技术特征:
技术总结
本发明公开一种非牛顿流体材料的涂布方法及其涂布系统。非牛顿流体材料的涂布方法包括下列步骤。取得非牛顿流体材料的剪应率与剪切黏度的关系式,其由式(1)表示:其中η为剪切黏度,η0为零剪切黏度,为剪应率,n为幂次因子。设定涂布装置与基板之间的起始间隙与欲形成的非牛顿流体材料的膜的厚度。使用涂布装置以涂布速度为非等速度的方式将非牛顿流体材料涂布于基板上。依据非牛顿流体材料的涂布速度及厚度通过关系式(1)而得到非牛顿流体材料的剪切黏度。依剪切黏度、涂布速度与厚度调整涂布装置与基板之间的间隙。通过在涂布过程中调整涂布装置与基板之间的间隙,可提高膜厚均匀性而不易发生破膜的问题,且可提高涂布制作工艺的裕度。
技术研发人员:陈育翔;张德宜
受保护的技术使用者:财团法人工业技术研究院
技术研发日:2017.04.26
技术公布日:2018.07.10