多喷头装置的制作方法

本发明涉及一种多喷头装置，特别是涉及一种用以清洗例如为半导体晶圆之基板的多喷头装置。

背景技术：

半导体晶圆在制造过程中会经过多道不同的制程，晶圆经过每道制程的加工后，晶圆表面会残留有例如为化学药剂的残留物，因此，在清洗制程中需通过喷头对晶圆喷洒清洗液，以去除晶圆上的残留物。

然而，现有清洗制程中通常是通过单一个喷头对晶圆进行清洗，因此，清洗时的速度慢导致效率差，且清洗效果也不佳。

技术实现要素：

本发明的主要目的，在于提供一种多喷头装置，借由结合总成的设计，能选择性地组装结合所需数量的喷头，并且能选择性地将喷头固定在一所需的喷洒角度，同时，多个喷头也可搭配相同或不同的喷洗压力，借此能提升清洗速度、效率以及清洗效果。

本发明的目的及解决背景技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本发明提出的多喷头装置包含一结合总成，及至少两个喷头，该结合总成包括一结合立板，该结合立板平行于一直立方向，该结合立板包含有多个相间隔排列的结合点，所述结合点沿该直立方向共平面，每一个喷头可选择性地结合在所述结合点中的两个结合点上，且每一个喷头可拆卸地结合于该两结合点，借此，使得每一个喷头能固定在该结合立板并定位在一所需的喷洒角度位置。

该结合立板还包含一立面，该两喷头分别抵靠于该立面。

每一个喷头包括多个相间隔排列的锁固点，所述锁固点的其中两个锁固点与该两结合点位置对齐，该结合总成还包括多个锁固件，每一个锁固件通过对应的该结合点以锁固于与该结合点位置对齐的该锁固点。

每一个锁固点为一螺孔，每一个结合点为一穿孔，每一个锁固件为一螺丝。

该结合立板呈长形且其长向沿一垂直于该直立方向的水平方向延伸，该结合立板包含一上端，及一相反于该上端的下端，所述结合点中的一部分邻近该上端而另一部分邻近该下端。

所述结合点具有两个沿该水平方向相间隔排列且邻近该上端的上结合点，及两个沿该水平方向相间隔排列且邻近该下端的下结合点，每一个下结合点与相邻的该上结合点位在对角位置，所述锁固点具有位在对角位置的一上锁固点及一下锁固点，该上锁固点与该下锁固点分别对齐于相邻的该上结合点与该下结合点。

该结合立板界定一平行于该直立方向的中线，该两上、下结合点分别位于该中线相反侧，每一个上结合点邻近该中线而每一个下结合点远离该中线，每一个喷头定位在一第一倾斜位置。

该结合立板界定一平行于该直立方向的中线，该两上、下结合点分别位于该中线相反侧，每一个上结合点远离该中线而每一个下结合点邻近该中线，每一个喷头定位在一第二倾斜位置。

该结合立板界定一平行于该直立方向的中线，所述结合点具有两个第一上结合点、两个第二上结合点、两个第一下结合点，及两个第二下结合点，该两第一、第二上结合点沿该水平方向相间隔排列且邻近该上端，该两第一、第二上结合点分别位于该中线相反侧，且该两第二上结合点分别间隔位于该两第一上结合点外侧，该两第一、第二下结合点沿该水平方向相间隔排列且邻近该下端，该两第一、第二下结合点分别位于该中线相反侧，且该两第二下结合点分别间隔位于该两第一下结合点外侧，该结合立板界定位于该中线同一侧有一连接该第一上结合点与该第二下结合点的第一斜线，及一连接该第二上结合点与该第一下结合点的第二斜线，该第一、第二斜线相交且两者之间夹一钝角，所述锁固点具有两个沿该水平方向相间隔排列的上锁固点，及两个沿该水平方向相间隔排列且分别位于该两上锁固点下方的下锁固点，每一个喷头界定有一连接在其中一对角位置的该上锁固点与该下锁固点的第一对角线，及一连接在另一对角位置的该上锁固点与该下锁固点的第二对角线，该第一、第二对角线分别呈倾斜状且两者之间夹一直角，该第一对角线长度等于该第一斜线长度，该第二对角线长度等于该第二斜线长度。

每一个第一下结合点与该中线之间的一垂直距离小于每一个第一上结合点与该中线之间的一垂直距离，每一个第二下结合点与该中线之间的一垂直距离大于每一个第二上结合点与该中线之间的一垂直距离。

每一个喷头可选择性地将位在其中一对角位置的该上锁固点与该下锁固点分别对齐位于该中线同一侧的该第一上结合点与该第二下结合点，以定位在一第一倾斜位置，或是每一个喷头可选择性地将位在另一对角位置的该上锁固点与该下锁固点分别对齐位于该中线同一侧的该第二上结合点与该第一下结合点，以定位在一第二倾斜位置。

所述结合点还具有两个沿该水平方向相间隔排列且邻近该上端的第三上结合点，及两个沿该水平方向相间隔排列且邻近该下端的第三下结合点，该两第三上结合点分别间隔位于该两第二上结合点外侧，且每一个第三上结合点沿该直立方向上的高度低于每一个第二上结合点沿该直立方向上的高度，该两第三下结合点分别间隔位于该两第二下结合点外侧，该结合立板界定位于该中线同一侧有一连接该第二上结合点与该第三下结合点的第三斜线，及一连接该第二上结合点与该第三上结合点的第四斜线，该第三斜线平行于该第一斜线，该第一对角线长度等于该第三斜线长度，每一个喷头界定有一连接在该两个上锁固点的连接线，该连接线长度等于该第四斜线长度。

每一个喷头可选择性地将位在其中一对角位置的该上锁固点与该下锁固点分别对齐位于该中线同一侧的该第二上结合点与该第三下结合点，以定位在一第一倾斜位置，或是每一个喷头可选择性地将该两上锁固点分别对齐位于该中线同一侧的该第二上结合点与该第三上结合点，以定位在一第二倾斜位置。

该多喷头装置包含三个喷头，所述喷头分别为一中间喷头及两个外侧喷头，该中间喷头的该两上锁固点分别对齐于该两第一上结合点，每一个外侧喷头位在其中一对角位置的该上锁固点与该下锁固点分别对齐位于该中线同一侧的该第二上结合点与该第三下结合点，每一个外侧喷头定位在一第一倾斜位置。

该多喷头装置包含三个喷头，所述喷头分别为一中间喷头及两个外侧喷头，该中间喷头的该两上锁固点分别对齐于该两第一上结合点，每一个外侧喷头的该两上锁固点分别对齐位于该中线同一侧的该第二上结合点与该第三上结合点，每一个外侧喷头定位在一第二倾斜位置。

本发明的有益效果在于：借由结合总成的设计，能选择性地组装结合所需数量的喷头，并且能选择性地将喷头固定在一所需的喷洒角度位置，同时，多个喷头也可搭配相同或不同的喷洗压力，借此能提升清洗速度、效率以及清洗效果。

附图说明

图1是本发明多喷头装置的第一实施例的一前视图，说明两喷头与结合立板的其中一种组装方式；

图2是该第一实施例的结合立板的一前视图；

图3是该第一实施例的结合立板的一侧视图；

图4是该第一实施例的两喷头的一前视图；

图5是沿图1中的5－5线所截取的剖视图；

图6是图1的一局部放大图；

图7是该第一实施例的一前视图，说明两喷头与结合立板的另一种组装方式；

图8是图7的一局部放大图；

图9是本发明多喷头装置的第二实施例的结合立板的一前视图；

图10是该第二实施例的一前视图，说明结合立板供两个喷头组装；

图11是该第二实施例的一前视图，说明结合立板供两个喷头组装；

图12是该第二实施例的三个喷头的一前视图；

图13是该第二实施例的一前视图，说明结合立板供三个喷头组装；

图14是图13的一局部放大图；

图15是该第二实施例的一前视图，说明结合立板供三个喷头组装；

图16是图15的一局部放大图；

图17是该第二实施例的一前视图，说明结合立板供两个喷头组装；及

图18是该第二实施例的一前视图，说明结合立板供两个喷头组装。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。

参阅图1，是本发明多喷头装置的第一实施例，多喷头装置200主要是应用在半导体晶圆的制程中，用以清洗一例如为晶圆的基板1。多喷头装置200包含一结合总成2，及至少两个喷头3、3’。

参阅图1及图2，结合总成2包括一结合立板21，该结合立板21平行于一直立方向z，该结合立板21包含有多个相间隔排列的结合点，所述结合点沿该直立方向z共平面。每一个喷头3、3’可选择性地结合在所述结合点中的两个结合点上，且每一个喷头3、3’可拆卸地结合于该两结合点。具体而言，每一个喷头3、3’包括多个相间隔排列的锁固点，所述锁固点的其中两个锁固点与该两结合点位置对齐。该结合总成2还包括多个锁固件22，每一个锁固件22通过对应的该结合点以锁固于与该结合点位置对齐的该锁固点。借此，使得每一个喷头3、3’能固定在结合立板21上并定位在一所需的喷洒角度位置。

依照半导体晶圆制程中的基板1尺寸不同，该结合总成2能选择性地组装结合所需数量的喷头3、3’，并且能选择性地将喷头3、3’固定在一所需的喷洒角度位置。又，喷头3、3’也可搭配相同或不同的喷洗压力。借此，能提升多喷头装置200的清洗速度、效率以及清洗效果。

以下将针对多喷头装置200的具体构造及使用方式进行详细说明:

参阅图1、图2及图3，该结合立板21呈长形且其长向沿一垂直于该直立方向z的水平方向x延伸，该结合立板21包含两个相互平行的立面210、210’、一上端211，及一相反于上端211的下端212，所述结合点中的一部分邻近上端211而另一部分邻近下端212。

本实施例的每一个结合点为一贯穿结合立板21的立面210、210’的穿孔。该结合立板21界定一平行于该直立方向z的中线l，所述结合点具有两个第一上结合点213、两个第二上结合点214、两个第一下结合点215，及两个第二下结合点216。该两第一、第二上结合点213、214沿该水平方向x相间隔排列且邻近该上端211，该两第一、第二上结合点213、214分别位于该中线l相反侧，且该两第二上结合点214分别间隔位于该两第一上结合点213外侧。该两第一、第二下结合点215、216沿该水平方向x相间隔排列且邻近该下端212，该两第一、第二下结合点215、216分别位于该中线l相反侧，且该两第二下结合点216分别间隔位于该两第一下结合点215外侧。

进一步地，该结合立板21界定位于该中线l同一侧有一连接该第一上结合点213与该第二下结合点216的第一斜线l1，及一连接该第二上结合点214与该第一下结合点215的第二斜线l2，该第一、第二斜线l1、l2相交且两者之间夹一钝角a1。其中，该第一直线l1具有一第一长度d1，而该第二斜线l2具有一第二长度d2。

更具体而言，每一个第一下结合点215与该中线l之间的一垂直距离d1小于每一个第一上结合点213与该中线l之间的一垂直距离s1，每一个第二下结合点216与该中线l之间的一垂直距离d2大于每一个第二上结合点214与该中线l之间的一垂直距离s2。

参阅图1、图2及图4，两喷头3、3’的结构相同，各喷头3、3’用以对基板1喷洒清洗液4，以清洗或去除基板1表面所残留的如化学药剂的残留物。各喷头3、3’包括一用以抵靠于立面210(如图3所示)的表面31，本实施例的每一个锁固点为一形成于表面31的螺孔。所述锁固点具有两个沿该水平方向x相间隔排列的上锁固点32、32’，及两个沿该水平方向x相间隔排列且分别位于该两上锁固点32、32’下方的下锁固点33、33’。在本实施例中，两个喷头3、3’的两上锁固点32及两下锁固点33位在相邻近的一侧，而两上锁固点32’及两下锁固点33’位在相远离的一侧。

各喷头3、3’界定有一连接在其中一对角位置的该上锁固点32与该下锁固点33’的第一对角线c1，该第一对角线c1具有一第一长度e1，该第一长度e1等于该第一长度d1。又，各喷头3、3’界定有一连接在另一对角位置的该上锁固点32’与该下锁固点33的第二对角线c2，该第一、第二对角线c1、c2分别呈倾斜状且两者之间夹一直角a2。该第二对角线c2具有一第二长度e2，该第二长度e2等于该第二长度d2。

每一个喷头3、3’可选择性地将位在其中一对角位置的该上锁固点32与该下锁固点33’分别对齐位于该中线l同一侧的该第一上结合点213与该第二下结合点216，或是每一个喷头3、3’可选择性地将位在另一对角位置的该上锁固点32’与该下锁固点33分别对齐位于该中线l同一侧的该第二上结合点214与该第一下结合点215。借此，每一个喷头3、3’可依照需求选择前述两种组装方式的其中一种组装于结合立板21。

参阅图1、图2、图4及图5，每一个喷头3、3’与结合立板21之间的其中一种组装结合方式如下：首先，将该喷头3的表面31抵靠于结合立板21的立面210，由于该第一、第二斜线l1、l2两者所夹的钝角a1角度大于该第一、第二对角线c1、c2两者所夹的直角a2角度，使得该喷头3尚未组装前该第一对角线c1的斜率大于该第一斜线l1的斜率，因此，该喷头3需旋转一适当角度后该上锁固点32与该下锁固点33’才能分别对齐位于该中线l同一侧的该第一上结合点213与该第二下结合点216。随后，将一例如为螺丝的锁固件22穿设于该第一上结合点213并锁固于与该第一上结合点213位置对齐的该上锁固点32，并将另一个锁固件22穿设于该第二下结合点216并锁固于与该第二下结合点216位置对齐的该下锁固点33’，即可将该喷头3锁固于该结合立板21。依照前述组装方式即可将该喷头3’组装固定于该中线l另一侧的该第一上结合点213与该第二下结合点216。

参阅图1及图6，当两喷头3、3’组装固定于结合立板21后，每一个喷头3、3’定位在一如图1所示的第一倾斜位置。此时，各喷头3、3’所定义的一轴线a、a’分别与基板1的一板体11倾斜，两喷头3、3’呈向外张开状且底端相互远离。由于每一个喷头3、3’的轴线a、a’的倾斜角度会影响清洗液4的喷洒角度，因此，借由两喷头3、3’所喷出的清洗液4的喷洒角度不同，能有效地增加清洗面积及喷幅。当两喷头3、3’所喷洒出的清洗液4在清洗基板1的板体11表面的一呈凹凸起伏状且不平的线路图案12时，借由两喷头3、3’所喷出的清洗液4的喷洒角度不同的设计方式，能形成无死角的喷洗效果，借此，能有效地去除线路图案12上例如为化学药剂的残留物13。又，两喷头3、3’也可搭配相同或不同的喷洗压力。通过两喷头3、3’的设计方式，能提升清洗基板1的速度、效率以及清洗效果。需说明的是，图6所绘的线路图案12及残留物13是示意图，以便于能看清楚其相关位置。

参阅图2、图4、图7及图8，每一个喷头3、3’与结合立板21之间的另一种组装结合方式如下：首先，将该喷头3的表面31抵靠于结合立板21的立面210(如图5所示)，由于该第一、第二斜线l1、l2两者所夹的钝角a1角度大于该第一、第二对角线c1、c2两者所夹的直角a2角度，使得该喷头3尚未组装前该第二对角线c2的斜率大于该第二斜线l2的斜率，因此，该喷头3需旋转一适当角度后该上锁固点32’与该下锁固点33才能分别对齐位于该中线l同一侧的该第二上结合点214与该第一下结合点215。随后，将一锁固件22穿设于该第二上结合点214并锁固于与该第二上结合点214位置对齐的该上锁固点32’，并将另一个锁固件22穿设于该第一下结合点215并锁固于与该第一下结合点215位置对齐的该下锁固点33，即可将该喷头3锁固于该结合立板21。依照前述组装方式即可将该喷头3’组装固定于该中线l另一侧的该第二上结合点214与该第一下结合点215。

当两喷头3、3’组装固定于结合立板21后，每一个喷头3、3’定位在一如图7所示的第二倾斜位置。此时，各喷头3、3’所定义的一轴线a、a’分别与基板1的板体11倾斜，两喷头3、3’呈向内收合状且底端相互靠近，借此，使得两喷头3、3’能以不同的喷洒角度清洗基板1表面的线路图案12。

需说明的是，结合总成2通过结合立板21及锁固件22将两喷头3、3’结合组装在同一立面210的方式，使得两喷头3、3’能紧凑地相邻在一起，借此，能缩小多喷头装置200沿水平方向x上的长度，以降低多喷头装置200的体积及其所占据的空间。再者，通过结合立板21的第一、第二上结合点213、214及第一、第二下结合点215、216的排列布设方式、喷头3、3’的上锁固点32、32’及下锁固点33、33’的排列布设方式，以及搭配两者相互配合的组装方式，使得喷头3、3’能够选择性地固定在第一倾斜位置或第二倾斜位置，借此，能增添多喷头装置200在使用上的弹性及其所能应用的场合。

参阅图9，是本发明多喷头装置的第二实施例，多喷头装置200的整体结构大致与第一实施例相同，不同处在于结合立板21’。

参阅图10及图11，本实施例的结合立板21’可适用于供两个喷头3、3’组装或者是供三个喷头组装，其中，图10所示两个喷头3、3’组装于结合立板21’的方式与第一实施例的图1所公开的组装方式相同，而图11所示两个喷头3、3’组装于结合立板21’的方式与第一实施例的图7所公开的组装方式相同，因此，在此不重复赘述。

参阅图9，在本实施例中，结合立板21’的所述结合点还具有两个沿该水平方向x相间隔排列且邻近该上端211的第三上结合点217，及两个沿该水平方向x相间隔排列且邻近该下端212的第三下结合点218。该两第三上结合点217分别间隔位于该两第二上结合点214外侧，且每一个第三上结合点217沿该直立方向z上的高度低于每一个第二上结合点214沿该直立方向z上的高度。该两第三下结合点218分别间隔位于该两第二下结合点216外侧。

进一步地，结合立板21’界定位于该中线l同一侧有一连接该第二上结合点214与该第三下结合点218的第三斜线l3，及一连接该第二上结合点214与该第三上结合点217的第四斜线l4。该第三斜线l3具有一第三长度d3，该第三斜线l3平行于该第一斜线l1，而该第四斜线l4具有一第四长度d4。

参阅图9、图12及图13，多喷头装置200包含三个喷头，三个喷头的结构相同。为了便于说明，将所述喷头分别区分为一中间喷头3”，及两个外侧喷头3、3’。中间喷头3”的两个上锁固点32、32’分别用以对齐于结合立板21’的两个第一上结合点213，借此，中间喷头3”所定义的一轴线a”会垂直于基板1。每一个外侧喷头3、3’的该第一对角线c1的该第一长度e1等于该第三长度d3。又，每一个外侧喷头3、3’界定有一连接在两个上锁固点32、32’中心的连接线c3，该连接线c3具有一第三长度e3，该第三长度e3等于该第四长度d4。

每一个外侧喷头3、3’可选择性地将位在其中一对角位置的该上锁固点32与该下锁固点33’分别对齐位于该中线l同一侧的该第二上结合点214与该第三下结合点218，或是将该两上锁固点32、32’分别对齐位于该中线l同一侧的该第二上结合点214与该第三上结合点217。借此，每一个外侧喷头3、3’可依照需求选择前述两种组装方式的其中一种组装于结合立板21’。

参阅图9、图12及图13，每一个外侧喷头3、3’与结合立板21’之间的其中一种组装结合方式如下：首先，将该外侧喷头3的表面31抵靠于结合立板21的立面210(如图5所示)，由于该第三斜线l3平行于该第一斜线l1，使得该外侧喷头3尚未组装前该第一对角线c1的斜率大于该第三斜线l3的斜率，因此，该外侧喷头3需旋转一适当角度后该上锁固点32与该下锁固点33’才能分别对齐位于该中线l同一侧的该第二上结合点214与该第三下结合点218。随后，进行锁固件22的锁固后，即可将该外侧喷头3组装固定于该结合立板21’。依照前述组装方式即可将该外侧喷头3’组装固定于该中线l另一侧的该第二上结合点214与该第三下结合点218。

参阅图13及图14，当三个喷头组装完成后，中间喷头3”位在一直立位置，而两外侧喷头3、3’分别位在第一倾斜位置，借此，使得中间喷头3”及两外侧喷头3、3’能以不同的喷洒角度清洗基板1表面的线路图案12。

参阅图9、图12及图15，每一个外侧喷头3、3’与结合立板21’之间的另一种组装结合方式如下：首先，将该外侧喷头3的表面31抵靠于结合立板21的立面210(如图5所示)，由于该第三上结合点217沿该直立方向z上的高度低于该第二上结合点214沿该直立方向z上的高度，因此，该外侧喷头3需旋转一适当角度后该两上锁固点32、32’才能分别对齐位于该中线l同一侧的该第二上结合点214与该第三上结合点217。随后，进行锁固件22的锁固后，即可将该外侧喷头3组装固定于该结合立板21’。依照前述组装方式即可将该外侧喷头3’组装固定于该中线l另一侧的该第二上结合点214与该第三上结合点217。

参阅图15及图16，当三个喷头组装完成后，中间喷头3”位在直立位置，而两外侧喷头3、3’分别位在第二倾斜位置，借此，使得中间喷头3”及两外侧喷头3、3’能以不同的喷洒角度清洗基板1表面的线路图案12。

参阅图17，图17为本实施例的另一实施态样，结合立板21’可适用于供一个外侧喷头3及中间喷头3”组装。

参阅图18，图18为本实施例的另一实施态样，结合立板21’可适用于供一个外侧喷头3’及中间喷头3”组装。

借由本实施例的结合立板21’设计，能选择性地组装结合所需数量的喷头，借此，能进一步地增加使上用的弹性。

归纳上述，借由两实施例的结合总成2的结合立板21、21’设计，使得使用者可依照喷头数量的多寡来选择适当的结合立板21、21’使用。例如喷头的使用数量只需两个时，可选择搭配第一实施例的结合立板21来使用，借以降低多喷头装置200的体积及其所占据的空间。例如喷头的使用数量为三个时，则可选择搭配第二实施例的结合立板21’来使用。再者，为了能够清洗各种基板1上的各种不同形式的线路图案12，借由结合总成2的设计，使得使用者能够依照欲清洗的基板1的线路图案12的形式，选择性地组装结合所需数量的喷头，并且选择性地将喷头固定在一所需的喷洒角度位置，借由多个喷头所喷出的清洗液4的喷洒角度不同，能有效地增加清洗面积及喷幅，并能形成无死角的喷洗效果。又，多个喷头也可搭配相同或不同的喷洗压力。借此，能有效地去除线路图案12上例如为化学药剂的残留物13，并且能有效提升清洗速度、效率以及清洗效果，确实能达到本发明所诉求的目的。