具双处理结构的挥发性有机废气处理改良系统的制作方法

本实用新型是有关于一种具双处理结构的挥发性有机废气处理改良系统，尤指一种能将经过吸脱附结构所处理的浓缩废气再通过该废气输出管路来输送至该浓缩废气管路内，而适用于半导体产业、光电产业或化工相关产业的厂房的废气处理。

背景技术：

随着环保意识抬头，为了降低对空气的污染，政府开始对于烟囱的排放订定较为严格的标准，尤其是对半导体相关产业所产生的挥发性有机废气强制要求其削减率应大于90％、或总排放量小于0.6kg/hr。

而目前业界在处理其挥发性有机废气，大都是以一沸石转轮来进行吸脱附，并将浓缩挥发性有机污染物质再经焚化炉燃烧，之后再将经过燃烧的干净气体排放至大气中。

然目前经过沸石转轮的吸脱附的气体所达到的效果大约是95％-97％之间，因为废气都要经过沸石转轮来进行吸附，所以废气的流量很大容易造成转轮的吸附效果降低，而使经过烟囱所排放的气体的排放标准无法提升。

因此，本创作人有鉴于上述缺点，期能提出一种具有节能减碳的环保效能的具双处理结构的挥发性有机废气处理改良系统，令用户可轻易操作组装，乃潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本创作人所欲研创的创作动机。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的，在于提供一种具双处理结构的挥发性有机废气处理改良系统，是包括有一废气进气管路、一沸石转轮、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一焚化炉、一浓缩废气管路及一烟囱的组合设计，其主要在于该净气排放管路上是组设有一吸脱附结构，而该吸脱附结构是设有一废气输出管路及一热源管路，且该热源管路是连接至该焚化炉，另该废气输出管路是连接至该浓缩废气管路，由此，让由该净气排放管路所输出的气体能再经过该吸脱附结构来进行浓缩废气的处理，并再将经过吸脱附结构所处理的浓缩废气再通过该废气输出管路来输送至该浓缩废气管路内，使得废气在经过双重结构处理下，再经由该浓缩废气管路来输送至该焚化炉内进行燃烧裂解均匀，其处理效率能达到97％甚至99％以上，并具有节能减碳的环保效能，进而增加整体的实用性。

本实用新型的另一目的，在于提供一种具双处理结构的挥发性有机废气处理改良系统，并通过该吸脱附结构内是设有一转轮，该转轮是为转塔式、水平式或筒状式等其中任一种，而该转轮是设有吸附区、冷却区及脱附区，且该净气排放管路是连接至该转轮的吸附区，另该脱附区一端是连接该废气输出管路，而该脱附区另一端是连接该热源管路，使该脱附区能通过该焚化炉的热能来进行脱附，并于该热源管路上是能增设一辅助加热器来具有提升该热源管路内的热风的效能，让处理效率能提高，进而增加整体的使用性。

为达上述目的，本实用新型为一种具双处理结构的挥发性有机废气处理改良系统，是包括有一废气进气管路、一沸石转轮、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一焚化炉、一浓缩废气管路及一烟囱，其中该沸石转轮是设有吸附区、冷却区及脱附区，而该废气进气管路是连接至该沸石转轮的吸附区，且该净气排放管路是设于该沸石转轮的吸附区与该烟囱之间，且该冷却气进气管路是连接该沸石转轮的冷却区，另该浓缩废气管路是设于该沸石转轮的脱附区与该焚化炉之间，其特征在于：该净气排放管路上是组设有一吸脱附结构，而该吸脱附结构是设有一废气输出管路及一热源管路，且该热源管路是连接至该焚化炉，另该废气输出管路是连接至该浓缩废气管路。

其中该焚化炉进一步为蓄热式焚化炉或是直燃炉的其中任一种，而该热源管路上进一步设有一辅助加热器。

其中该吸脱附结构内进一步设有一转轮，该转轮为转塔式、水平式或筒状式的其中任一种，而该转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，且该净气排放管路连接至该转轮的吸附区，另该脱附区一端连接该废气输出管路，而该脱附区另一端连接该热源管路。

其中该转轮内进一步设有吸附材，而该吸附材进一步为活性碳、沸石、硅胶、活性氧化铝、分子筛、氧化锰、氢氧化钙、石墨烯或中空纤维的其中任一种。

其中该吸脱附结构内进一步设有二吸附材桶，而该二吸附材桶分别作为吸附用及脱附用，且当该吸附材桶设为吸附用时设有进气管路、废气出气管路及干净气体管路，另当该吸附材桶设为脱附用时设有进气管路及脱附气体管路。

其中该吸脱附结构的吸附材桶内进一步设有吸附材，而该吸附材进一步为活性碳、沸石、硅胶、活性氧化铝、分子筛、氧化锰、氢氧化钙、石墨烯或中空纤维的其中任一种。

其中该吸脱附结构内进一步设有多个吸附材桶，而该多个吸附材桶分别作为吸附用、脱附用及冷却用，当该吸附材桶设为吸附用时设有进气管路、废气出气管路及干净气体管路，且当该吸附材桶设为脱附用时设有进气管路及脱附气体管路，另当该吸附材桶设为冷却用时设有进气管路及冷却气体管路。

其中该吸脱附结构的吸附材桶内进一步各设有吸附材，而该吸附材进一步为活性碳、沸石、硅胶、活性氧化铝、分子筛、氢氧化钙、石墨烯或中空纤维的其中任一种。

其中该吸附材桶进一步设为中空长圆柱体形、中空长方体形或中空球体形。

本实用新型的有益效果是，其可由该净气排放管路所输出的气体能再经过该吸脱附结构来进行浓缩废气的处理，并再将经过吸脱附结构所处理的浓缩废气再通过该废气输出管路来输送至该浓缩废气管路内，使得废气在经过双重结构处理下，再经由该浓缩废气管路来输送至该焚化炉内进行燃烧裂解均匀，其处理效率能达到97％甚至99％以上，并具有节能减碳的环保效能，进而增加整体的实用性。

附图说明

为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，惟所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本实用新型，其中：

图1为本实用新型主要系统的结构示意图。

图2为本实用新型主要系统的吸脱附结构为转轮的结构示意图。

图3为本实用新型主要系统的吸脱附结构具有两个吸附材桶的结构示意图。

图4为本实用新型主要系统的吸脱附结构具有多个吸附材桶的结构示意图。

图5为本实用新型主要系统的吸脱附结构具有多个吸附材桶的另一结构示意图。

具体实施方式

请参阅图1至图5，是为本实用新型实施例的示意图，而本实用新型的具双处理结构的挥发性有机废气处理改良系统的最佳实施方式是运用于半导体产业、光电产业或化工相关产业的厂房的废气处理，使得废气在经过双重结构处理下，其处理效率能达到97％甚至99％以上，并具有节能减碳的环保效能，使具有其实用性。

而本实用新型的具双处理结构的挥发性有机废气处理改良系统的主要系统是包括有一废气进气管路10、一沸石转轮20、一净气排放管路30、一冷却气进气管路40、一焚化炉50、一浓缩废气管路60及一烟囱70(如图1及图2所示)，其中该沸石转轮20亦可为使用其他吸附材质的浓缩转轮，而该沸石转轮20是设有吸附区21、冷却区22及脱附区23，以能进行废气的吸附及将废气脱附成浓缩废气，另该焚化炉50可以是蓄热式焚化炉(RTO)或是直燃炉(TO)等其中任一种。

而该废气进气管路10是连接该沸石转轮20的吸附区21，以使该沸石转轮20的吸附区21能吸附该废气进气管路10内的废气，而该沸石转轮20的吸附区21的另一端则连有净气排放管路30，该净气排放管路30是再连接至该烟囱70，以将经过该沸石转轮20的吸附区21所吸附过的低于标准值的气体(该气体因浓度降低而达到排放标准)能经由该净气排放管路30来输送至该烟囱70进行排放，其中该废气进气管路10连接至该沸石转轮20的吸附区21之间是可以通过一风机(图未示)，以将该废气进气管路10中的废气来抽送至该沸石转轮20的吸附区21中，而该沸石转轮20的吸附区21与该烟囱70之间的净气排放管路30亦可以设有一风机(图未示)，在通过该抽风机来将该净气排放管路30内的气体抽送至烟囱70进行排放。

另该冷却气进气管路40是连接该沸石转轮20的冷却区22，而该冷却气进气管路40内是输送着新鲜空气，通过该新鲜空气来提供该沸石转轮20的冷却区22降温用，且该冷却气进气管路40是再连接至一加热器80，使该冷却气进气管路40内的新鲜空气经过该沸石转轮20的冷却区22后能输送至加热器80中进行加热，而该加热器80再连接至该沸石转轮20的脱附区23的一端，以能将该加热器80所燃烧的热气来当该沸石转轮20的脱附区23的热源，使该沸石转轮20的脱附区23内的废气经过该热气后能脱附成浓缩废气，且该沸石转轮20的脱附区23的另一端是再通过该浓缩废气管路60来连接至焚化炉50中，以将经过该沸石转轮20的脱附区23的所脱附的浓缩废气能经由该浓缩废气管路60来输送至焚化炉50中来进行燃烧裂解均匀。

而本实用新型的主要结构在于该净气排放管路30上是组设有一吸脱附结构100，而该吸脱附结构100是设有一废气输出管路110及一热源管路120，且该热源管路120是连接至该焚化炉50，另该废气输出管路110是连接至该浓缩废气管路60(如图1及图2所示)，由此，以让该净气排放管路30所输出的气体能再经过设于该净气排放管路30上的吸脱附结构100来进行废气的吸附处理及脱附处理，并将经过该吸脱附结构100所处理的浓缩废气能再通过该废气输出管路110来输送至该浓缩废气管路60，另将干净气体再通过净气排放管路30输送至烟囱70排放，使得废气在经过双重结构处理下，再经由该浓缩废气管路60来输送至该焚化炉50内进行燃烧裂解均匀，其处理效率能达到97％甚至99％以上，并且具有节能减碳的环保效能。

而上述的吸脱附结构100是设有一转轮130，该转轮130是为转塔式(图未示)、水平式或筒状式等其中任一种，其中该转轮130是设有吸附区1301、冷却区1302及脱附区1303(如图2所示)，且该净气排放管路30是连接至该转轮130的吸附区1301，另该转轮130的脱附区1303一端是连接该废气输出管路110，而该脱附区1303另一端是连接该热源管路120，使该转轮130的脱附区1303能通过该热源管路120所连接的焚化炉50的热能来进行脱附。另该热源管路120上是设有一辅助加热器121，当该焚化炉50所传递的热风不足以供该转轮130的脱附区1303进行脱附时，可通过该辅助加热器121来提升提升该热源管路120内的热风，使能达到提供该转轮130的脱附区1303进行脱附的温度。其中该转轮130内是设有吸附材(图未示)，而该吸附材是为活性碳、沸石、硅胶、活性氧化铝、分子筛、氧化锰、氢氧化钙、石墨烯或中空纤维等其中任一种。

而上述的热源管路120除了用来连接该焚化炉50与该吸脱附结构100外，该热源管路120是设有一分岐管路140，以用来连接至该烟囱70处，当该焚化炉50所传递的热风的风力太大时，可通过该分岐管路140来将部份的热风的风力输送至该烟囱70来进行排放。

而本实用新型的另一实施态样与主要实施系统的设计相同也是设有一废气进气管路10、一沸石转轮20、一净气排放管路30、一冷却气进气管路40、一焚化炉50、一浓缩废气管路60及一烟囱70等主要设施(参主要实施系统的内容)，其主要是在于该净气排放管路30上是组设有一吸脱附结构200(如图3所示)，而该吸脱附结构200是设有一废气输出管路210及一热源管路220，且该热源管路220是连接至该焚化炉50，另该废气输出管路210是连接至该浓缩废气管路60。

而该净气排放管路30上所设的吸脱附结构200内是设有二吸附材桶2000，而该二吸附材桶2000是分别作为吸附用及脱附用(例如每间隔一小时切换，以将原本吸附用的吸附材桶2000切换成脱附用的吸附材桶2000，而原本脱附用的吸附材桶2000则切换为吸附用的吸附材桶2000)，且该吸附材桶2000是设计为中空长圆柱体形、中空长方体形或中空球体形等形体，另当该吸附材桶2000设为吸附用时是设有进气管路2011、废气出气管路2012及干净气体管路2013，而当该吸附材桶2000设为脱附用时是设为进气管路2021及脱附气体管路2022。

再者，该吸脱附结构200的吸附材桶2000内是中空装设有吸附材2100，而该吸附材2100是为活性碳、沸石、硅胶、活性氧化铝、分子筛、氧化锰、氢氧化钙、石墨烯或中空纤维等其中任一种，并通过该吸脱附结构200内所设用来吸附用的吸附材桶2000来将该净气排放管路30所输出的气体进行吸附，再将经过用来吸附用的吸附材桶2000所吸附过的气体能经由该吸附材桶2000为吸附用时的干净气体管路2013来输送至该净气排放管路30内，再输送至该烟囱70进行排放，另经由用来吸附用的吸附材桶2000所吸附后的高浓缩的废气能通过该吸附材桶2000为吸附用时的废气出气管路2012来输送至该吸附材桶2000为脱附用时的进气管路2021，而该吸附材桶2000为脱附用的进气管路2021是连接该热源管路220，使该吸附材桶2000为脱附用时能通过该热源管路220所连接的焚化炉50的热能来进行脱附。另该热源管路220上是设有一辅助加热器221，当该焚化炉50所传递的热风不足以供该吸附材桶2000为脱附用时，可通过该辅助加热器221来提升提升该热源管路220内的热风，使能达到提供该吸附材桶2000为脱附用时所需进行脱附的温度。

而上述的热源管路220除了用来连接该焚化炉50与该吸脱附结构200外，该热源管路220是设有一分岐管路230，以用来连接至该烟囱70处，当该焚化炉50所传递的热风的风力太大时，可通过该分岐管路230来将部份的热风的风力输送至该烟囱70来进行排放。

另该经过脱附用的吸附材桶2000所脱附的高浓度的废气以该吸附材桶2000为脱附用时的脱附气体管路2022来输送至该废气输出管路210，而该废气输出管路210再输送至该浓缩废气管路60，使得废气在经过双重结构处理下，再经由该浓缩废气管路60来输送至该焚化炉50内进行燃烧裂解均匀，使其处理效率能达到97％甚至99％以上，并具有节能减碳的环保效能。另本实施例的焚化炉50可以是蓄热式焚化炉(RTO)或是直燃炉(TO)等其中任一种。

而本实用新型的再一实施态样与主要实施系统的设计相同也是设有一废气进气管路10、一沸石转轮20、一净气排放管路30、一冷却气进气管路40、一焚化炉50、一浓缩废气管路60及一烟囱70等主要设施(参主要实施系统的内容)，其主要是在于该净气排放管路30上是组设有一吸脱附结构300(如图4所示)，而该吸脱附结构300是设有一废气输出管路310及一热源管路320，且该热源管路320是连接至该焚化炉50，另该废气输出管路310是连接至该浓缩废气管路60。

而该净气排放管路30上所设的吸脱附结构300内设有多个吸附材桶3000，而该多个吸附材桶3000是分别作为吸附用、脱附用及冷却用(例如每间隔一小时将3种作用的吸附材桶3000进行切换，以将原本吸附用的吸附材桶300切换成脱附用的吸附材桶3000，而原本脱附用的吸附材桶3000则切换为吸附用的吸附材桶3000，或是将其中吸附用的吸附材桶3000切换成冷却用的吸附材桶3000)，且该吸附材桶3000是设为中空长圆柱体形、中空长方体形或中空球体形等形体，而当该吸附材桶3000设为吸附用时是设有进气管路3011、废气出气管路3012及干净气体管路3013，且当该吸附材桶3000设为脱附用时是设有进气管路3021及脱附气体管路3022，另当该吸附材桶3000设为冷却用时是设有进气管路3031及冷却气体管路3032。

因此，当该吸附材桶3000为吸附用时的进气管路3011是与该净气排放管路30相连接，而该吸附材桶3000为吸附用时的废气出气管路3012是与该吸附材桶3000为脱附用时的进气管路3021连接，另该吸附材桶3000为吸附用时的干净气体管路3013是与该净气排放管路30相连接，而该吸附材桶3000为脱附用时的脱附气体管路3022是与该废气输出管路310相连接，另该吸附材桶3000为冷却用时的进气管路3031是供连接外气(或是净气排放管路30)，以将该做为冷却用的吸附材桶3000进行冷却，再通过该吸附材桶3000为冷却用时的冷却气体管路3032来连接至该干净气体管路3013。

再者，该吸脱附结构300的吸附材桶3000内是中空装设有吸附材3100，而该吸附材3100是为活性碳、沸石、硅胶、活性氧化铝、分子筛、氧化锰、氢氧化钙石墨烯或中空纤维等其中任一种，并通过该吸脱附结构300内所设用来吸附用的吸附材桶3000来将该净气排放管路30所输出的气体进行吸附，再将经过用来吸附用的吸附材桶3000所吸附过的气体能经由该吸附材桶3000为吸附用时的干净气体管路3013来输送至该净气排放管路30内，再输送至该烟囱70进行排放。

另经由用来吸附用的吸附材桶3000所吸附后的高浓缩的废气能通过该吸附材桶3000为吸附用时的废气出气管路3012来输送至该吸附材桶3000为脱附用时的进气管路3021，而该吸附材桶3000为脱附用的进气管路3021是连接该热源管路320，使该吸附材桶3000为脱附用时能通过该热源管路320所连接的焚化炉50的热能来进行脱附。另该热源管路320上是设有一辅助加热器321，当该焚化炉50所传递的热风不足以供该吸附材桶3000为脱附用时，可通过该辅助加热器321来提升提升该热源管路320内的热风，使能达到提供该吸附材桶3000为脱附用时所需进行脱附的温度。

而上述的热源管路320除了用来连接该焚化炉50与该吸脱附结构300外，该热源管路320是设有一分岐管路330，以用来连接至该烟囱70处，当该焚化炉50所传递的热风的风力太大时，可通过该分岐管路330来将部份的热风的风力输送至该烟囱70来进行排放。

另该吸附材桶3000为冷却用时的进气管路3031是供连接外气(如图5所示)，或是连接该干净气体管路3013(如图4所示)，以将该做为冷却用的吸附材桶3000进行冷却，再通过该吸附材桶3000为冷却用时的冷却气体管路3032来连接至该干净气体管路3013，以将该吸附材桶3000为冷却用时的冷却气体管路3032内的气体排出。另该经过脱附用的吸附材桶3000所脱附的高浓度的废气以该吸附材桶3000为脱附用时的脱附气体管路3022来输送至该废气输出管路310，而该废气输出管路310再输送至该浓缩废气管路60，使得废气在经过双重结构处理下，再经由该浓缩废气管路60来输送至该焚化炉50内进行燃烧裂解均匀，使其处理效率能达到97％甚至99％以上，并具有节能减碳的环保效能。另本实施例的焚化炉可以是蓄热式焚化炉(RTO)或是直燃炉(TO)等其中任一种。

通过以上详细说明，可使熟知本项技术者明了本实用新型的确可达成前述目的，实已符合专利法的规定，故提出专利申请。

惟以上所述的，仅为本实用新型的较佳实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围；故，凡依本实用新型申请专利范围及创作说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型权利要求涵盖的范围内。