微流体装置、生化检测系统及方法与流程

技术特征：

技术总结
本申请公开一种微流体装置、生化检测系统及方法，其中生化检测系统，包括一探针卡及一微流体装置。探针卡具有多个探针及一开口，探针用于接触一基板上至少一芯片的多个电极垫，以检测该至少一芯片的至少一生化感测器的电性信号。微流体装置卡合于开口内且具有一腔室，腔室用于接收一待测溶液，并使得待测溶液与生化感测器接触。

技术研发人员：黄睿政;姜慧如;刘佩雯;李维;苏哿暐
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2017.03.09
技术公布日：2018.09.25