专利名称：一种半导体钝化用玻璃料的卧式混料装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体钝化用玻璃料的卧式混料装置。
背景技术：
半导体器件的钝化是保证器件能长时间正常稳定工作的关键技术之一，通过在半导体器件表面覆盖保护介质膜，长期阻止有害杂质对器件表面的沾污，来保证半导体器件的性能的稳定性和可靠性。半导体钝化常用溶剂是玻璃料，玻璃料是一种带有腐蚀性的溶剂。但半导体钝化工艺有很特殊的严格要求，要求此玻璃料溶剂必须具有高清洁度，高均匀性。现在工业生产中常用的混料方法为超声波混料和立式混胶机混料。超声波混料虽然在过去的一段时间在 工业领域被广泛应用，但其缺点还是显而易见的。超声搅拌无法将各溶剂均匀的混合在一起，溶剂容易受到外界的污染，燥音大，单次量小，效率较低，已经无法满足当前工业生产的要求。现有的立式混胶机以底座为中心点传动，混料过程中，易造成内部混合物的分离，使上下两部分料液浓稀度不一致，均匀性差。且其传动速率过快，不适合长时间使用。也不能满足当前工业生产中长时间、高效率稳定生产的要求。因此在半导体钝化工艺中，对现有的溶剂混料技术作出相应的改进，确保低成本，以达到工业大规模生产的要求是必要的。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题，就是针对目前半导体钝化工艺中料液混料所存在的不足，而提供的一种半导体钝化用玻璃料的卧式混料装置技术方案，该方案使料液混合均匀性好，无污染，可长时间连续工作，且燥音低，制作成本低，操作简单。本实用新型方案是通过如下技术措施来实现的一种半导体钝化用玻璃料的卧式混料装置，包括支架、料罐和传动系统，所述支架上方横向安装转动轴承，下方安装传动马达，轴承中只有一根轴承由传动马达驱动，其余轴承由料罐传动，且每根轴承都套有橡胶皮保护套，轴承与轴承之间不接触，间距小于料罐罐体直径。马达上设置有速度控制器，控制转速。料罐横放在传动轴承间。进一步来说，以上所述的支架上安装轴承的数量至少为两根，两根时，由马达驱动的轴承为任意一根，多于两根时，为最两边轴承中间的一根。要求支架能承载大约3 7KG左右的重量，轴承可以承受长时间的摩擦与热量，马达能够承受长时间的转动。本实用新型采用以一个马达带动一个轴承转动的方式，由轴承间料罐为媒介来转动另外一根轴承，达到单一控制，多个工作的效果，在很大程度的提高工作效率。且料罐卧式转动的方式可以更有效的将罐内的料液均匀的混合在一起，避免了立式混胶的分层。并且采用单一的轴承转动，可以减少轴承的承受能力，可以有效的节省能源，提高设备的使用时间，达到长时间连续工作的目的。本实用新型装置混料时，是将料液放置于特定的配料罐内密闭，混料时只做被转物体的外部接触、转动，不会对被转物体内部料液造成污染，确保了料液的洁净。另外，本实用新型所述装置中，将轴承上套上耐磨的橡胶皮保护套，控制好轴承与轴承之间的距离，可以有效减少燥音，缓解由摩擦造成的轴承的磨损。并且可以一次性多罐同时操作，也可以单次单罐操作，单罐多量也能将料液均匀的混合好，解决了超声的缺点。最后本实用新型装置最大程度上简化了设备的控制，操作起来简便，且设备制作简单，维修方面，使用简洁，成本低，便于推广应用。本方案的有益效果可根据对上述方案的叙述得知，由于在该方案中。由此可见，本实用新型与现有技术相比，具有实质性特点和进步，其实施的有益效果也是显而易见的。
·[0015]图I为本实用新型所述半导体钝化用玻璃料的卧式混料装置结构简图图中I为支架，2为传动马达,3为驱动轴承,4为传动轴承,5为料罐。
具体实施方式
为能清楚说明本实用新型的技术特点，下面通过具体实施方式
，并结合其附图，对本实用新型进行进一步阐述。参考附图，半导体钝化用玻璃料的卧式混料装置包括支架I、料罐5和传动系统，所述支架能承载大约在3 7KG左右的重量，上方横向安装可以承受长时间的摩擦与热量的轴承，下方安装一个能够承受长时间转动的传动马达2，轴承中只有一根轴承由传动马达驱动，为驱动轴承3，其余轴承由料罐传动，为传动轴承4。且每根轴承都套有橡胶皮保护套，轴承与轴承之间不接触，间距小于料罐罐体5直径。马达2上设置有速度控制器，控制并调节转速。料罐5横放在传动轴承间。进一步来说，以上所述的支架上安装轴承的数量至少为两根，两根时，由马达2驱动的轴承为任意一根，多于两根时，为最两边轴承中间的一根。本实用新型装置工作时，将规定的一定比例的各溶剂料液放置于特定的配料罐内密闭，要求不能有任何渗漏。将配料罐放置在支架上方的轴承间，开马达，调节转速，驱动轴承的机械力转动的时候带动罐体本身，再由罐体本身的转动带动旁边的传动轴承，以此来带动相邻的罐体的转动，这样一台设备只需要配备一台马达，靠马达带动一个轴承的转动，通过力传力，可以转动多根轴承的转动。本实用新型可以一次性多罐同时操作，也可以单次单罐操作，操作起来简便，工作效率高。
权利要求1.一种半导体钝化用玻璃料的卧式混料装置，包括支架、料罐和传动系统，其特征是所述支架上方横向安装转动轴承，下方安装传动马达，只有一根轴承由传动马达驱动，其余轴承由料te传动，料te在传动轴承间横向放直。
2.根据权利要求I所述的卧式混料装置，其特征在于轴承与轴承之间不接触，间距小于料罐罐体直径。
3.根据权利要求I所述的卧式混料装置，其特征在于所述支架上安装轴承的数量至少为两根，两根时，由马达驱动的轴承为任意一根，多于两根时，为最两边轴承中间的一根。
4.根据权利要求I所述的卧式混料装置，其特征在于马达上设置有速度控制器，控制转速。
5.根据权利要求I或2所述的卧式混料装置，其特征在于每根轴承都套有橡胶皮保护套。
专利摘要一种半导体钝化用玻璃料的卧式混料装置，包括支架、料罐和传动系统，其特征是所述支架上方横向安装转动轴承，下方安装传动马达，只有一根轴承由传动马达驱动，其余轴承由料罐传动，料罐在传动轴承间横向放置。轴承与轴承之间不接触，间距小于料罐罐体直径，马达上设置有速度控制器，控制转速。该装置使料液混合均匀性好，无污染，可长时间连续工作，且燥音低，制作成本低，操作简单。
文档编号B01F9/02GK202725087SQ201220471528
公开日2013年2月13日 申请日期2012年9月17日 优先权日2012年9月17日
发明者陈思太, 盛春芳, 周涛 申请人:淄博晨启电子有限公司