r>[0034]安排在处理腔室处理区域中的工件施加液体介质的装置通过输送管道获得液体介质，该液体介质至少部分经过加热装置。
[0035]安排在输送管道中的输送装置，该输送装置从储存容器中向安排在处理处理腔室的处理区域中的工件施加液体的装置输送液体介质，向安排在处理处理腔室的处理区域中的工件施加液体的装置至少部分在加热装置之间进行移动。
[0036]在对安排在处理区域中的工件施加液体后的液体介质收集装置以及液体介质输送至储存容器中。
[0037]在储存容器中对收集在储存容器中的液体介质进行恒温处理的加热装置。
[0038]用于对安排在处理腔室的处理区域中的工件施加液体介质的装置是一个喷嘴。
[0039]与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果:
[0040]1、本实用新型将储存容器中的液体输送至处理腔室进行工件处理，同时液体收集装置将处理后的液体介质收集并输送至储存容器中，从而实现液体介质的循环使用，减少清洗液的损耗。
[0041]2、本实用新型中包含了一个从处理腔室抽吸水汽的装置，它将处理腔室中积聚的水汽吸出，防止其不受控制地溢出清洗设备，从而防止含有有害化学物质的处理液气体直接排放到外界环境中，提高设备的环保性能。
[0042]3、本实用新型的设备将处理腔室中抽吸出的水汽输送至冷凝器中，并在冷凝器中进行冷凝，从而实现液体和空气的分离，其中冷凝器与制冷装置的制冷端相连，由制冷装置提供冷凝所需的低温介质，而制冷装置的放热端与处理装置的加热器相连，这样就可以利用抽吸装置中的冷凝器清洁废气，并将冷凝过程中水汽释放的热量输送至处理工件的液体介质上。通过设计一个或多个加热-热交换器，利用制冷剂冷凝所释放的热量加热因处理工件而冷却的液体介质，同时使得制冷剂可以进一步冷却并完全液化，释放出冷凝处理腔室中抽吸出的水汽而得到的热量，从而大大降低设备的能耗。
[0043]4、本实用新型的设备中的冷凝器与处理工件的液体介质的储存容器相连，以便将冷凝的液体送回储存容器，而储存容器中的液体介质又会被输送至处理腔室对工件进行处理，从而将处理装置的液体介质损耗降至最低。
【附图说明】
[0044]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0045]图1为本实用新型提供的工件清洗设备的结构示意图；
[0046]图中:
[0047]10- 清洗设备
[0048]12- 工件
[0049]14-处理腔室
[0050]16-处理区域[0051 ]18-液体介质
[0052]1801-气体介质
[0053]19-冷凝液
[0054]20-喷嘴
[0055]22-收集槽
[0056]24-储存容器
[0057]25-第一加热装置
[0058]26-输送装置
[0059]28-输送管道
[0060]29-幕帘[0061 ]30-入口
[0062]31-箭头
[0063]32-出口
[0064]33-箭头
[0065]34-幕帘
[0066]35-第二加热装置
[0067]3501-加热-热交换器
[0068]3502-第二加热装置的二次侧
[0069]36-比例阀
[0070]37-装置
[0071]38-比例阀
[0072]39-内部区域
[0073]40-抽吸管道
[0074]42-排气风机
[0075]44-冷凝器
[0076]4401-冷凝-热交换器
[0077]4402-冷凝-热交换器的一次侧
[0078]46-排气管道
[0079]48-外界环境
[0080]50-冷凝-热交换器的二次侧[0081 ]52-制冷装置
[0082]53-第二加热装置的一次侧
[0083]54-制冷剂回路
[0084]55-制冷剂
[0085]56-压缩机
[0086]58-制冷剂储存容器
[0087]60-膨胀阀
[0088]62- 膨胀阀的高压接口
[0089]64- 压缩机的高压接口
[0090]66- 膨胀阀的低压接口
[0091]68- 压缩机的低压接口
[0092]70- 热交换器
[0093]72- 热交换器的一次侧
[0094]74- 热交换器的二次侧
【具体实施方式】
[0095]下面结合具体实施例对本实用新型进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本实用新型，但不以任何形式限制本实用新型。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本实用新型的保护范围。
[0096]根据本实用新型提供的工件清洗设备，包括处理腔室14、施加液体介质的装置20，还包括加热-热交换器3501，所述施加液体介质的装置20将经过第二加热装置35恒温处理的至少一种液体介质18输送至所述处理腔室14的内部区域39的处理区域16对工件12进行处理。
[0097]具体地，处理腔室14指液体介质对工件12进行处理的一个或多个处理区域16，其围壳将处理区域16与外界环境进行分隔，以保护周遭环境。设备可以使用多种液体介质，按照规定的顺序对工件进行处理。例如首先以清洗液进行处理，然后使用漂洗液进行一次或多次的处理，例如使用去离子水进行漂洗。例如通过含有清洗剂或者油的液体进行清洗。同时本设备也可以对工件12进行表面处理，例如钝化，防锈和酸洗。另外本设备还包含有干燥装置，可以在液体介质18对工件12处理的中间和最终阶段进行干燥。在处理腔室14内对工件12进行喷淋，漂洗，浸没等处理，或者还可以对工件12进行去毛刺处理。
[0098]优选地，还包括从处理腔室14内部区域抽吸气体介质的装置37、冷凝器44、制冷装置52，所述抽吸气体介质的装置37将处理腔室14中吸出的气体介质1801输送至冷凝器44，并将从液体介质18中吸收的蒸汽、雾状、气体成分中的任一种或任多种冷凝为冷凝液19;所述置制冷装置52与冷凝器44的二次侧相连，以便提供冷凝所需的低温，且所述制冷装置52和第二加热装置的一次侧53相连。
[0099]具体地，从处理腔室14中抽吸出的气体介质1801中的液体介质18的气体或者蒸汽状组成部分在冷凝器44中冷凝为冷凝水，该冷凝水被重新输送至处理腔室14中用于清洗工件。
[0100]优选地，冷凝器44与液体介质18的储存容器24相连，以便将冷凝器44中形成的冷凝液送回储存容器24，且所述储存容器24和施加液体介质18的装置20相连，以将液体介质18输送至施加液体介质的装置20，进而施加至安排在处理腔室14的处理区域16中的工件12上。
[0101]优选地，所述制冷装置52具有制冷剂回路54，制冷剂55在所述制冷剂回路54中进行循环。
[0102]优选地，所述第二加热装置35包含一个加热-热交换器3501，制冷剂55流经所述第二加热装置的一次侧53，且所述第二加热装置的一次侧53构成了制冷装置52的加热端;液体介质18流经所述第二加热装置的二次侧3502，并通过施加液体介质的装置20向安排在处理腔室14处理区域16中的工件12施加液体介质18，即加热-热量交换器3501由第二加热装置的一次侧53构成的加热接口向液体介质18流经的第二加热装置的二次侧3502传递热量。
[0103]优选地，制冷装置52具有一个安排在制冷剂回路54中能够压缩制冷剂55的压缩机56、压缩机的低压接口 68以及压缩机的高压接口 64;所述压缩机56在压缩机的低压接口 68获得在制冷剂回路54中循环的制冷剂55，并将压缩后的制冷剂55通过压缩机的高压接口 64输送至第二加热装置的一次侧53相连的加热端。
[0104]优选地，冷凝器44包含一个冷凝-热交换器4401，所述冷凝-热交换器4401具有一个从处理腔室14内部吸出的气体介质1801流经的冷凝-热交换器的一次侧4402和一个制冷剂55流经的冷凝-热交换器的二次侧50，该冷凝-热交换器的二次侧50连接制冷装置52的制冷端，冷凝-热交换器4401将热量从冷凝-热交换器的一次侧4402传递至冷凝-热交换器的二次侧50，即制冷装置52的制冷端。
[0105]优选地，制冷装置52包含一个具有高压接口和低压接口的膨胀阀60，该膨胀阀60通过膨胀阀的高压接口 62获得在制冷剂回路54中循环的制冷剂55，并通过膨胀阀的低压接口 66将制冷剂55输送至冷凝-热交换器的二次侧50，即制冷装置52的制冷端。
[0106]优选地，还包括热交换器70，所述热交换器70具有一个冷凝器44中冷却后气体介质1801流经热交换器的二次侧74和一个制冷剂回路54中制冷剂55流经热交换器的一次侧72，即热量从热量交换器的一次侧72向热交换器的二次侧74传递。
[0107]优选地，热交换器70通过将热交换器的一次侧72的热量传递至热交换器的二次侧74对冷凝器44中冷却的气体介质1801进行加热，并将从加热-热交换器3501获得的制冷剂回路54中循环的制冷剂55输送至膨胀阀60的高压接口 62处。
[0108]优选地，所述液体介质通过输送管道输送至对处理腔室14处理区域16中的工件12施加液体介质的装置20，且所述液体介质18至少部分经过第二加热装置35。
[0109]优选地，输送管道28中设有输送装置26，所述输送装置26将储存容器24中的液体介质18输送到施加液体介质的装置20，且至少部分输送至施加液体介质的装置20的液体介质18经过第二加热装置35。<