洁净室用工作台的制作方法

本实用新型涉及洁净室设备技术领域，尤其是一种洁净室用工作台。

背景技术：

洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间，也成为无尘室。洁净室最主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产制造。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定，也就是说所谓无尘并非100％没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于亚微米级器件结构而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在亚微米级器件结构产品的生产上，无尘是必然的要求。

随着产品加工的精密化和对产品质量的要求提高，对于制作这类产品的洁净环境也比以前有了更加严格的管控和标准。对于要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就需要使用单向气流，并且通常使用自上而下的单项气流。在一间没有任何障碍物的空房间，单向气流可以用较低的风速而很快将污染物清除，但在洁净室，大部分使用的工作台或者保管架都是采用平板型的台面和支架组装而成，这些工作台及保管架都会使单向气流变成紊流，产生扬尘，这些灰尘颗粒一旦沉降到加工器件的敏感部位就会导致致命的缺陷。也有少数洁净室采用若干的条形部件平行排列、用连接部件固定形成台面的方式来减少紊流，但只采用这种措施的效果并不明显。

现有的洁净室工作台对空气的净化效果往往不够理想，洁净室工作台内容易产生紊流，影响洁净室的操作环境，且常用洁净室工作台在使用中，操作人员的手臂必然会通过手孔进出，这必然会将外部的污染空气带入洁净区域中。所以现在需要一种能有效克服这些缺陷的洁净室工作台，提供高洁净度的空气操作环境，以满足用户需求。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种洁净室用工作台。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种洁净室用工作台，包括：箱体、设置于所述箱体下方的台架、设置于所述箱体顶部的第一风机箱、设置于所述箱体内与所述第一风机箱底部连通的臭氧灭菌箱、设置于所述箱体内与所述臭氧灭菌箱底部连通的第一静压箱、设置于所述箱体内与所述第一静压箱底部连通的洁净箱、设置于所述洁净箱下方的第二静压箱、设置于所述箱体内与所述第二静压箱底部连通的第二风机箱、第一回风管和第二回风管；

所述洁净箱内顶部设置布风板，所述布风板上设置有布风孔，所述洁净箱内还设置有LED灯，所述洁净箱内底部设置有面板，所述面板外周与所述洁净箱底部侧壁之间设置有环形出风通道，所述环形出风通道上设置有层，所述环形出风通道下方与所述第二静压箱连通。

优选的是，所述第一静压箱内由上至下依次设置有换热盘管、加热盘管、制冷器和高效过滤器。

优选的是，所述换热盘管包括一进风口和一出风口。

优选的是，所述第一回风管连通所述第二风机箱和所述换热盘管的进风口。

优选的是，所述第二回风管连通所述臭氧灭菌箱和所述换热盘管的出风口，所述第二回风管内还设置有单向阀门。

优选的是，所述洁净箱前端顶部设置有风幕机，所述风幕机下方设置有玻璃门。

优选的是，所述台架上设置有置物板，所述置物板上设置有工具箱。

优选的是，所述第一风机箱内设置有第一风机，所述第一风机箱顶部设置有粗效过滤器，所述第二风机箱内设置有第二风机。

优选的是，所述臭氧灭菌箱内设置有臭氧发生器。

优选的是，所述台架底部设置有可伸缩支脚，所述可伸缩支脚侧部设置有调节旋钮。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过设置第一静压箱、环形出风通道和第二静压箱，能有效减少洁净箱内的紊流，使洁净空气均匀而又稳定地对洁净箱内的物品进行洁净处理，保证洁净箱内的空气环境；通过设置粗效过滤器、臭氧灭菌箱、高效过滤器能极大提高空气洁净程度，保证洁净箱内的空气质量；通过设置风幕机在洁净箱与外部空气中间形成空气屏障，能防止污染物进入洁净箱；通过设置回风，能有效节约能量，减少成本，本实用新型的洁净室用工作台具有广阔的市场前景。

附图说明

图1为本实用新型的洁净室用工作台的结构示意图；

图2为本实用新型的风幕机与玻璃门的装配关系示意图；

图3为本实用新型的环形出风通道的结构示意图。

附图标记说明：

1—箱体；2—台架；3—第一风机箱；4—臭氧灭菌箱；5—第一静压箱；6—洁净箱；7—第二静压箱；8—第二风机箱；9—第一回风管；10—第二回风管；20—置物板；21—工具箱；22—可伸缩支脚；23—调节旋钮；30—第一风机；31—粗效过滤器；40—臭氧发生器；50—换热盘管；51—加热盘管；52—制冷器；53—高效过滤器；60—布风板；61—LED灯；62—工作台面；63—环形出风通道；64—除尘滤网；65—风幕机；66—玻璃门；80—第二风机；100—单向阀门；500—进风口；501—出风口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。

如图1-3所示，本实施例的一种洁净室用工作台，包括：箱体1、设置于箱体1下方的台架2、设置于箱体1顶部的第一风机箱3、设置于箱体1内与第一风机箱3底部连通的臭氧灭菌箱4、设置于箱体1内与臭氧灭菌箱4底部连通的第一静压箱5、设置于箱体1内与第一静压箱5底部连通的洁净箱6、设置于洁净箱6下方的第二静压箱7、设置于箱体1内与第二静压箱7底部连通的第二风机箱8、第一回风管9和第二回风管10。

第一风机箱3内设置有第一风机30，第一风机箱3顶部设置有粗效过滤器31。第二风机箱8内设置有第二风机80。

臭氧灭菌箱4内设置有臭氧发生器40，臭氧发生器40产生臭氧，用于对空气进行灭菌消毒。

第一静压箱5内由上至下依次设置有换热盘管50、加热盘管51、制冷器52和高效过滤器53。换热盘管50用于实现由臭氧灭菌箱4排出的空气与第二风机箱8底部的回风的热交换。加热盘管51用于对经臭氧灭菌箱4灭菌后的空气进行加热，以促进空气中残余的臭氧分解，降低残余臭氧浓度。高效过滤器53用于对空气进行进一步净化，吸除空气中的粉尘和残余臭氧。制冷器52用于对经加热的空气再进行降温，以调节空气温度至合适值。加热盘管51和制冷器52同时还用于对进入洁净箱6内的空气的温度进行控制，以满足操作人员需求。利用臭氧对空气灭菌消毒，再通过加热和高效过滤器53清除残余臭氧，不会产生有害的副产品，能保证空气的质量。

洁净箱6内顶部设置布风板60，布风板60上设置有布风孔，洁净箱6内还设置有LED灯61，洁净箱6内底部设置有工作台面62，工作台面62外周与洁净箱6底部侧壁之间设置有环形出风通道63，环形出风通道63上设置有除尘滤网64，环形出风通道63下方与第二静压箱7连通。由第一静压箱5排出的空气经布风板60导入到洁净箱6内，布风板60上密集设置的布风孔使空气气流更加均匀和稳定地向下流动，保证洁净箱6内工作台面62的操作环境。空气由顶部进入，再由工作台面62外周与洁净箱6底部侧壁之间的环形出风通道63排出，使洁净箱6内洁净空气流动更加充分，以对工作台面62上需要清洁的工件进行充分的空气清刷，以带走工件表面的粉尘，能提高洁净箱6内空气的洁净程度。环形出风通道63上设置的除尘滤网64能有效吸收清刷过工件后的空气中的粉尘，避免粉尘再次污染洁净箱6内的工件。

换热盘管50包括一进风口500和一出风口501，其为盘旋的管状结构，管直接具有空隙，管内与管外的空气进行热量交换。第一回风管9连通第二风机箱8和换热盘管50的进风口500。第二回风管10连通臭氧灭菌箱4和换热盘管50的出风口501，第二回风管10内还设置有单向阀门100，单向阀门100使第二回风管10内的气体只能从换热盘管50的出风口501流向臭氧灭菌箱4。第二风机箱8排出的空气虽然为洁净箱6排出的尾气，但相比较于外部空气，其洁净度显然要更高，且其温度也会较高，其中具有可以重复利用的热量。利用第一回风管9将第二风机箱8排出的空气导入换热盘管50的进风口500，管内的空气与管外的空气进行热量交换，管内的空气再由第二回风管10导入到臭氧灭菌箱4，以重复利用，能有效节约能量，还能提高空气洁净度。

洁净箱6前端顶部设置有风幕机65，风幕机65下方设置有玻璃门66。风幕机65向下吹风，形成风帘，以在洁净箱6与外部空气中间形成空气屏障，在玻璃门66打开时能防止外部的粉尘进入洁净箱6内，以提高洁净箱6内的空气洁净程度。

台架2上设置有置物板20，置物板20上设置有工具箱21，方便操作人员工作。台架2底部设置有可伸缩支脚22，可伸缩支脚22侧部设置有调节旋钮23，调节旋钮23用于控制可伸缩支脚22，以调节该洁净室用工作台的高度，以方便使用。

工作时，在第一风机30和第二风机80作用下，空气由第一风机箱3顶部进入，经粗效过滤器31初步过滤净化，吸除空气中的粉尘，空气再进入臭氧灭菌箱4，经臭氧灭菌处理后向下流经换热盘管50，与管内的空气进行热量交换；再经加热盘管51加热以消除残余臭氧，再经制冷器52调节至合适的温度后经高效过滤器53深度净化；然后由布风板60导入洁净箱6，在洁净箱6内形成高度洁净的空气环境，一部分空气由洁净箱6前端的玻璃门66处排出，另一部分空气再由环形出风通道63排至第二静压箱7，依次经第一回风管9、换热盘管50和第二回风管10后回流至臭氧灭菌箱4。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。