用空气通路116和清洗用油通路117连接。上述清洗用空气通路116和清洗用油通路117在清洗/检查路径切换阀110的近前处相互连接，并与清洗/检查路径切换阀110的输入端口连接。

在清洗用油通路117配设有加油器118(参照图6)，通过空气/油清洗切换阀115的切换，将主通路104与清洗用油通路117连接。当向清洗用油通路117供给空气时，通过加油器118将油形成为雾状，向清洗/检查路径切换阀110的输入端口送入。

另外，作为油，使用例如在氟油中混合有挥发性溶剂的油。反之，通过空气/油清洗切换阀115的切换，当将主通路104与清洗用空气通路116连接时，向清洗/检查路径切换阀110的输入端口送入空气。

另一方面，主通路104经由与空气/油清洗切换阀115并列配置的检查用阀105而与检查用空气通路106连接。在检查用空气通路106中从上游侧配置有流量测定传感器108及过滤器109，通过了过滤器109的空气向清洗/检查路径切换阀110的输入端口送入。而且，在从检查用空气通路106分支的分支通路111连接有对在检查用空气通路106中流动的空气压力进行测定的真空压力测定传感器112。由上述流量测定传感器108及真空压力测定传感器112构成空气测定单元。

并且，通过空气/油清洗切换阀115及检查用阀105的切换，经由检查用空气通路106而供给的检查空气或者经由清洗用空气通路116或清洗用油通路117而选择性地供给的空气或油(油雾)经由清洗/检查路径切换阀110而向设于单元主体91的供给管路130供给。

由上述的检查用阀105及空气/油清洗切换阀115构成将由空气供给源101供给的空气选择性地向清洗用通路116、117或检查用空气通路106供给的切换单元。

此外，在空气供给通路102经由污垢抽吸阀119而连接有污垢抽吸风机97(参照图6)。污垢抽吸阀119在清洗安装头47时被切换，由污垢抽吸风机97抽吸从安装头47的吸嘴55的前端排出的污垢的空气或油，从而防止污垢的空气或油向周围飞散。

通过安装头47向清洗单元90的单元主体91的定位夹紧，将设于单元主体91的供给管路130与设于安装头47的头主体50的连接管路132相互连接，经由这些供给管路130及连接管路132，从清洗单元90侧向形成在安装头47内的空气导入通路133供给空气或油。由这些供给管路130、连接管路132及空气导入通路133构成从清洗用空气通路116、清洗用油通路117或检查用空气通路106向各负压空气通路85导入空气的导入单元。

图8表示对清洗单元90进行控制的控制装置120，控制装置120具备中央处理装置(CPU)121、存储各种控制数据及控制程序等的存储器(ROM122及RAM123)及输入输出接口124。在输入输出接口124连接有上述的操作面板95的显示部125等。

另外，在输入输出接口124连接有对安装于清洗单元90的安装头47的R轴电动机51、θ轴电动机59、Z轴电动机64及步进电动机88进行控制的电动机控制单元127，并且连接有流体供给电路100的流量测定传感器108及真空压力测定传感器112。通过上述控制装置120，执行处理安装于清洗单元90的安装头47的清洗循环或检查循环。

在操作面板95的显示部125显示有安装于清洗单元90的安装头47的序号，并且显示有清洗或检查的实施日期和时间、各种检查结果以及基于检查结果而判定的是否合格的判定结果等，上述显示内容存储于控制装置120的RAM123。

在控制装置120经由LAN线缆141而连接有外部计算机140，能够将进行了清洗的日期和时间、检查结果等的数据经由LAN线缆141传送、保存于外部计算机140。由此，通过外部计算机140，能够阅览清洗及检查的履历，而且，能够报知下一清洗时期等。

接着，说明对安装头47进行清洗或检查的动作。在对安装头47进行清洗或检查时，将安装头47从元件安装机10的X轴滑动件45拆下，并安装于清洗单元90的单元主体91。安装头47向清洗单元90的安装与向元件安装机10安装的情况同样地进行。

具体而言，使安装头47的腿部73与单元主体91的腿部支撑部(76)卡合，并使安装头47的卡合块71及腿部73与单元主体91的上部及下部定位用辊(75、77)卡合，同时使安装头47的背面部接近单元主体91的表面部。由此，通过卡合辊72将自由状态的推杆部件(80)上推，卡合辊72越过推杆部件(80)，安装头47的头主体50的背面部与单元主体91的表面部接触。

由此，清洗单元90侧的供给管路130与安装头47侧的连接管路132相互连接，成为能够从清洗单元90的空气供给源101向安装头47内的空气导入通路133供给空气及油雾的状态。

在此状态下，通过对图示省略的操作部件进行操作，利用楔形作用将推杆部件(80)向下方按压，推杆部件(80)与卡合辊72卡合，安装头47的背面与清洗单元90的单元主体91的表面进行压力接触，安装头47被定位夹紧于清洗单元90。然后，将清洗单元90与安装头47的电力系统及通信系统进行连接器连接，从而清洗/检查的前准备完成。

这样一来，当将安装头47安装于清洗单元90并将图示省略的罩关闭时，在操作面板95显示安装头47的序号，并显示是执行清洗模式还是执行检查模式的选择画面。在此，例如，当选择清洗模式时，接着，显示是利用空气进行的清洗还是利用油(例如含有氟油的油雾)进行的清洗的选择画面。当选择利用空气进行的清洗并操作操作面板95上的起动按钮SB时，执行利用空气进行的清洗循环。

另外，利用空气进行的清洗比利用油进行的清洗简便，因此优选为，例如每1个月即利用空气进行清洗，例如每3个月即利用兼有润滑作用的油进行清洗，根据需要来实施检查模式。由此，不会浪费时间，能够有效地清洗、检查安装头47。

当选择利用空气进行的清洗时，执行图9的流程所示的空气清洗循环。即，在步骤200中，通过R轴电动机51使回转头(R轴)53移动到原位置，接着，在步骤202中，R轴转位预定角度(当吸嘴55为N个时，为360/N度)。接着，在步骤204中，对应于各吸嘴55而设置的机械阀87通过步进电动机88进行关闭动作(图5所示的状态)，将负压空气通路85关闭。

接着，在步骤206中，判断R轴的转位是否反复进行了N次，当判断为小于N次时，反复进行上述的步骤202～206的处理。在步骤206中，当判断为R轴的转位反复进行了N次时，向后述的步骤208转移。通过这样的处理，与各吸嘴55对应的全部机械阀87进行关闭动作，将与各吸嘴55连通的全部负压空气通路85重置为关闭状态。

接着，在步骤208中，将空气/油清洗切换阀115切换成图7的右方(清洗用空气通路116侧)，并将清洗/检查路径切换阀110切换成图7的右方，同时，将污垢抽吸阀119切换成图7的右方。由此，从空气供给源101向空气供给通路102供给的空气经由空气/油清洗切换阀115、清洗用空气通路116及清洗/检查路径切换阀110，向清洗单元90的供给管路130供给，经由安装头47的连接管路132向安装头47内的空气导入通路133导入空气。同时，供给到空气供给通路102的空气经由污垢抽吸阀119向污垢抽吸风机97供给，从而使污垢抽吸风机97动作。

接着，在步骤210中，与转位到元件吸附位置的最初的吸嘴55对应的机械阀87通过步进电动机88上升而进行打开动作，将与最初的吸嘴55连通的负压空气通路85打开。由此，导入到安装头47内的空气导入通路133的空气经由连通路134向与最初的吸嘴55连通的负压空气通路85供给，从吸嘴55的前端喷出。

导入到负压空气通路85的清洗空气也向吸嘴轴54及机械阀87的滑动部供给，因电子元件的吸附而吸入到负压空气通路85内的灰尘等从安装头47内排除，将吸嘴轴54及机械阀87的污垢冲走。从吸嘴55的前端喷出的空气由污垢抽吸风机97抽吸，防止飞散。

接着，在步骤212中，通过利用Z轴电动机64而升降的吸嘴动作部件62，使保持有最初的吸嘴55的吸嘴轴54在Z轴方向上上下运动预定次数。由此，通过空气将灰尘、因吸嘴轴54的滑动而产生的金属粉从吸嘴轴54的滑动部(与回转头53的嵌合部)有效地排除，将吸嘴轴54的污垢冲走。然后，在步骤214中，与最初的吸嘴55对应的机械阀87再次进行关闭动作，将负压空气通路85关闭。

接着，在步骤216中，R轴(回转头53)转位预定角度(360/N度)，接着，在步骤218中，判断R轴的转位是否反复进行了N次，在判断为小于N次时，反复进行上述的步骤210～218的处理，将与第二个、第三个吸嘴55连通的负压空气通路85打开，将各负压空气通路85依次进行清洗。

并且，在步骤218中，当判断为R轴的转位反复进行了N次时，即，当与最后的(第N个)吸嘴55连通的负压空气通路85及吸嘴轴54或机械阀87的清洗结束时，向步骤220转移，空气/油清洗切换阀115、清洗/检查路径切换阀110及污垢抽吸阀119被切换为图7所示的原位置，停止向安装头47供给空气。

接着，在步骤222中，将检查用阀105切换为图7的右方，从空气供给源101供给到空气供给通路102的空气经由检查用阀105向检查用空气通路106供给。供给到检查用空气通路106的空气在通过了流量测定传感器108之后，经由清洗/检查路径切换阀110，向清洗单元90的供给管路130供给，经由安装头47的连接管路132而导入到安装头47内的空气导入通路133。

接着，在步骤224中，机械阀87进行打开动作，通过该机械阀87的打开动作，导入到空气导入通路133的空气经由连通路134向负压空气通路85供给，从吸嘴55向外部排出。

此时，由流量测定传感器108测定在检查用空气通路106中流通的流量，所测定的流量的信息存储于控制装置120的RAM123。将存储于RAM123的流量的信息与预先登记于ROM122的阈值进行比较，在所测定的流量超过阈值时，即，在对安装头47内进行了清洗的结果是将灰尘等排除而使空气充分地流通时，判断为利用空气进行的清洗良好地进行，判断为合格。

然后，在步骤226中，机械阀87进行关闭动作。接着，在步骤228中，R轴转位预定角度(360/N度)，接着在步骤230中，判断R轴的转位是否反复进行了N次，在判断为小于N次时，重复进行上述的步骤224～230。在步骤230中，当判断为R轴的转位反复进行了N次时，向步骤232转移，将检查用阀105切换为原位置。接着，在步骤234中，在操作面板95上显示由流量测定传感器108测定的流量检查结果及是否合格的判定结果，结束利用空气进行的清洗循环。

然后，将清洗完的安装头47从清洗单元90拆下，在对另一安装头47进行清洗时，通过与上述同样的步骤将安装头47安装于清洗单元90，在利用空气进行清洗时，仅通过按下起动按钮SB就开始上述的清洗循环。

另一方面，在执行另一循环(利用油进行的清洗或检查)时，通过选择显示在操作面板95上的选择画面而执行所选择的循环。

图10表示利用油进行的清洗的流程，与先前所示的利用空气进行的清洗的不同点在于：在图9的A处理(步骤200～220)中的步骤208中，将空气/油清洗切换阀115与上述相反地切换为图7的左方(清洗用油通路117侧)的情况；及在上述的步骤220之后追加步骤302～324的动作，然后进行图9的B处理(步骤222～234)。

通过将空气/油清洗切换阀115向图7的左方切换，能够将供给到主通路104的空气向清洗用油通路117送入，通过加油器118将油(氟油)呈雾状地向安装头47内送入，利用油雾对负压空气通路85进行清洗。另外，除此以外的处理相同，因此省略。

追加的步骤302～324是因为，当向负压空气通路85内供给油(油雾)时，油附着而残存于负压空气通路85内，向吸嘴轴54及机械阀87的滑动部侵入，因此在利用油进行清洗之后，向负压空气通路85供给空气而将残存于安装头47内的油吹飞，并且之后进行预定时间(例如30秒左右)的空转运转，利用残留的油对吸嘴轴54及机械阀87的滑动部进行润滑。因此，以下，主要说明追加的步骤302～步骤324。

如图9所示，在步骤208中，空气/油清洗切换阀115被切换为图7的左方(清洗用油通路117侧)，在步骤210中，当机械阀87进行打开动作时，供给到主通路104的空气向清洗用油通路117送入，通过加油器118将油(氟油)呈雾状地送入到安装头47内，利用油雾对与最初的吸嘴55连通的负压空气通路85进行清洗。

这样一来，当与最后的吸嘴55连通的负压空气通路85的利用油进行的清洗结束而图9的A的处理完成时，在步骤300中，将空气/油清洗切换阀115切换为清洗用空气通路116侧，并切换污垢抽吸阀119而使污垢抽吸风机97动作。接着，在步骤302中，机械阀87进行打开动作，并且在步骤304中，通过Z轴电动机64，使保持有最初的吸嘴55的吸嘴轴54在Z轴方向上上下运动预定次数。

由此，向与最初的吸嘴55连通的负压空气通路85供给空气，通过利用油进行的清洗将附着于负压空气通路85、吸嘴轴54及机械阀87的滑动部的油吹飞，从吸嘴55的前端喷出，而由污垢抽吸风机97抽吸。然后，在步骤306中，与最初的吸嘴55对应的机械阀87进行关闭动作，将负压空气通路85关闭。

接着，在步骤308中，R轴转位预定角度(360/N度)，接着在步骤310中，判断R轴的转位是否反复进行了N次。在判断为小于N次时，重复进行上述的步骤302～310。在步骤310中，当判断为R轴的转位反复进行了N次时，向步骤312转移，将空气/油清洗切换阀115及污垢抽吸阀119切换为图7所示的原位置。

接着，在步骤314中，与最初的吸嘴55对应的机械阀87再次进行打开动作，接着，在步骤316、318中，保持有吸嘴55的吸嘴轴54通过Z轴用电动机64而下降及上升，并进行空转运转。由此，通过油，对吸嘴轴54的滑动部有效地进行润滑。然后，在步骤320中，机械阀87进行关闭动作。

接着，在步骤322中，R轴转位预定角度，下一吸嘴55转位到元件吸附位置。并且，接着在步骤324中，判断R轴的转位是否反复进行了N次，在判断为小于N次时，重复进行上述的步骤314～324的处理。在步骤324中，当判断为R轴的转位反复进行了N次时，进行图9的B处理(步骤222～234)，实施利用油进行的清洗后的流量检查，将利用流量测定传感器108测定的流量检查结果及是否合格的判定结果显示于操作面板95，结束利用油进行的清洗循环。

接着，基于图11的流程，说明在通过空气或油对安装头47内进行了清洗之后检查安装头47的性能的检查模式的检查循环。在执行检查模式时，在全部吸嘴55的前端盖上盖子135，以避免从吸嘴55的前端喷出空气(图2参照)。因此，将安装头47从清洗单元90暂时拆下。并且，在将安装头47拆下的状态下，在吸嘴55的前端盖上盖子135，然后，将安装头47再次安装于清洗单元90。

当将安装头47安装于清洗单元90时，在操作面板95上显示安装头47的序号，并显示应执行的模式是清洗还是检查的选择画面。在此，当选择检查模式并操作起动按钮SB时，执行检查模式。即，执行图11的流程所示的检查循环。

在图11中，通过步骤400～406，与图9的步骤200～206中叙述同样，与各吸嘴55对应的全部机械阀87进行关闭动作，与各吸嘴55连通的全部负压空气通路85被重置成关闭状态。

接着，在步骤408中，将检查用阀105向图7的右方切换。由此，从空气供给源101供给到空气供给通路102的空气经由检查用阀105向检查用空气通路106供给。供给到检查用空气通路106的空气从清洗单元90的供给管路130经由安装头47的连接管路132向空气导入通路133供给。

接着，在步骤410中，机械阀87进行打开动作，将与转位到元件吸附位置的最初的吸嘴55连通的负压空气通路85打开。由此，向安装头47内的空气导入通路133导入的空气经由连通路134向与吸嘴55连通的负压空气通路85供给。然而，由于在吸嘴55盖上盖子135来阻止空气从吸嘴55的前端的喷出，因此导入到负压空气通路85的空气经由机械阀87、吸嘴轴54的滑动部等向外部泄漏。由于上述的空气的泄漏而使负压空气通路85中的压力发生变化。

在与负压空气通路85连通的检查用空气通路106连接有真空压力测定传感器112，因此负压空气通路85中的空气压力由真空压力测定传感器112测定，所测定的空气压力的信息存储于控制装置120的RAM123。并且，将空气压力的信息与预先登记于ROM202的阈值进行比较，判定是正常还是异常。

接着，在步骤412、414中，驱动Z轴电动机64，使保持有最初的吸嘴55的吸嘴轴54在Z轴方向上下降及上升。基于Z轴电动机64的吸嘴轴54的下降及上升所需的Z轴移动时间在接下来的步骤416中计测，并存储于RAM123。在此，Z轴移动时间依赖于吸嘴轴54的滑动阻力，例如，在灰尘等异物侵入到吸嘴轴54的滑动部时，滑动阻力变大，Z轴移动时间变长。并且，将存储于RAM123的Z轴移动时间与预先登记于ROM122的阈值进行比较，来判定是否合格。

接着，在步骤418中，机械阀87进行关闭动作，接着，在步骤420中，R轴(回转头53)通过R轴电动机51而转位预定角度(360/N度)。接着，在步骤422中，计测基于R轴电动机51的回转头53的R轴移动时间，并存储于RAM123。将存储于RAM123的R轴移动时间与预先登记于ROM122的阈值进行比较，判定是否合格。

接着，在步骤424中，判断R轴的转位是否反复进行了N次，在判断为小于N次时，重复进行上述的步骤410～420的处理，在判断为反复进行了N次时，在步骤426中，在操作面板95的显示部125上显示Z轴移动时间、R轴移动时间及基于Z轴移动时间和R轴移动时间而判定的是否合格的判定结果，并且基于该判定结果而显示安装头47的性能是正常还是异常。

例如，即使是N个吸嘴轴54的1个，在Z轴移动时间脱离阈值而在是否合格判定中判断为不合格时，也判断为安装头47为异常。判断为异常的安装头47从清洗单元90拆下之后，采取异常处置。在这种情况下，根据检查结果明确可知安装头47的异常由哪个吸嘴轴54引起，因此能容易地进行安装头47的异常处置。作为安装头47的性能检查，除了Z轴及R轴之外，还可以追加θ轴。

另外，只要能够在将安装头47安装于清洗单元90的状态下向吸嘴55安装盖子135，就可以在利用空气或油进行清洗后不拆下安装头47而继续实施检查循环。在这种情况下，回转头53的R轴已经移动到原位置，而且，与多个吸嘴55分别对应的全部机械阀87保持为关闭状态，因此能够省略检查循环中的步骤400～406的处理。

根据上述的实施方式，通过与元件安装机10通用的头夹紧装置96对从元件安装机10拆下的安装头47进行安装，向安装头47内的负压空气通路85供给空气或油雾，对安装头47内进行清洗，因此能够简单且有效地进行安装头内的清洗。

另外，在安装头47向清洗单元90安装后，仅按照显示于操作面板95的选择画面对操作面板95进行操作，就能够选择清洗模式或检查模式等，能够容易地实施清洗循环或检查循环。

而且，通过从清洗单元90的清洗用空气通路116或清洗用油通路117向安装头47内的各负压空气通路85导入的空气或油，能够对负压空气通路85进行清洗。由此，能够将在元件吸附时等从吸嘴55吸入到负压空气通路85内的灰尘等排除，并且在清洗后，切换检查用阀105，从检查用空气通路106向安装头47内导入空气，由此能够将由设置在检查用空气通路106中的流量测定传感器108所测定的流量的信息显示于操作面板95，能够在操作面板95显示清洗结果及基于清洗结果而判定的是否合格等。

根据上述的实施方式，能够通过空气或油选择性地进行负压空气通路85的清洗，例如每隔一定时期利用空气进行清洗，每利用空气清洗数次则利用油进行清洗，由此能够有效地进行安装头47的清洗。而且，通过污垢抽吸风机97，能够避免因负压空气通路85的清洗而从吸嘴55排出的污垢的空气或油向周围飞散。

另外，根据上述的实施方式，在检查循环时，空气从吸嘴55的排出由盖子135阻止，因此通过真空压力测定传感器112能够检查空气从吸嘴轴54或机械切换阀87等的各滑动部的泄漏等，该吸嘴轴54对在回转头53内滑动的吸嘴55进行保持，该机械切换阀87进行负压空气向负压空气通路的供给及切断的切换。

而且，在检查循环时，测定通过Z轴电动机64而升降的吸嘴55的升降移动时间，由此能够测定保持有吸嘴55的吸嘴轴54的滑动阻力，能够检查由灰尘或金属粉向滑动部的啮入等引起的异常状态。

在上述的实施方式中，说明了通过与元件安装机10通用的头夹紧装置96将从元件安装机10拆下的安装头47向清洗单元90安装的例子，但也可以不必是通用的头夹紧装置96。

在上述的实施方式中，说明了对以能够转位的方式具备保持有多个吸嘴55的回转头53的安装头47内进行清洗的例子，但本发明也能够适用于具有单一的吸嘴的安装头47内的清洗。

如此，本发明没有限定为上述的实施方式中说明的结构，在不脱离权利要求书记载的本发明的主旨的范围内可以采用各种方式。

附图标记说明

10…元件安装机，47…安装头，51…R轴电动机，53…回转头，54…吸嘴轴，55…吸嘴，59…θ轴电动机，64…Z轴电动机，85…负压空气通路，87…机械切换阀，90…清洗单元，95…操作面板，96…头夹紧装置，97…污垢抽吸风机，100…流体供给电路，101…空气供给源，105…检查用阀，108，112…空气测定单元(流量测定传感器、真空压力测定传感器)，110…清洗/检查路径切换阀，115…空气/油清洗切换阀，116…清洗用空气通路，117…清洗用油通路，118…加油器，120…控制装置，124…显示部，130、132、133…导入单元(供给管路、连接管路、空气导入通路)，135…盖子。