技术总结
本发明公开了一种组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，包括本体和超声波/兆声波频率控制单元，本体内设有超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，超声波/兆声波发生机构设有若干具有不同固有频率并组合为整体的压电材料，底部石英部件设有石英微共振腔阵列，石英微共振腔阵列自本体下端面的开口伸出，超声波/兆声波频率控制单元连接在信号源和压电材料之间，可通过石英微共振腔阵列对传播方向与晶圆表面方向不垂直的超声波/兆声波能量进行选择性去除，并通过超声波/兆声波频率控制单元将不同频率的电信号随机导入对应的压电材料，使超声波/兆声波发生机构产生的超声波/兆声波振动频率动态变化，实现对图形晶圆的无损伤清洗。
技术研发人员：滕宇;黄金涛;吴仪
受保护的技术使用者：北京七星华创电子股份有限公司
文档号码：201610739227
技术研发日：2016.08.26
技术公布日：2017.01.04