流体控制器的制作方法

本发明涉及一种流体控制器，尤其涉及一种适于在连续性地重复开闭的用途中使用的流体控制器。

背景技术：

作为一种在连续性地重复开闭的用途中使用的流体控制器，已知一种被称为直接接触式隔膜阀(专利文献1)。

这样的流体控制器采取气动式，常用于半导体制造装置，要求能够应对高温且具有高耐久性。另外，其一般会在多条管线中使用，这种情况下，还要求消除每条气体管线的流量(Cv值)之间的差。

在专利文献1的流体控制器中，为了确保其耐久性(连续开闭动作次数)，还提出了将伴随着开闭的阀杆上下移动量(隔膜的变形量)设定为所需值。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开2007-64333号公报

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

根据各气体管线中的阀的位置和阀的个体差异，其各自的流量(Cv值)都稍微有所不同。尤其在半导体制造装置的情况下，靠近腔室使用的阀根据其Cv值，会直接影响所制造的半导体。然而，若配合气体管线等相应地逐个调整阀的Cv值，则可能会出现调整至比能够确保阀的耐久性的阀杆上下移动量更大的移动量的个体。由此，隔膜(和阀)的耐久性可能会降低。即，在确保耐久性的基础上，存在能够进行流量调整的情况。对于Cv值的调整量，在用一个调整结构进行调整的情况下，无法进行如下确认：调整时的阀杆的上下移动量变更了何种程度、调整的结果是否比能够确保耐久性的阀杆的上下移动量更大。

本发明的目的在于，提供一种在确保耐久性的基础上，能够进行高精度的流量调整的流体控制器。

(二)技术方案

本发明的流体控制器的特征在于，具备：设置有流体通路的主体、设置于主体上方的阀盖、设置于阀盖上方的壳体、开闭流体通路的阀体、通过上升或下降使阀体向打开或关闭方向移动的阀杆、以及使阀杆上下移动的致动器，在所述流体控制器中，具备：用于设定伴随着开闭的阀杆的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元、以及能够对伴随着开闭的阀杆的上下移动量在上限值以下的范围内进行调整的阀杆上下移动量微调整单元。

由于能够通过阀杆上下移动量上限值设定单元来设定阀杆上下移动量的上限值，因此阀杆上下移动量通过微调整，能够使得无法将移动量设定为能确保耐久性的上限以上。这里，通过调整阀杆上下移动量来决定Cv值。这里，关于Cv值，需要进行微调整，该微调整是通过由阀杆上下移动量微调整单元使其在预先设定的阀杆上下移动量的上限值以下的范围内变化来进行的。通过该微调整，能够将Cv值高精度地设定为目标值。Cv值随着使用而变化，在需要调整Cv值时，也通过阀杆上下移动量微调整单元来对阀杆上下移动量进行微调整。因此，在调整Cv值时，阀杆上下移动量不会设定得超过用于确保耐久性的阀杆上下移动量上限值。由此，能够在确保耐久性的基础上，进行高精度的流量调整。

通过阀杆上下移动量上限值设定单元所设定的阀杆上下移动量的上限值，在流体控制器出厂时被设定，在使用状态下，维持在出厂时的设定值。通过阀杆上下移动量微调整单元所调整的阀杆上下移动量在流体控制器出厂时被临时设定，在使用状态下，由使用者来将其设定为合理值。

流体控制器采用例如金属隔膜阀，但并不限定于此。另外，流体控制器可以是正常时处于关闭状态，也可以是正常时处于打开状态。

优选地，阀杆上下移动量微调整单元具有移动体，通过使手柄旋转而使所述移动体上下移动，阀杆上下移动量的上限值通过变更阀杆与壳体的距离而获得，阀杆上下移动量的微调整通过和阀杆成为一体的致动器驱动轴与移动体的距离的变化而获得。

通过这样设置，能够容易地进行基于阀杆上下移动量微调整单元的调整。

优选地，与阀杆成为一体的致动器驱动轴的上端部插入设置于移动体的轴插入孔，在位于轴插入孔下方的致动器驱动轴部分设置有凸缘部，致动器驱动轴的凸缘部的上面与移动体的下面的距离设为阀杆上下移动量，阀杆上下移动量上限值设定单元具备：形成有外螺纹的壳体的下方突出部、设置于阀盖顶壁的内螺纹、以及锁定螺母。

若这样设置，则能够以简单的结构来获得阀杆上下移动量上限值设定单元及阀杆上下移动量微调整单元这两者。

优选地，阀杆上下移动量微调整单元具备：在内周设置有内螺纹并以能够旋转的方式支承于壳体的手柄、在外周设置有外螺纹并与手柄的内周螺合的移动体，以及防止移动体相对于壳体旋转且能够向上下方向移动的导向单元。

另外，更优选地，具备移动体固定单元，该移动体固定单元阻止移动体在阀杆上下移动量设定之后移动。

导向单元例如由设置于移动体上沿上下方向延伸的导向槽、和从径向外方面对导向槽的导向销组成，但并不限定于此。另外，移动体固定单元可通过例如使用一个或多个止动螺钉，并将止动螺钉螺合于设置在移动体上的螺纹孔中，使止动螺钉的下端与壳体的上面抵接来获得，但并不限定于此。

阀杆上下移动量微调整单元也可以通过使手柄旋转而使移动体一边与手柄一体旋转一边上下移动，但通过将手柄的旋转转换为移动体的上下移动，能够消除螺纹部松动的可能性、在波纹管等发生扭转应力的可能性，防止因螺纹部松动引起的精度降低以及因扭转应力引起的耐久性降低。

有时也为，手柄由成为手持部分的外筒体、嵌入外筒体内的内筒体、以及嵌入内筒体内的轴体组成，在壳体的内周形成有内螺纹，在内筒体形成与壳体的内螺纹螺合的外螺纹，在轴体的外周形成有螺距比壳体的内螺纹的螺距小的外螺纹，在移动体的内周形成有与轴体的外螺纹螺合的内螺纹。

若这样设置，则能够进一步高精度地进行微调整。

(三)有益效果

根据本发明的流体控制器，通过用阀杆上下移动量上限值设定单元将阀杆上下移动量设置为上限值，可确保耐久性，Cv值的微调整是通过由阀杆上下移动量微调整单元使阀杆上下移动量在上限值以下的范围内变化来进行的，因此，在确保耐久性的基础上，能够进行高精度的流量调整。

附图说明

图1是表示本发明的流体控制器的第一实施方式的纵截面图。

图2是图1中的主要部分即阀杆上下移动量微调整单元的放大纵截面图。

图3是表示通过阀杆上下移动量微调整单元使阀杆上下移动量从图2的状态发生变化后的状态的放大纵截面图。

图4是本发明的流体控制器的第二实施方式的主要部分即阀杆上下移动量微调整单元的放大纵截面图。

附图标记说明

(1)：流体控制器；(2)：主体；(2a)：流体流入通路；(2b)：流体流出通路；(2c)：凹处；(3)：阀盖；(4)：壳体；(6)：隔膜(阀体)；(8)：阀杆；(9)：致动器；(10)：上下移动量上限值设定单元；(11)：阀杆上下移动量微调整单元；(31)：驱动轴(致动器驱动轴)；(31d)：上端部；(41)：手柄；(41b)：内螺纹；(42)：移动体；(43)：导向单元；(46b)：外螺纹；(61)：阀杆上下移动量微调整单元；(62)：壳体；(62a)：内螺纹；(64)：手柄；(65)：移动体；(66)：导向单元；(71)：外筒体；(72)：内筒体；(72a)：内螺纹；(73)：轴体；(73a)：外螺纹；(77a)：内螺纹。

具体实施方式

参照以下附图对本发明的实施方式进行说明。在以下的说明中，上下是指图的上下。

图1至图3示出了本发明的流体控制器的第一实施方式。

流体控制器(1)是所谓的直接接触式金属隔膜阀，如图1所示，其具备：具有流体流入通路(2a)、流体流出通路(2b)及向上方开口的凹处(2c)的块状主体(2)；下端部与主体(2)的凹处(2c)上部螺合并向上方延伸的圆筒状阀盖(3)；设置于阀盖(3)上方的壳体(4)；设置于流体流入通路(2a)周缘的环状的合成树脂制片材(5)；按压或离开片材(5)以开闭流体流入通路(2a)的金属制隔膜(阀体)(6)；经由隔膜压塞(7)使隔膜(6)按压/离开片材(5)的阀杆(8)；收纳在壳体(4)内且使阀杆(8)上下移动的致动器(9)；对阀杆上下移动量的上限值进行设定的阀杆上下移动量上限值设定单元(10)；以及使阀杆上下移动量在上限值以下的范围内变化的阀杆上下移动量微调整单元(11)。

阀盖(3)具有顶壁(21)，该顶壁(21)在其中央部设置有使阀杆(8)以可以上下移动的方式插通的贯通孔(21a)。在贯通孔(21a)的周缘部设置有向下方突出的圆筒状的下方突出缘部(21b)。在贯通孔(21a)及下方突出缘部(21b)的内周设置有内螺纹(21c)。

壳体(4)由下壳体部(22)和上壳体部(23)组成，其中，所述上壳体部(23)的下端部与下壳体部(22)螺合。

下壳体部(22)具有底壁(24)和圆筒状的周壁(25)，其中，所述底壁(24)在其中央部设置有使阀杆(8)以可以上下移动的方式插通的贯通孔(24a)。在贯通孔(24a)的周缘部设置有向下方突出的圆筒状的下方突出部(26)。在下方突出部(26)的下部的外周形成有外螺纹(26a)，在外螺纹(26a)的上部螺合有锁定螺母(27)。外螺纹(26a)的下部与形成于阀盖(3)的顶壁(21)的内螺纹(21c)螺合。

上壳体部(23)具有圆筒状的周壁(28)和顶壁(29)。在顶壁(29)的中央部设置有贯通孔(29a)。在贯通孔(29a)的周缘部设置有向上方突出的圆筒状的上方突出部(30)。

在阀盖(3)下端面与主体(2)的凹处(2c)底面之间配置有按压接合件(12)，隔膜(6)的外周缘部被保持在按压接合件(12)与主体(2)的凹处(2c)底面之间。

隔膜(6)呈球壳状，向上凸的圆弧状为其自然状态。隔膜(6)是例如由镍合金薄板制成的，冲切为圆形，并形成使中央部向上方膨出的球壳状。隔膜(6)有时由不锈钢薄板制成，或由不锈钢薄板和镍钴合金薄板的层叠体制成。

阀杆(8)的下端附近设置有凸缘(8a)，在凸缘(8a)与阀盖(3)的顶壁(21)的外周缘部之间，配置有对阀杆(8)向下方施力的压缩螺旋弹簧(施力部件)(13)。通过压缩螺旋弹簧(13)，使流体控制器(1)在正常时(致动器(9)不工作时)保持为关闭状态。

致动器(9)具有：下端部与阀杆(8)的上端部螺合从而固定于阀杆(8)上的驱动轴(31)；外周面紧贴壳体(4)的内周面，内周面紧贴驱动轴(31)的外周面并可以滑动的上下活塞(32)(33)；以及配置于其中间的平衡板(カウンタプレート)(34)。上下活塞(32)(33)的下侧为操作气导入室(35)(36)，在驱动轴(31)上，设置有用于向操作气导入室(35)(36)输送操作气的轴向通路(31a)及径向通路(31b)(31c)。

阀杆(8)的外径大于驱动轴(31)的外径，阀杆(8)的上端面(8b)比驱动轴(31)的外径更向径向外侧伸出。阀杆(8)的尺寸(上下方向的长度等)，是以阀杆(8)的上端面(8b)与下壳体部(22)的下方突出部(26)的下面之间留有阀杆上下移动量A的方式来设定的。

当阀杆(8)向上方移动时，阀杆(8)的上端面(8b)与下壳体部(22)的下方突出部(26)的下面抵接，从而阻止阀杆(8)继续向上方移动。通过在松缓锁定螺母(27)的状态下使下壳体部(22)旋转，能够将阀杆上下移动量A、即阀杆(8)向上方的移动量的上限值设定为所需的值。通过形成有外螺纹(26a)的壳体的下方突出部(26)、设置于阀盖(3)的顶壁(21)上的内螺纹(21c)以及锁定螺母(27)，来构成对阀杆上下移动量A的上限值进行设定的阀杆上下移动量上限值设定单元(10)。

作为阀杆上下移动量A的上限值，设定为能够确保所需耐久性的值。这里，阀杆上下移动量A与流量(Cv值)之间存在相关关系，因此，为了获得所需的Cv值，需要变更阀杆上下移动量A。通过变更由阀杆上下移动量上限值设定单元(10)所得到的阀杆上下移动量A，能够调整Cv值，但在该情况下，耐久性也会相应地变化。于是，为了在不变更由阀杆上下移动量上限值设定单元(10)所得到的阀杆上下移动量A的前提下能够变更用于获得所需的Cv值的阀杆上下移动量，可使用阀杆上下移动量微调整单元(11)。

阀杆上下移动量微调整单元(11)如图2及图3所示，其具备：圆筒状的手柄(41)、伴随手柄(41)的旋转而上下移动的圆筒状的移动体(42)、防止移动体(42)相对于壳体(4)旋转且能够向上下方向移动的导向单元(43)、使手柄(41)以可以旋转的方式支承于壳体(4)上的手柄压环(44)、以及阻止移动体(42)在阀杆上下移动量设定之后移动的两个止动螺钉(45)(移动体固定单元)。

手柄(41)在下端部具有凸缘部(41a)，在手柄(41)的上部的内周形成有内螺纹(41b)。手柄(41)的下部以留有若干间隙的方式嵌在上壳体部(23)的上方突出部(30)的外周上，手柄(41)的下端被上壳体部(23)的顶壁(29)的上面所承挡。

移动体(42)由上侧的大径部(46)及内径与大径部(46)相同而外径更小的下侧的小径部(47)组成，大径部(46)的下面被上壳体部(23)的上方突出部(30)的上面所承挡。

在大径部(46)的内周设置有用于导入操作气的配管连接部(46a)。在大径部(46)的外周形成有与手柄(41)的内螺纹(41b)螺合的外螺纹(46b)。在大径部(46)设置有在上下方向上贯通的两个螺纹孔，作为移动体固定单元的止动螺钉(45)螺合于各螺纹孔中。

在小径部(47)的内周，以与配管连接部(46a)连接的方式设置有贯通孔(47a)，该贯通孔(47a)可使驱动轴(31)的上端部(31d)插入。在小径部(47)的外周设置有在上下方向上延伸的导向槽(48)。

在上壳体部(23)的上方突出部(30)，以从径向外方面对导向槽(48)的方式，设置有导向销(49)，该导向销(49)具有在与上下方向垂直的方向上延伸的轴。在导向销(49)除去前端部的外周上设置有外螺纹，并通过与设置于上壳体部(23)的上方突出部(30)的螺纹孔螺合，使导向销(49)固定于上壳体部(23)。导向销(49)的前端部嵌入导向槽(48)内，从而使移动体(42)不能相对上壳体部(23)旋转且能够向上下方向移动。这样一来，通过导向槽(48)和导向销(49)就构成了防止移动体(42)相对于壳体(4)旋转且可以向上下方向移动的导向单元(43)。

手柄压环(44)由下侧的薄壁部(50)及外径与薄壁部(50)相同而内径更小的上侧的厚壁部(51)组成。在薄壁部(50)的内周设置有内螺纹(50a)。在厚壁部(51)的上端部设置有向径向内方突出的环状突出缘部(51a)。手柄压环(44)与上壳体部(23)的周壁(28)螺合，厚壁部(51)的下面被上壳体部(23)的顶壁(29)的上面所承挡。

厚壁部(51)的环状突出缘部(51a)介由涂布有氟树脂(例如Teflon(注册商标))的垫圈(减摩部件)(52)而承挡于手柄(41)的凸缘部(41a)的上面。氟树脂镀膜垫圈(52)的摩擦系数小，因此易于使手柄(41)旋转。

在流体控制器(1)为打开状态(通过操作气加压的状态)下，手柄(41)操作会变沉重，但通过设置氟树脂镀膜垫圈(52)，其在打开状态下的操作性变得良好。此外，进行氟树脂镀膜的素材，可以是PPS等树脂，也可以是金属(SUS、铝、铁等)制的垫圈，另外，也可以使用推力轴承等减摩部件来代替垫圈(52)。还可是通过使用滚珠轴承等来降低摩擦系数的结构。

在图1及图2所示的状态下，止动螺钉(45)螺合于移动体(42)的大径部(46)的各螺纹孔中，各止动螺钉(45)的下端与上壳体部(23)的上方突出部(30)的上面抵接。因此，移动体(42)的上下移动被阻止。通过松缓各止动螺钉(45)，能够使移动体(42)上下移动。

在驱动轴(31)的上端部(31d)插入在设置于移动体(42)的小径部(47)的内周的贯通孔(47a)中的状态下，在驱动轴(31)的上端部(31d)附近，即在位于贯通孔(47a)下方的驱动轴(31)部分，设置有凸缘部(53)。由此，驱动轴(31)的凸缘部(53)的上面与移动体(42)的小径部(47)的下面之间，设定有图2中用B表示的阀杆上下移动量(与图1中用A表示的阀杆上下移动量是在不同位置以不同的值设定的阀杆上下移动量)。

当阀杆(8)向上方移动时，驱动轴(31)的凸缘部(53)的上面与移动体(42)的小径部(47)的下面抵接，从而阻止阀杆(8)继续向上方移动。在松缓两个止动螺钉(45)的状态下，通过使手柄(41)旋转，如图3所示，能够将阀杆上下移动量(阀杆(8)向上方移动量的上限值)设定为所需的值B’(例如比图2更小的值)。

这里，阀杆上下移动量B和B’的大小设定为阀杆上下移动量A的大小以下。在设定时，首先在流体控制器(1)出厂时或使用流体控制器(1)时，阀杆上下移动量A设定为，与使用条件及所需流量无关，而是能够确认作为高耐久阀的耐久性的最大值，接着，考虑使用条件及所需流量来设定阀杆上下移动量B或B’。

流体控制器(1)的使用者出于匹配每个使用气体管线的Cv值等的目的，需要调整阀杆上下移动量，这时，不变更阀杆上下移动量A，而是微调整阀杆上下移动量B或B’。由此，能够在耐久性不低于设定值的状态下，高精度地调整Cv值。为了易于微调整，移动体(42)的外螺纹(46b)及手柄(41)的内螺纹(41b)的螺纹的螺距设为例如0.5～0.75。

如上所述，用阀杆上下移动量微调整单元(11)对阀杆上下移动量B或B’的微调整，是将手柄(41)的旋转转换为移动体(42)的上下移动来进行的，因此，与通过移动体旋转来对阀杆上下移动量进行的调整的方式相比，消除了螺纹部松动的可能性、以及在波纹管等发生扭转应力的可能性，能够防止因螺纹部松动引起的精度降低以及因扭转应力引起的耐久性降低。

阀杆上下移动量上限值设定单元(10)及阀杆上下移动量微调整单元(11)并不限定于上述方式。在图4中，作为其一例，示出了阀杆上下移动量微调整单元的第二实施方式。

该阀杆上下移动量微调整单元(61)具备：固定于致动器收纳用壳体(4)顶部的筒状的调整单元收纳用壳体(以下简称为“壳体”)(62)、可旋转地支承于壳体(62)的筒状的手柄(64)、随着手柄(64)的旋转而上下移动的移动体(65)、以及防止移动体(65)相对于壳体(62)旋转且能够向上下方向移动的导向单元(66)。

壳体(62)具有与致动器收纳用壳体(4)的顶部抵接的凸缘(62c)，该凸缘(62c)的部分通过多个(例如三个)螺丝(63)，固定于致动器收纳用壳体(4)上。

手柄(64)由成为手持部分的外筒体(71)、从下侧嵌入外筒体(71)内的内筒体(72)以及从下侧嵌入内筒体(72)内的轴体(73)组成。

轴体(73)以其上端部向上方突出的方式插通于内筒体(72)，通过紧固与轴体(73)的上端部螺合的螺母(74)，将轴体(71)与内筒体(72)结合。另外，外筒体(71)与内筒体(72)是通过将止动螺钉(75)旋入设置于外筒体(71)的在径向上贯通的螺纹孔(71a)中来结合的。这样一来，通过转动手柄(64)的外筒体(71)，内筒体(72)及轴体(73)也会一体旋转。

壳体(62)的上部与外筒体(71)的下部之间设置有空间，在该空间部分中，在壳体(62)的上部外周面嵌合筒状的指示器(67)，通过螺合于壳体(62)上部的盖形螺母(68)防止其脱落。

另外，在空间部分的外筒体(71)内比盖形螺母(68)更靠上的部分中，设置有环状的止动件(69)。止动件(69)以可上下移动的方式与内筒体(72)的外周嵌合，定位在上下方向上规定的位置上，通过止动螺钉(70)固定在内筒体(72)上。止动件(69)在手柄(64)下降时与盖形螺母(68)的上面抵接，由此，流体控制器(1)完全关闭时手柄(64)的下降被限制。

在内筒体(72)的下部外周形成有外螺纹(72a)，在轴体(73)的下部外周也形成有外螺纹(73a)。在壳体(62)的上部内周形成有与内筒体(72)的外螺纹(72a)相对应的内螺纹(62a)，壳体(62)与内筒体(72)以可相对旋转的方式螺合。

移动体(65)由形成有内螺纹(77a)的螺丝部件(77)、及承受压缩螺旋弹簧(施力部件)(76)的弹簧承受部件(78)组成。螺丝部件(77)和弹簧承受部件(78)为单独的部件。

移动体(65)的螺丝部件(77)为有底圆筒状，在其内周形成有与手柄(64)的轴体(73)的外螺纹(73a)螺合的内螺纹(77a)。螺丝部件(77)在其上端部插入内筒体(72)的下端部的状态下，与轴体(73)的外螺纹(73a)螺合。

手柄(64)的轴体(73)的外螺纹(73a)与移动体(65)的螺丝部件(77)的内螺纹(77a)(第一螺合)的螺距设定为比壳体(62)的内螺纹(62a)与内筒体(72)的外螺纹(72a)(第二螺合)的螺距要小。第一螺合及第二螺合的螺合朝向以在旋转手柄(64)使其下降时会使移动体(65)下降的方式来设定。

弹簧承受部件(78)以可上下移动的方式插入设置于壳体(62)下端部的向下开口的凹处(62b)中。弹簧承受部件(78)的下部在比壳体(62)的凸缘(62c)的下面更靠下方的位置，插入设置于致动器收纳用壳体(4)的顶壁上的贯通孔(4a)内。压缩螺旋弹簧(76)配置于设置在弹簧承受部件(78)的上端部的凸缘部(78a)与致动器收纳用壳体(4)的顶壁的上面之间，向上对弹簧承受部件(78)施力。若螺丝部件(77)下降，则弹簧承受部件(78)被其按压而与螺丝部件(77)一体下降，若螺丝部件(77)上升，则通过压缩螺旋弹簧(76)的弹力，弹簧承受部件(78)与螺丝部件(77)一体上升。

在弹簧承受部件(78)中，设置有使驱动轴(31)的上端部(31d)插入其中的轴插入孔(78b)。驱动轴(31)设置成与第一实施方式相同的形状，在驱动轴(31)的凸缘部(53)的上面与移动体(65)的弹簧承受部件(78)的下面之间，设定了与图2中B所表示的阀杆上下移动量对应的阀杆上下移动量C。通过螺丝部件(77)及弹簧承受部件(78)(即移动体(65))的下降，使阀杆上下移动量C变小，通过螺丝部件(77)及弹簧承受部件(78)(即移动体(65))的上升，使上下移动量C变大。

在致动器收纳用壳体(4)设置有配管连接部(4b)，使驱动轴(31)的轴向通路(31a)与配管连接部(4b)连通。

在螺丝部件(77)的外周，设置有在上下方向上延伸的导向槽(77b)，在壳体(62)，以从径向外方面对导向槽(77b)的方式，设置有导向销(79)，该导向销(79)具有在与上下方向垂直的方向上延伸的轴。在导向销(79)除去前端部的外周上设置有外螺纹，并通过与设置于壳体(62)上的螺纹孔螺合，使导向销(79)固定于壳体(62)。导向销(79)的前端部嵌入导向槽(77b)内，从而使移动体(65)的螺丝部件(77)不能相对壳体(62)旋转且能够在上下方向上移动。这样一来，通过导向槽(77b)和导向销(79)就构成了防止移动体(65)的螺丝部件(77)相对于壳体(62)旋转且能够向上下方向移动的导向单元(66)。

根据第二实施方式的阀杆上下移动量微调整单元(61)，通过使手柄(64)的外筒体(71)向下降方向旋转，内筒体(72)及轴体(73)会一边与外筒体(71)一体旋转一边下降。与轴体(73)螺合的移动体(65)的螺丝部件(77)，在由导向单元(66)阻止旋转的状态下下降。这时，通过将第一螺合(手柄(64)的轴体(73)的外螺纹(73a)与移动体(65)的螺丝部件(77)的内螺纹(77a)的螺合)的螺距设置得比第二螺合(壳体(62)的内螺纹(62a)与内筒体(72)的外螺纹(72a)的螺合)的螺距小，从而移动体(65)的螺丝部件(77)只会以螺距之差下降。因此，比起第一实施方式，能够以进一步的高精度进行微调整。

此外，在上述内容中，作为流体控制器(1)，例示了气动式的直接接触式金属隔膜阀，但上述阀杆上下移动量上限值设定单元(10)及阀杆上下移动量微调整单元(11)的适用对象并不限于此，其能够适用于需要调整阀杆上下移动量的各种阀等。

另外，在上述内容中，以阀杆(8)与下壳体部(22)的下方突出部(26)之间的长度来设定阀杆上下移动量上限值设定单元(10)，阀杆上下移动量微调整单元(11)是通过手柄(41)来进行调整的，但也可以反过来进行。

工业实用性

根据本发明，在适于在连续重复开闭的用途中使用的流体控制器中，由于能够进行高精度的流量调整，因此能够有助于流体控制器的性能提高。