专利名称：微射流系统中的微射流部件的实现的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于在微射流级下处理流体样品的微射流系 统。更具体地说，本发明涉及一种用于在微射流系统中实现微射流 功能的系统和方法。
背景技术：
微射流器件和系统提供了执行化学、生物化学和生物学分析和 合成的改进的方法。微射流器件和系统允许在芯片基微化学分析系 统中执行多步骤、多类型的化学操作。芯片基微射流系统通常包括 传统的"微射流"元件，其尤其能够处理和分析化学和生物学样本。 通常来说，本领域中的用语"微射流"是指具有通过通道相连的处 理节点、腔室和储槽的网络的系统或器件，其中这些通道的典型截 面尺寸处于约1.0微米到约500微米的范围内。在本领域中，具有这 些截面尺寸的通道称为"微通道"。
在化学、生物医学、生物科学和制药行业中，以高度并行的方 式执行大量的化学操作如反应、分离和后续检测步骤已经变得是迫 切需要的。(生物)化合物的高产量的合成、筛选和分析使得能够 经济地发现新的药物和候选药物，并且能实现复杂的医疗诊断设备。
对于在这些应用中所需的化学操作的改进而言，重要的是提高速度， 增强可再现性，降低昂贵样品和试剂的消耗，并且减少材料的浪费。
在生物技术尤其是细胞学和药品筛选的领域中，需要有高产量 的粒子过滤。需要过滤的粒子的例子有各类细胞，例如血小板、白 血球、肿瘤细胞和胚细胞等。在细胞学的领域中这些粒子尤其引人 关注。其它粒子有(大)分子种类，例如蛋白质、酶和多聚核苷酸。 在新药开发期间的药物筛选的领域中，这类粒子尤其引人关注。
发明内容
本发明提供了 一种用于将微射流部件集成到微射流系统中以便 使微射流系统可执行选定的微射流功能的系统和方法。本发明使用 了包括有可执行微射流功能的微射流元件的封盖模块。该封盖模块 堆叠在具有微射流管道的微射流衬底上，以便将微射流功能集成到 系统中。
根据本发明的第一方面，提供了一种微射流系统，其包括形 成于村底中的第 一微通道；将所述第 一微通道与所述衬底的表面相 连的第一连通端口 ；以及具有用于执行微射流功能的微射流元件的 封盖模块，其中，所述封盖模块可堆叠在所述衬底上并设置成与所 述微通道连通，从而将所述微射流功能引入到所述微射流系统中。
根据本发明的第二方面，提供了 一种用于微射流系统的封盖模 块，其包括衬底；以及设于所述衬底上的用于执行微射流功能的 微射流元件，其中所述封盖模块可堆叠在其中形成有微通道的微射 流系统上，使得所述微射流元件设置成与所述微通道连通，从而将 所述微射流功能引入到所述微射流系统中。
根据一个方面，本发明提供了一种微射流芯片中的微过滤系统， 其用于将经过毛细尺寸的封闭通道系统的物质如化合物分离成不同 的组分。本发明的过滤系统提供了过滤模块，其可以较低的成本来 装配，同时能提供每单位时间过滤较大量化合物的精确手段。微过
滤系统将传统的薄膜过滤技术集成到由玻璃、塑料或其它适当材料 形成的微射流系统中。微制造的过滤系统可包括设计用于插入到标 准的微射流系统中以提供片上过滤的子系统。 一 个示例性的过滤系 统包括被薄膜分隔开的两条流动路径，薄膜通过尺寸判定分离出了 流经笫 一 流动路径的物质。在薄膜的两侧形成有与流动路径相通的 储槽。在薄膜上连接了微制造的盖子，从而限定了薄膜上方的储槽。
根据另 一 方面，可釆用其中形成有电磁阀部件的封盖结构来将 电磁阀集成到微射流系统中。电磁阀部件包括用于选择性地阻挡经 过衬底中的一个或多个连通端口的流动的薄膜，以及用于控制薄膜 位置的促动组件。
图1显示了微射流系统，其包括有用于将微射流功能集成到微 射流系统中的封盖结构。
图2显示了适用于包括有根据本发明一个示例性实施例的微过 滤系统的诊断微射流芯片。
图3是根据本发明一个示例性实施例的图2所示芯片中的微过
滤系统的透视截面图。
图4是图3所示微过滤系统上的薄膜的详细视图。 图5显示了图3所示微过滤系统的微制造的盖子。 图6是图3所示微过滤系统的顶视图。
图7是在装配微过滤系统之前的图2所示诊断芯片的顶视图。 图8是在装配微过滤系统之后的图2所示诊断芯片的顶视图。 图9a是根据本发明 一个备选实施例的两端口式直接微过滤系统 的顶-见图。
图9b是图9a所示微过滤系统的透视截面图。 图10a是根据本发明一个备选实施例的三端口式直接微过滤系 统的顶视图。
图10b是图10a所示微过滤系统的透视截面图，其中微制造的 盖子被取下。
图11显示了根据本发明一个实施例的结合到微射流系统中的电 磁阀。
具体实施例方式
本发明提供了 一种用于允许对样品进行片上过滤、净化或分离 的微制造的过滤系统。微制造的过滤系统可用在许多种应用中，包 括但不限于血液分离和过滤、微量渗析、需要过滤或渗析子系统的 微化学分析和合成应用，以及其它微射流应用。在下文中将针对一 个示例性实施例来描述本发明。本领域的技术人员可以理解，本发 明可在多种不同的应用和实施例中实施，并且不能将其应用具体地 限制在本文所述的特定实施例中。
本文所使用的用语"微射流的"指一种用于装卸、处理、喷出 和/或分析流体样品的包括有至少一个具有微量尺寸的通道的系统或 器件。
本文所使用的用语"通道"和"流动通道"指一种形成或贯穿 于介质中并允许流体如液体和气体运动的路径。微射流系统中的通 道优选具有处于约1.0微米到约500微米范围内的截面尺寸，其更理 想地处于约25微米到约250微米的范围内，最好处于约50微米到 约150微米的范围内。本领域的普通技术人员具备确定流动通道的 合适体积和长度的能力。这些范围包括上述值作为上限或下限。流 动通道可具有任何选定的形状或设置，它们的例子包括线性或非线 性的构造，以及U形构造。
本文所使用的用语"微射流元件"指用于执行微射流功能的微 射流系统中的部件，其包括但不限于-波动止回阀、主动阀、压力 传感器、连接通道、薄膜过滤单元、用于外部连接管的螺紋塞、压 缩腔、泵，以及本领域的普通技术人员已知的其它部件。
本文所使用的用语"薄膜"或"过滤器"指可用来通过尺寸排 除或其它措施来分离或过滤物质的任何适当成分和大小的材料。
本文所使用的用语"村底"指其中形成有用来传送流体的通道 的支撑结构。
本文所使用的用语"盖子"或"封盖模块"指一种具有与衬底 相同大小或稍'J、 一些的尺寸、具有由任何选定材料形成的任何选定 尺寸或形状并且具有微射流元件的结构。封盖模块构造成堆叠在衬 底上或可与之通信，从而完全地或部分地完成流体路径。
本文所使用的用语"物质"指用在微射流工艺中的任何材料， 包括但不限于化合物、分子、病毒、细胞、粒子、珠粒、緩冲剂， 或者任何其它可用在微射流工艺中的材料。
本文所使用的用语"微射流功能"指对微射流系统中的流体或
样品执行或施加的任何操作、功能或工艺，包括但不限于过滤、 渗析、泵送、流体流动调节、控制流体流量等。
本文所使用的用语"端口"指可在两个元件之间提供流体连通 的结构。
本文所使用的用语"泵"指用于吸入和排出流体的装置，其可 具有不同的尺寸，包括微量尺寸，这里称为"微泵"。
本发明允许采用具有可执行微射流功能的微射流元件的封盖模 块来将不同的微射流功能实现在微射流芯片中。如图1所示，适于 实现本发明一个实施例的微射流芯片lO包括衬底ll，其具有一个或 多个设于其中的显示为微通道的流动通道3。流动通道可传送流体经 过微射流系统10,以便对流体样品进行处理、装卸和/或执行任何其 它合适的操作。微射流系统10可包括任何适当数量的用来传送流体 经过微射流系统10的流动通道3。
如图1所示，流动通道3形成于衬底11中，并可经由一个或多 个连通端口 13a,13b与衬底表面相连。在衬底11上设有封盖模块15 以形成封闭的流体路径，该封盖模块包括用于执行微射流功能的微
射流元件18,例如过滤器、 一个或多个阀、压力传感器或其它部件。 根据一个备选实施例，封盖模块可包括用于再次引导流体流经另一 结构周围的微通道的连接通道。该示例性衬底11包括两个连通端口
13a,13b,各端口将流动通道3的不相连部分3a,3b与衬底表面相连， 然而本领域的技术人员可以认识到，可在连通端口和流动通道的大 小、数量和结构方面进行修改。
该示例性封盖模块15可包括与衬底的连通端口交界的连接端 口 ，和/或用来在第 一连接端口和第二连接端口之间提供射流路径的 腔12或通道。本领域的技术人员可以认识到，封盖模块可具有其它 的结构，并不限于图1所示的实施例。
采用封盖冲莫块15就可将例如过滤、渗析、泵送、流动控制等微 射流功能集成到微射流系统10中，不需要对衬底11进行显著的改 进。包括有任何数量或设置的用来传送流体的导管或通道3的衬底 可变换成功能性射流回路，这是通过选择一个或多个带有功能性微 射流元件18的封盖模块15并将其设置在村底即芯片上来实现的。 根据一个示例性实施例，可采用与用来制造集成电路的相同的自动 化"拾放(pick and place)"表面安装设备技术并利用各种封盖结构来 在具有微通道的村底上形成射流回路。适当的拾放设备例如可以由 Manncorp, Inc.(Huntingdon Valley, PA)制造。
为了制造射流回路，衬底11中的通道3可由芯片微制造技术来 制造。通道或管道可这样来制出，即在第一衬底中蚀刻出半通道， 然后粘合和/或层压第二村底以封闭这些半通道，从而形成微通道。 如果需要更复杂的射流网络的话，衬底可由含有蚀刻通道的一层或 多层形成。然后可在衬底中制出连通端口 ，以便将微通道与衬底的 外表面相连。用于制造连通端口的适当技术包括钻孔、激光蚀刻、 粉末爆破或本领域中已知的其它技术。在制造了衬底和连通端口之 后，将具有所需功能性的封盖模块粘合到村底上，形成较大微射流 回路中的微射流部件。
可将不同数量和尺寸的封盖模块粘合到衬底上，以便施加各种 微射流功能而形成微射流系统。封盖模块可被取下和更换，以便能 够重新使用衬底。
根据一个示例性实施例，封盖模块具有处于约1毫米到约5厘 米之间的截面尺寸，然而本领域的技术人员可以认识到，本发明并 不限于这一范围。封盖模块可由任何适当的材料形成，包括但不限 于塑料、玻璃、硅和本领域已知的其它材料。
图2显示了可根据本发明的内容而制出的一个示例性微射流诊 断芯片的体系结构。诊断芯片20可包括一个或多个微射流部件，其 可单独地或组合起来地构造成能够促进样品的处理。例如如图所示， 诊断芯片20包括微过滤系统100，其可分离溶液中的物质，例如从 细胞或悬浮液中分离出选定的粒子或其它粒子。诊断芯片20还可包 括一个或多个用于存储和供应样品、试剂或其它化合物给系统的储 槽90,以及一个或多个用于聚集样品废液的废液储槽91。诊断芯片 还可包括一个或多个测定用量、混合和培育部件，例如片上样品稀 释系统，其用于处理样品，例如执行特定量样品和试剂的混合。例 如该示例性系统包括混合部件60和培育区域61 。芯片还可包括用于 分析来自微过滤系统100中的滤后物的检测器70。检测器70可利用 任何适当的检测手段，包括但不限于荧光、电化学分析、介电电泳、 表面血浆共振(SPR)、射频、热分析及其组合。芯片IO可采用用来选 择性控制经过通道的流体流量的阀，以及一个或多个设置在芯片上 或芯片外的用来驱动流体运动经过芯片上的通道3的驱动单元。本 领域的技术人员可以认识到，微射流系统并不限于图2所示的诊断 芯片，根据本发明，可以对各种微射流部件的结构、位置、数量和 组合进^^fi务改。
本发明的微过滤系统100利用封盖模块将传统的薄膜过滤技术 集成到微射流芯片中。过滤系统可插入到现有的微射流芯片中，以 便对悬浮液中的粒子、细胞或其它物质进行过滤，不需要对芯片结
构进行显著的或成本昂贵的改进。
图3、 4和6显示了根据本发明一个实施例的适用于实现在图2 所示微射流系统中的微制造的过滤子系统100。图5显示了用来制造 根据本发明一个实施例的过滤系统100的封盖模块15。过滤子系统 用来通过薄膜110分离物质，例如包含有粒子和流体的混合物的样 品，并之后收集被分离出来的组分。根据一个示例性实施例，采用 过滤子系统来从血浆中分离血细胞，然而本领域的技术人员可以认 识到，本发明还包括有其它应用。根据其它的应用，可采用该过滤 系统来从细胞中分离病毒，从细胞中分离珠粒，以及分离化合物、 分子或其它可用薄膜来分离的物质。如图所示，过滤子系统100直 接形成在微射流芯片上，从而为芯片增添了过滤性能，而不要求进 行显著的或成本昂贵的改进。
过滤子系统100利用传统的薄膜过滤器110来在衬底11中分离 出两个流动路径，以便提供样品的微小体积控制过滤。该示例性过 滤系统是四端口式横向过滤器，其包括用来向过滤系统提供物质、 例如粒子和流体的混合物的第一流体流动路径120，以及用来接受和 传送来自过滤系统的滤后物(即滤液)的第二流体流动路径130。第 一流体流动路径120包括第一连通端口，其显示为在第一入口 121a 处与过滤系统相交的第一入口通道121。第一流体流动路径120包括 第二连通端口，其显示为第一出口通道122,它包括源于过滤腔的出 口 122a，用来接受和传送来自过滤系统的保留物质。第二流体流动 i 各径包括在第二入口处与薄膜110下方的过滤腔相交的入口通道 131，以及用来传送来自过滤系统的滤后物的第二出口通道132。第 二流体流动路径130可包括用来传送滤后物的载流流体。流体源驱 动混合物流经过滤系统，以实现经过薄膜的组分分离。流体源可包 括芯片外部的注射泵、微制造的蠕动泵、微制造的注射器，或者本 领域已知的任何适当的流体源，例如在题为"微射流系统和部件" 的美国临时专利申请No.60/391868 (代理人档案号CVZ-019-2 )中所述的那些流体源，该申请的内容通过引用结合于本文中。
该示例性微制造的过滤系统100具有较小的底面积(小于约1 平方毫米)，导致了紧凑的结构、较低的成本和相对简单的制造。 该粒子分离器还提供了具有很少或没有堵塞的相对较低的变形率。 如果需要的话，所保持的流体量可以很大，另外如果需要的话，该 设计可针对额外的分析步骤按比例缩放和重复。
本发明的过滤子系统可通过提供包括有两个流动通道120,130的 相交部分101的微射流芯片来形成。装配工艺仅为集成批量制出的 部件，其相对简单，并且可在大容量下实现低成本。根据一个示例 性实施例，芯片形成有在相交部分101处与第二流动路径130相通 的凹槽140。第一流动路径120最初通过凹槽140被分离或分开。采 用适当的粘合剂或其它适当的连接机构来将适当的薄膜110附着在 微射流芯片上，以便覆盖凹槽，从而在薄膜的下方形成了用来容纳 滤后物并传送滤后物经过第二流动路径130的储槽。该薄膜可包括 本领域已知的任何适当的过滤薄膜。
图5所示的该示例性微制造的封盖模块15固定在薄膜110的上 方，从而形成了一个与第一流动路径120相通的过滤腔161。盖子15 可采用适当的粘合剂或其它适当的连接机构来连接。该示例性封盖 模块15包括与过滤腔连通的入口 162和出口 163，以便将第一流动 路径120与过滤腔161相连，并实现待过滤组合物经由薄膜上方的 过滤腔的流动。或者，薄膜110直接固定在封盖冲莫块15上，而封盖 模块连接在衬底上，从而将过滤系统集成在村底上。本领域的技术 人员可以认识到，封盖^t块并不限于该示例性实施例，可根据本发 明的内容而进行变更。
图7显示了微射流系统10，其包括在装配具有薄膜110的封盖 模块15之前便形成于其中的通道3。图8是具备过滤性能的封盖式 微射流系统10的顶视图。
待过滤组合物从入口通道引入到过滤子系统中，并进入过滤腔
中和薄膜110之上。物质的组分被薄膜110所分离，较小的组分如 血浆流经薄膜进入到凹槽140中，并流经第二流动路径130。其余部 分如血细胞流经过滤腔而到达第一流动路径120的出口 。
根据该示例性实施例，微射流芯片的衬底可由玻璃、塑料、硅、 石英、陶瓷或任何其它适当的材料形成。在由玻璃制成的微射流芯 片中，芯片可包括两层，即芯片和固定到芯片上以形成过滤子系统 的盖子。在由塑料形成的微射流芯片中，这些部件可压制到塑料衬 底中。
如图9a和9b所示，根据一个备选实施例，微过滤子系统可包括 双端口式直接过滤器180，其包括插入到流体流动路径181中的薄膜 110。如图所示，双端口式直接过滤器包括形成在微射流衬底中的流 体流动路径181，其被分成两个部分181a,181b。第二部分181b形成 了凹槽186，薄膜110粘附在凹槽上，形成了用于接受滤后物的过滤 腔。包括形成了过滤腔的凹槽186的微制造的盖子15在薄膜的上方 连接到衬底上，以便与流动路径181相连。待过滤物质经由流体流 动路径181传送到过滤腔中，并且流经薄膜110。薄膜110通过捕集 较大的分子来分离物质，由剩余分子构成的滤后物沿着流体流动路 径181流经薄膜并进入到凹槽182中，并且流出微过滤系统以供进 一步的分析、处理和收集等。
如图10a和10b所示，根据另一实施例，微过滤系统可包括三端 口式直接过滤器190。该三端口式直接过滤器190包括用来将两种样 品输入到过滤腔195中的两个入口流动通道191,192,以及用来将滤 后物传送出过滤器190的一个出口通道193。该三端口式直接过滤器 包括限定了过滤腔的微制造的盖子15，以及将过滤腔与出口通道193 分开的薄膜110。在操作中，经由入口通道191,192提供两种样品。 样品在过滤腔195中混合在一起，样品混合物经薄膜过滤，该薄膜 可分离样品混合物的组分。流经薄膜的滤后物被传送通过出口通道， 以用于进一步的处理、分析和收集等。
薄膜分离领域的技术人员可以认识到，这里所述的过滤系统可 用来实现所有类型的包括薄膜的片上分离，其包括通过大小来分离 分子，或者从分子中分离出珠粒，或者从大粒子中分离出小粒子， 或者从细胞中分离出病毒，或者用来实现本领域的技术人员所知的 其它分离。
根据本发明的另一实施例，可采用封盖模块15来将电磁阀结合 到微射流系统中。在图11中显示了用于根据本发明的内容在微射流 系统中实现的容纳于封盖结构中的电磁阀的 一 个例子。如图所示，
电磁;漠块150包括盖子15，其形成了内腔151、用来选择性地堵塞 经由村底中的一个或两个连通端口的流动的薄膜154，以及用于使薄 膜154偏转的促动组件160。根据该示例性实施例，促动组件包括线 圈162和磁体164。本领域的技术人员可以认识到，可以使用其它可 使薄膜偏转的适当装置，包括压电执行机构。
电磁封盖模块110可堆叠在衬底11上，使得薄膜在偏转时能够 阻塞连通端口 13a,13b中的一个或多个。因此，电^f兹封盖冲莫块110集 成了用于选择性地阻塞经过通道3到微射流流动路径中的流动的阀。 如上所述，电磁封盖模块可通过使用自动化的"拾放"设备或者本 领域已知的任何适当装置而安放在衬底上。
本领域的技术人员可以认识到，封盖模块不限于该示例性实施 例，可釆用其它元件来增添其它的微射流功能，作为过滤和流量控 制的附加或替代。
本发明的微过滤系统可有利地结合具备微制造/微结构的微射流 系统中所固有的小体积动态流量控制的传统薄膜技术的功能和范 围。本发明提供了将任何适当的聚合物薄膜与微射流网络的成本效 率合算的混合。该微过滤系统增设到微射流系统上是简单且成本较 低的，这是因为将微过滤系统装配到微射流芯片中的额外成本对于 微射流系统本身的成本来说相对较低。
根据本发明的微射流系统可单独地或与其它部件相结合地包括
有一个或多个上述部件。
在上文中已经针对一个示例性实施例来描述了本发明。由于可 在不脱离本发明范围的前提下对上述结构进行一定的变更，因此包 含在上述描述中或显示于附图中的所有上述内容均应被解释为示例 性的，不具备限制性意义。
应当理解，下述权利要求覆盖了这里所述发明的所有通用的和 具体的特征，本发明范围的所有陈述在语言上均属于其中。
权利要求
1.一种微射流系统，包括形成于衬底中的第一微通道；将所述第一微通道与所述衬底的表面相连的第一连通端口；和具有用于执行微射流功能的微射流元件的封盖模块，其中，所述封盖模块可堆叠在所述衬底上并设置成与所述微通道连通，从而将所述微射流功能引入到所述微射流系统中。
2. 根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括将 第二微通道与所述衬底的表面相连的第二连通端口 。
3. 根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述封盖才莫块包括 用来将所述第一微通道与所述第二微通道相连的腔。
4. 根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述微射流元件包 括薄膜。
5. 根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述微射流元件包 括用于调节经过所迷微通道的流体流量的阀、压力传感器和微射流泵 中的一个。
6. 根据权利要求l所述的系统，其特征在于，所述封盖模块与所 述衬底相粘合，从而将所述微射流功能集成到所述微射流系统中。
7. 根据权利要求l所述的系统，其特征在于，所述封盖模块的截 面尺寸处于约1毫米到约5厘米之间。
8. 根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述封盖才莫块还包 括用于选择性地阻塞所述连通端口的薄膜，以及用于控制所述薄膜的 位置的促动组件。
9. 根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述封盖才莫块具有 凹槽和覆盖了所述凹槽以形成腔的薄膜，所述封盖可装配在所述衬底 上，使得所述薄膜覆盖了所述第一连通端口。
10. 根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述封盖模块包括用于将物质分离成第 一和第二组分的薄膜；用于传送所述物质的第一流动路径；设置在所述薄膜之上并与所述第一流动路径连通以接受所述物质 的第一储槽。
11. 根据权利要求IO所述的系统，其特征在于，所述衬底形成了用于接受所述物质的第二组分的第二流动if各径，并且所述衬底还形成 了设置在所述薄膜之下的第二储槽，用于在所述封盖模块堆叠在所述衬底上时4^受所述物质的第一组分。
12. 根据权利要求11所述的系统，其特征在于，所述系统还包括与所述第 一流动路径连通以引入所述物质中的流动的第 一流体源。
13. 根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述衬底具有多 个形成于其中的微通道，其中各微通道包括一个或多个用来将所述微 通道与所述衬底的表面相连的连通端口 。
14. 根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括 多个微射流的封盖沖莫块，各所述封盖才莫块具有与之相关的用于执行耀: 射流功能的微射流元件， 一个或多个所述微射流的封盖模块用于放置 在所述衬底上并与一个或多个微通道流体连通，以便将所述相关的微 射流功能结合到所述系统中。
15. —种用于微射流系统的封盖模块，包括 衬底；禾口设于所述衬底上的用于执行微射流功能的纟效射流元件，其中所述 封盖冲莫块可堆叠在其中形成有微通道的微射流系统上，使得所述微射 流元件设置成与所述微通道连通，从而将所述微射流功能引入到所述 微射流系统中。
16. 根据权利要求15所述的封盖模块，其特征在于，所述封盖模 块还包括形成在所述衬底中的腔，所述腔设置成在所述封盖^f莫块堆叠 在所述微射流系统上时与所述微通道流体连通。
17. 根据权利要求15所述的封盖沖莫块元件包括薄膜。
18. 根据权利要求15所述的封盖沖莫块 元件包括阀。
19. 根据权利要求15所述的封盖一莫块 元件包括压力传感器。
20. 根据权利要求15所述的封盖模块 元件包括微射流泵。其特征在于，所述《敬射流 其特征在于，所述微射流 其特征在于，所述微射流 其特征在于，所述微射流
全文摘要
一种用于将微射流部件集成到微射流系统中的系统和方法，其可使该微射流系统执行选定的微射流功能。封盖模块包括用于执行微射流功能的微射流元件。封盖模块堆叠在具有微射流管道的微射流衬底上，从而将该微射流功能结合到该系统中。
文档编号B01L99/00GK101199917SQ20071012802
公开日2008年6月18日 申请日期2003年9月9日 优先权日2002年9月9日
发明者J·R·吉尔伯特, M·德什潘德 申请人:塞通诺米公司