三维度接液杯平移清洗结构及方法与流程

本发明属于接液杯清洗，具体为三维度接液杯平移清洗结构及方法。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1 片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。而晶圆的制造工艺复杂，拥有很多工序，其中一道工艺为使用化学品的浸泡或者喷洒去除脏污的工艺，主要目的是为了清除晶圆表面附着的污染物。

2、而现有去除脏污的工艺一般将圆晶放置到接液杯内，通过长时间的浸泡用以清除晶圆表面所附着的杂质，而由于化学药剂长时间沉置在接液杯内，每次工艺过后不及时对接液杯进行清理的话，这些化学药剂和去除的杂质则会堆积并粘附在杯体内，随着时间的沉淀则会逐渐累积，降低了清洗的效果。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提供三维度接液杯平移清洗结构及方法，有效的解决了上述背景技术中的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：三维度接液杯平移清洗结构，包括底板，所述底板上对称安装有电动伸缩柱，电动伸缩柱的输出端上安装有承力块，两个承力块共同连接升动板，升动板上安装有安装板，安装板与升动板之间通过螺栓固定连接设置；所述安装板上固定安装有驱动电机，驱动电机与夹动制紧机构连接设置；

3、所述夹动制紧机构包括设置于驱动电机的输出端上安装有菱形块，菱形块与驱动齿轮上设有的菱形槽连接设置；所述驱动齿轮啮合连接驱动齿条，驱动齿条上对称安装有延长杆，一个所述延长杆穿过升动板上固定设有的驱动基座与第一挡板连接设置，另一个所述延长杆穿过驱动基座与双动齿条固定连接设置；所述延长杆上套设有延长弹簧，延长弹簧的一端与驱动齿条固定连接设置，另一端与驱动基座固定连接设置；所述双动齿条啮合连接两个双动齿轮，双动齿轮上安装有双动转轴，双动转轴与联动夹座连接设置，联动夹座与驱动基座之间通过辅动异杆连接设置；所述双动转轴的两端安装有制动夹板，制动夹板上固定安装有双边夹具，双边夹具上对称安装有双边杆，双边杆穿过联动横板与第二挡板连接设置；所述双边杆上套设有双动弹簧，双动弹簧的一端与双边夹具固定连接设置，另一端与联动横板固定连接，联动横板上固定安装有联动座，联动座与乱定除清单元连接设置。

4、优选的，所述乱定除清单元包括设置于联动座上的绳索，绳索通过定滑轮与缠线轮连接设置，定滑轮与辅动异杆上固定设有的定力基座传动连接设置；所述缠线轮上安装有缠动转轴，缠动转轴与辅动异杆上设有的缠动基座传动连接设置；所述缠动转轴的一端上安装有发条弹簧，发条弹簧的端点与缠动基座连接设置，另一端与主动锥齿轮连接设置，主动锥齿轮啮合连接从动锥齿轮，从动锥齿轮上安装有从动螺纹轴，从动螺纹轴与辅动异杆上固定安装有的从动基座传动连接设置；所述从动螺纹轴上螺纹安装有从动横板，从动横板与衔控界定组件连接设置。

5、优选的，所述从动横板上对称安装有辅助板，辅助板上安装有辅助杆，辅助杆穿过从动基座与限位制板连接；所述辅助杆上套设有辅助弹簧，辅助弹簧的一端与限位制板固定连接设置，另一端与从动基座固定连接设置；所述从动横板上固定安装有控动夹板，控动夹板上安装有控动套筒，控动套筒上滑动安装有控动滑杆，控动滑杆上设有l刮板；所述控动套筒与控动滑杆之间通过挤压弹簧连接设置。

6、优选的，所述衔控界定组件包括设置于从动横板上的主动杆，若干主动杆的一端与第三挡板固定连接，另一端与平地板固定连接设置；所述主动杆上套设有主动弹簧，主动弹簧的一端与从动横板固定连接设置，另一端与平地板固定连接；平地板的侧面上对称安装有安装盒，安装盒内安装有静触片，静触片与安装块上设有的动触片配合连接，两者的连接用于控制全动电机的驱动静止状态，全动电机与控动夹板固定连接设置；所述全动电机与往力击控单元连接设置，安装块与从动横板的侧面固定连接设置。

7、优选的，所述往力击控单元包括设置于全动电机输出端上的旋动齿轮，旋动齿轮配合连接旋动齿盘，旋动齿盘上安装有旋动转块，旋动转块与升动块上设有的旋动转槽连接设置；升动块与升动板之间通过全动异杆连接设置；所述旋动齿盘上安装有复动半槽，复动半槽与接液杯连接设置，接液杯上设有衔动转槽，衔动转槽与双边夹具上设有的衔动转块配合连接设置。

8、优选的，所述旋动齿盘啮合连接主动齿轮，主动齿轮上安装有联动转轴，联动转轴的一端与升动块传动连接设置，另一端与复动齿轮连接设置，复动齿轮啮合连接从动齿轮，从动齿轮与限定卡位机构连接设置；所述复动齿轮上安装有控动杆，控动杆与矩力方板上设有的矩动方槽滑动连接设置；所述矩力方板的一侧上对称安装有制动杆，制动杆穿过升动块上设有的制动基座与制动板连接设置，所述制动杆上套设有制动弹簧。

9、优选的，所述制动弹簧的一端与制动基座固定连接，另一端与制动板固定连接设置；所述矩力方板的另一侧上安装有敲击杆，敲击杆配合连接受力板，受力板上安装有受力杆，受力杆穿过升动块上设有的受力基座与击打夹块，所述受力杆上套设有受力弹簧，受力弹簧的一端与击打夹块固定连接，另一端与受力基座固定连接。

10、优选的，所述限定卡位机构包括设置于从动齿轮上的全力转轴，全力转轴的一端与升动块传动连接，另一端与联动齿轮连接设置，联动齿轮啮合连接两个联动齿条，联动齿条与升动块上设有的联动滑套滑动连接设置；所述联动齿条上安装有加力异板，加力异板上安装有加力杆，若干加力杆共同连接卡位板，卡位板与制动夹板配合连接设置。

11、优选的，所述联动齿条上对称安装有第一基座，第一基座上安装有配动杆，配动杆与第二基座连接设置；所述配动杆上套设有配动弹簧，配动弹簧的一端与第一基座固定连接，另一端与第二基座固定连接，第二基座上安装有轮齿；所述加力杆上套设有加力弹簧，加力弹簧的一端与卡位板固定连接，另一端与加力异板固定连接；所述加力异板上安装有刷板。

12、本发明还提供了三维度接液杯平移清洗方法，包括以下步骤：

13、步骤一、将接液杯放置到旋动齿盘上的复动半槽上，启动驱动电机，使得啮合的的驱动齿条在驱动基座上限位上移，使得双动齿条向上移动并啮合带动两个双动齿轮转动，使得两个制动夹板相向旋转；将接液杯夹紧；

14、步骤二、制动夹板在转动时通过联动座、绳索和定滑轮的配合使得缠线轮转动，使得控动夹板上的l刮板接触到接液杯的内壁，使得l刮板可以与接液杯的内壁进行充分的接触；

15、步骤三、安装块进入到安装盒内，并使得静触片接触到动触片，同时全动电机到达指定位置，全动电机上的旋动齿轮已经处于啮合旋动齿盘的状态，通过两个触片的相接触发出信号至控制盒，控制盒发出启动信号至全动电机，使得旋动齿盘旋转，继而带动接液杯旋转，使得l刮板对接液杯的内壁进行刮除；

16、步骤四、旋动齿盘转动时带动主动齿轮转动，使得击打夹块通过受力杆在受力基座上移动，受力弹簧处于缓冲的状态，当敲击杆不再接触到受力板时，受力弹簧复位所产生的弹力导致击打夹块对接液杯的侧壁相接触导致接液杯振动；

17、步骤五、两个卡位板相向移动并移动至制动夹板的侧面，从而将制动夹板限位在当前位置避免了接液杯的位置发生偏移，提升了清洗的效果。

18、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

19、（1）主动锥齿轮转动，使得从动螺纹轴转动，继而使得从动横板限位下移，使得辅助杆上的辅助弹簧处于缓冲的状态，继而使得控动夹板上的l刮板接触到接液杯的内壁，当l刮板接触到接液杯的底面，并继续移动，使得控动滑杆在控动套筒上移动，挤压弹簧处于缓冲的状态，使得l刮板可以与接液杯的内壁进行充分的接触，提升了刮除的效果；当平地板接触到升动块上时，主动杆上的主动弹簧处于缓冲的状态，继而使得安装块进入到安装盒内，并使得静触片接触到动触片，同时全动电机到达指定位置，全动电机上的旋动齿轮已经处于啮合旋动齿盘的状态，通过两个触片的相接触发出信号至控制盒，控制盒发出启动信号至全动电机，使得旋动齿盘旋转，继而带动接液杯旋转，使得l刮板对接液杯的内壁进行刮除操作，用于清理接液杯的内壁所粘附的残渣；

20、（2）复动齿轮上的控动杆在矩力方板上的矩动方槽内移动，使得敲击杆在制动基座上往复移动，制动弹簧处于不断缓冲、复位的状态，使得敲击杆不断接触到受力板，初始状态的击打夹块处于贴合接液杯的外壁的状态，当敲击杆接触到受力板时，使得击打夹块通过受力杆在受力基座上移动，受力弹簧处于缓冲的状态，当敲击杆不再接触到受力板时，受力弹簧复位所产生的弹力导致击打夹块对接液杯的侧壁相接触导致接液杯振动，配合l刮板的刮除可以将其内壁上所粘附的杂质进行掉落，提升了清洗的效果；

21、（3）操作人员将需要清理的接液杯放置到旋动齿盘上的复动半槽上，通过启动驱动电机，驱动电机的输出端带动驱动齿轮转动，使得啮合的的驱动齿条在驱动基座上限位上移，使得延长弹簧处于缓冲的状态，继而使得双动齿条向上移动并啮合带动两个双动齿轮转动，使得双动转轴转动，带动制动夹板以双动转轴为圆心而转动，使得两个制动夹板相向旋转，使得两个双边夹具上的衔动转块对接液杯上的衔动转槽贴合限位，从而将接液杯夹紧，避免接液杯在清洗时晃动，同时并不影响接液杯的旋转；当第一步的清洗完成后，操作人员可以控制电动伸缩柱的升降，将升动板向上移动，使得升动块上的接液杯离开第一步所清洗的水箱（图中未展示，可以总共设置两个水箱，将第一水箱移动走并将第二水箱移动到接液杯的下方），通过驱动电动伸缩柱的复位，使得接液杯浸入水箱内重复第一步的清洗步骤。（升动块内的零件可以隐藏在升动块内的设计，避免水对零件造成损害，同时对近于水的零件做防水处理，提升防水效果）；

22、（4）两个联动齿条在联动滑套上相向移动，使得两个卡位板相向移动并移动至制动夹板的侧面，从而将制动夹板限位在当前位置避免了接液杯的位置发生偏移，提升了清洗的效果，同时此时联动齿轮啮合到轮齿，使得第二基座在配动杆上往复移动，此时联动齿条和联动滑套上的两个杆子相接触导致联动齿条不能在往前移动，加力弹簧不断处于缓冲、复位的状态。使得卡位板对制动夹板限位的力一直存在。