1.一种组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，包括：
本体，其中空的内部设有超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，所述超声波/兆声波发生机构设有若干压电材料，各所述压电材料具有不同的固有频率，并均匀组合在一起形成整体，所述压电材料连接本体外的信号源，所述底部石英部件设有由多个垂直棒状石英结构组成的石英微共振腔阵列，所述石英微共振腔阵列自所述本体下端面的开口伸出；
超声波/兆声波频率控制单元，连接设于信号源和压电材料之间，用于控制将形成的与各压电材料固有频率一一对应的信号源输出电信号随机导入对应的各压电材料；
其中，所述压电材料接收电信号产生超声波能量，经底部石英部件向下传导，并经石英微共振腔阵列的选择性去除后，通过没入图形晶圆上清洗药液中的所述石英微共振腔阵列的下端面垂直传导至图形晶圆表面，带动清洗药液振荡，以进行超声波/兆声波移动清洗，同时，通过所述超声波/兆声波频率控制单元将不同频率的电信号随机导入对应的压电材料，使超声波/兆声波发生机构产生的超声波/兆声波振动频率动态变化，以防止在清洗药液中产生稳定的干涉作用及气泡破裂现象。
2.根据权利要求1所述的组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，所述超声波/兆声波频率控制单元包括一个信号通道选择开关器，所述信号通道选择开关器设于数量相等的若干信号源和压电材料之间，每个信号源分别对应一个与其输出电信号频率一致的压电材料，所述信号通道选择开关器在每一时刻仅开通一路信号源与对应压电材料之间的连接，并随机切换不同的信号源与对应压电材料连接通道的开关，使超声波/兆声波发生机构产生的超声波/兆声波振动频率动态变化。
3.根据权利要求1所述的组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，所述超声波/兆声波频率控制单元包括依次设于信号源和若干压电材料之间的一个变频器和一个通道选择器，通过所述变频器改变信号源输出的电信号频率，以输出若干不同频率的电信号，并与各压电材料的固有频率一一对应，所述通道选择器根据变频器随机输出的电信号频率，打开对应频率压电材料的连接通道开关，使超声波/兆声波发生机构产生的超声波/兆声波振动频率动态变化。
4.根据权利要求1所述的组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，所述本体具体包括：
上、下壳体，其连接形成本体的中空密封腔，所述密封腔在下壳体的下端面形成开口；
超声波/兆声波发生机构，设于密封腔内，包括上下紧贴设置的压电材料和耦合层，所述耦合层下部紧贴底部石英部件上部，所述压电材料、耦合层和底部石英部件通过在上壳体顶部与压电材料之间依次所设的压紧弹簧和压紧弹簧导向柱进行压紧，所述耦合层侧部、压电材料侧部和顶部与密封腔内壁之间具有间隙，所述上壳体装有压电材料接线柱，用于将外部电信号导入至压电材料，并通过连接耦合层接线柱形成回路，以产生超声波/兆声波振荡能量；
底部石英部件，设于密封腔内，包括一形成向下开口凹槽的环状石英微共振腔保护圈，以及一个上端连接设于凹槽底部、下端为自由端的石英微共振腔阵列，所述环状石英微共振腔保护圈上部紧贴耦合层下部，其侧部与密封腔位于下壳体部分的内壁之间密封连接，其凹槽下端由下壳体下端面的开口伸出，所述石英微共振腔阵列的下端面不高于凹槽的下端面。
5.根据权利要求4所述的组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，所述上壳体设有气体入口和出口，其连通由密封腔内壁和超声波/兆声波发生机构外壁组成的冷却腔，用于通过气体入口通入冷却气体，对超声波/兆声波发生机构进行冷却，并由气体出口排出。
6.根据权利要求4所述的组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，所述下壳体侧部连通设有保护气体入口和出口，所述保护气体出口为一圈下倾的气孔或狭缝，用作通过保护气体入口通入保护气体，并由保护气体出口喷出，以在图形晶圆表面形成一个气体保护层。
7.根据权利要求4所述的组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，所述上壳体设有气体入口，所述下壳体侧部设有气体出口，所述气体出口为一圈下倾的气孔或狭缝，所述气体入口和出口连通由密封腔内壁和超声波/兆声波发生机构外壁组成的冷却腔，用于通过气体入口通入冷却气体，对超声波/兆声波发生机构进行冷却，并在通过气体出口倾斜向下排出的同时，在图形晶圆表面形成一个气体保护层。
8.根据权利要求4所述的组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，所述环状石英微共振腔保护圈的凹槽侧壁设有一至若干开孔，用于使清洗药液自由进出石英微共振腔阵列与图形晶圆表面之间的间隙。
9.根据权利要求4所述的组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，所述石英微共振腔阵列棒状石英结构的形状包括圆形、三角形、五边形或长方形，各棒状石英结构按照一定的规则分布，或者按照随机方式分布。
10.根据权利要求4所述的组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，所述本体以及超声波/兆声波发生机构、底部石英部件的轮廓为扇形、三角形、五边形或者是长条形。