本申请要求于2017年4月18日提交的第10-2017-0050023号韩国专利申请的优先权和权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文。
本公开涉及容器清洁系统。
背景技术
随着工业社会的进步，制造高精度和超小型组件的条件数量正在增加。所述条件中的一个是超洁净环境。与在通常的环境中制造的产品不同，当在一般环境中执行制造高精度和超小型设备的过程时，误差率由于诸如灰尘的杂质而增加。因此，降低了制造过程中的生产率并且增加了制造成本。为了解决此问题，对于用于传送制成产品的气密容器以及制造环境的需求正在增加，并且由此对于过程的数量的需求正在增加，因此，迫切需要对气密容器清洁系统以及与气密容器清洁系统相关的技术进行研究。
技术实现要素：
在根据相关领域的容器清洁装置中，气密容器的主体和盖子在备用区中分离，传送到清洁腔室，并且然后进行清洁。在清洁主体和盖子之后，将密封的容器取出到备用区并且进行装配过程。然而，清洁的气密容器可能在传送气密容器期间受到污染。
根据本公开的一个方面，容器清洁系统包括传送设备、清洁腔室、机械手和控制器，其中，传送设备配置成传送待清洁的容器；清洁腔室配置成清洁容器，并且包括第一臂和第二臂以及内部清洁喷嘴，其中，第一臂和第二臂配置成抓持容器的一侧和另一侧以及打开容器的盖子以打开容器，内部清洁喷嘴配置成将清洁材料喷射到容器的内部上；机械手配置成在清洁腔室与传送设备之间传送容器；控制器配置成控制机械手将容器从传送设备移动到清洁腔室。在容器被清洁的同时，第一臂和第二臂旋转。
根据本公开的另一方面，容器清洁腔室包括壳体、第一臂和第二臂以及内部清洁喷嘴，其中，壳体配置成容纳容器；第一臂和第二臂配置成通过分别抓持容器的一侧和另一侧来分离容器的主体和盖子；内部清洁喷嘴配置成将清洁材料喷射到主体和盖子分离的容器的内部上。在从内部清洁喷嘴喷射清洁材料的同时，第一臂和第二臂旋转。
附图说明
通过参考附图详细地描述本公开的示例性实施方式，本公开的以上及其他目的、特征和益处对于本领域的普通技术人员将变得更显而易见，在附图中：
图1是根据实施方式的容器清洁系统的示意性立体图；
图2是示意性示出引入到清洁腔室中的容器的图；
图3是示出其中第一臂和第二臂从容器拆除并且之后清洁容器的状态的图；以及
图4是示出其中容器已经被引入到清洁腔室中的状态的平面图。
具体实施方式
提供本公开的以下描述，仅是为了给出用于说明本公开的结构和功能的实施方式。因此，本公开的范围不应被解释为限于这些实施方式。即，可在这些实施方式中做出多种改变，并且所述实施方式可以以许多不同的形式体现。因此，本公开的范围应该被理解成覆盖落入本公开的范围内的所有等同。
本文中所使用的术语应该按照以下进行理解。
如本文中所使用的，术语“第一”、“第二”等仅用于将一个元件与另一元件区分开，因此，本公开的范围不应被理解为受这些术语限制。例如，在没有背离本公开的范围的情况下，以下讨论的第一元件可被称为第二元件。类似地，第二元件可被称为第一元件。
除非上下文另有明确指示，否则如本文中所使用的，单数形式“一(a)”、“一个(an)”和“所述(the)”也旨在包括复数形式。还应理解的是，当在本说明书中使用时，术语“包括(comprises)”和/或“包括(comprising)”表示存在所阐述的特征、整体、步骤、操作、元件、组件和/或其组合，但是不排除存在或添加一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、组件、和/或其组合。
本文中用于描述本公开的实施方式的术语“和/或”包括一个或多个相关列出项目的任何和所有组合。例如，表述“a和/或b”应该理解成表示“a”、“b”、或“a和b两者”。
当描述本公开的实施方式时，如果确定组件需要彼此区分，则执行相同的功能或类似的功能的组件将用为其分配的标记进行描述(诸如，a、b和c或1、2和3)，但是如果组件不需要彼此区分或如果一起描述所有的组件，则组件可能在不为其分配标记的情况下进行描述。
除非另有限定，否则本文中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开所属领域的普通技术人员通常所理解的含义相同的含义。还应理解的是，除非在本文中明确限定，否则术语(诸如在常用词典中定义的术语)应该被解释为具有与其在相关领域的上下文中的含义一致的含义，并且将不以理想化或过于形式化的意义进行解释。
图1是根据实施方式的容器清洁系统10的示意性立体图。参考图1，根据实施方式的容器清洁系统10包括传送设备200、清洁腔室100、机械手300和控制器(未示出)，其中，传送设备200配置成传送待清洁的容器c；清洁腔室100配置成清洁容器c并且包括第一卡盘和第二卡盘以及喷嘴，该第一卡盘和第二卡盘配置成抓持容器的一侧与相对侧以及打开容器的盖子以打开容器，喷嘴配置成将清洁材料喷射到容器c的内部上；机械手300配置成在清洁腔室100与传送设备200之间传送容器；控制器(未示出)配置成控制机械手300将容器从传送设备200移动到清洁腔室100。
容器c配置成将诸如半导体晶圆或半导体设备的目标对象容纳在其中以传送目标对象。因此，不仅容器c的内部需要保持非常清洁，容器c的外侧也需要保持非常清洁。在传送目标对象之后，从承载件卸下容器c，然后由传送设备200将容器c引入到容器清洁系统10中。机械手300抓持正沿着传送设备200传送的容器c并将其传送到清洁腔室100中。在一个实施方式中，传送设备200可为输送带。
图2是示意示出引入到清洁腔室100中的容器c的图。在清洁腔室100中，当容器c引入到清洁腔室100中时，关闭腔室盖120，并且对容器c进行清洁和干燥。然而，为了方便说明的目的，下面将参考其中腔室盖120示出为打开并且省略腔室110的侧壁的图示的附图描述本公开。
清洁腔室100包括腔室110、腔室盖120、第一臂(第一卡盘)130和第二臂(第二卡盘)140以及喷嘴150，其中，腔室110配置成容纳容器，腔室盖120配置成密封腔室110，第一臂(第一卡盘)130和第二臂(第二卡盘)140配置成分别抓持经由打开的腔室110装载的容器的盖子和主体，喷嘴150配置成插在容器的已经彼此分离的盖子和主体之间以将清洁材料和/或干燥材料喷射到容器的盖子和主体上。
在一个实施方式中，清洁腔室100还可包括配置成存放清洁材料和/或干燥材料的罐(未示出)。清洁腔室100可包括用于在容器c引入到清洁腔室100中时存放喷嘴150的喷嘴存放单元170。清洁腔室100可包括配置成将喷嘴150喷射的清洁材料或干燥材料排放到清洁腔室100外部的排放端口160。
参考图3，当容器c被卸载时，容器c的主体c1和盖子c2分别由第一臂130和第二臂140抓持而彼此分离。在清洁腔室100中，主体c1由第一臂130抓持并移动到一侧，并且盖子c2由第二臂140抓持并移动到另一侧。随着主体c1和盖子c2分别移动到一侧与另一侧，位于下部位置的喷嘴150向上移动。
喷嘴150从喷嘴存放单元170向上移动，并且第一臂130和第二臂140旋转。喷嘴150通过在第一臂130和第二臂140旋转的情况下将清洁材料喷射到容器来清洁容器的已经彼此分离的盖子c2和主体c1。在一个实施方式中，在清洁容器的盖子c2和主体c1期间，喷嘴150的轴152可竖直地移动，并且喷嘴150可围绕轴152左右枢转。因此，可清洁容器的每个部分。
在一个实施方式中，第一臂130和第二臂140具有以某个角度倾斜的功能或控制转数的功能。
图4是示出清洁容器的主体c1和盖子c2的过程的平面图。当清洁容器时，外部清洁喷嘴180可喷射清洁材料以清洁容器主体c1和容器盖子c2的外侧。在完成清洁过程之后，喷嘴150和外部清洁喷嘴180可喷射干燥材料以执行干燥过程。
在一个实施方式中，清洁材料可为液体，例如，包含表面活性剂的水。干燥材料可为温度高于或等于室温的气体。气体可为空气或氮气。在一个实施方式中，第一臂130和第二臂140可在清洁过程和干燥过程期间围绕共同的旋转轴线旋转。
在通过喷嘴150喷射清洁材料的同时，第一臂130和第二臂140旋转，因此，可关于污染物对容器c的内部和外部进行很大程度的清洁。
在另一实施方式中，在通过喷嘴150喷射干燥材料的同时，第一臂130和第二臂140可旋转，因此，当对容器c的内部执行干燥过程时，可在很大程度上去除容器c内部残留的清洁材料。
在完成干燥过程之后，容器c的盖子c2和主体c1通过第一臂130和第二臂140组合。当其中容器c的盖子c2和主体c1已经组合的容器c的腔室盖120打开时，由机械手300将容器c取出到清洁腔室100外部的输送带200。
根据本实施方式，由于容器c的主体c1和盖子c2在旋转的情况下在清洁腔室100中进行清洁，因此可在更大程度上进行清洁容器c。
在根据实施方式的容器清洁装置中，容器在腔室关闭的情况下进行清洁和干燥，因此防止另外地受到污染。此外，根据实施方式的容器清洁系统可包括一个或多个腔室，并且能够整合拆除容器的过程、装配容器的过程以及清洁容器的过程。因此，可以同时清洁一个或多个容器。
此外，由于容器装载系统和容器卸载系统是分开的，因此不存在每个腔室的独立操作的问题，由此提高了生产率。
虽然上文已经描述了附图中示出的实施方式以帮助理解本公开，但是提供这些实施方式仅是为了给出用于实现本公开的示例；并且，对于本领域的普通技术人员应显而易见的是，可以从这些实施方式中得出多种修改的实施方式和等同的实施方式。因此，本公开的范围应该由所附权利要求限定。