干燥装置的制作方法

文档序号:11267594阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本申请公开一种用于干燥含有液体成分的试料的干燥装置。干燥装置(1)包括:具有第一开口部(111)及搬入开口部(112)的加热槽(11);具有第二开口部(121)及搬出开口部(122)的冷却槽(12);调整加热槽(11)及冷却槽(12)的内部气氛的调整部(13);被配设在加热槽(11)与冷却槽(12)之间,开闭第一开口部(111)及第二开口部(121)的开闭结构体(14);以及从加热槽(11)向冷却槽(12)搬送试料的搬送部(18)。据此,既能实现高干燥效率,又能实现装置的小型化。

技术研发人员:吉崎正广
受保护的技术使用者:爱斯佩克株式会社
技术研发日:2016.12.20
技术公布日:2017.09.26
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