扩散尾气冷却装置及扩散尾气冷却系统的制作方法

本实用新型涉及扩散尾气处理技术领域，特别是涉及一种扩散尾气冷却装置及扩散尾气冷却系统。

背景技术：

现有的扩散尾气瓶，冷凝效果较差，并且，尾气冷却后仍含有大量偏磷酸，偏磷酸进入真空泵或抽风管后，会造成腐蚀，并且会堵塞管路，使管路难以清理。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种扩散尾气冷却装置及扩散尾气冷却系统，以解决现有技术中存在的扩散尾气冷却效果差，易腐蚀和堵塞设备的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供的一种扩散尾气冷却装置，包括瓶体、挡板、进气口、出气口及连通管；

所述挡板设置在所述瓶体内，所述挡板将所述瓶体分割成2个独立不连通的瓶区，分别为第一瓶区和第二瓶区；

所述进气口设置在所述瓶体上，且所述进气口位于所述第一瓶区内；

所述出气口设置在所述瓶体上，且所述出气口位于所述第二瓶区内；

所述连通管设置在所述挡板上，所述连通管的一端位于所述第一瓶区内，所述连通管的另一端位于所述第二瓶区内。

进一步地，所述瓶体上设有排废口；

所述排废口位于所述第二瓶区内。

该技术方案的技术效果在于：本装置使用一段时间后，可通过排废口将废液排出，结构加单，使用方便。

进一步地，所述排废口上设有密封盖。

该技术方案的技术效果在于：通过密封盖封闭排废口，使得瓶体为一个密封的整体，能够使本装置正常工作。

进一步地，所述进气口连接有进气管。

该技术方案的技术效果在于：通过进气管将扩散尾气导入第一瓶区，进而使得扩散尾气得以冷却和净化，使用方便。

进一步地，所述进气管上设有进气控制阀。

该技术方案的技术效果在于：进气控制阀的设置，使得进气通断和流量得以调控。

进一步地，所述出气口连接有出气管。

该技术方案的技术效果在于：通过出气管将经过处理后的尾气由第二瓶区导出，使用方便。

进一步地，所述出气管上设有出气控制阀。

该技术方案的技术效果在于：出气控制阀的设置，使得出气通断和流量得以调控。

进一步地，所述瓶体上设有排液口；

所述排液口位于所述第一瓶区内。

该技术方案的技术效果在于：排液口的设置，使得被由第二瓶区压入到第一瓶区内的水得以排出。

进一步地，所述排液口连接有排液管。

该技术方案的技术效果在于：通过排液管将被压入第一瓶区内的水导出，使用方便。

本实用新型还提供一种扩散尾气冷却系统，包括真空泵及如前述的扩散尾气冷却装置；

所述真空泵通过尾气管路与所述出气口连接。

本实用新型提供的扩散尾气冷却装置及扩散尾气冷却系统，挡板将瓶体分割成独立不连通第一瓶区和第二瓶区，扩散尾气由进气口进入第一瓶区，再由连通管进入第二瓶区，尾气经过第二瓶区内的水处理，尾气被冷却，同时，尾气中的偏磷酸被吸收，避免了后续设备被损坏，解决了现有的扩散尾气瓶对扩散尾气的冷却效果差，处理后的尾气仍易腐蚀和堵塞设备的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例一提供的一种扩散尾气冷却装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一提供的一种扩散尾气冷却装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例二提供的一种扩散尾气冷却装置的结构示意图。

附图标记：

100-瓶体； 200-挡板； 300-进气口；

400-出气口； 500-连通管； 600-排废口；

700-排液口； 101-第一瓶区； 102-第二瓶区；

301-进气管； 302-进气控制阀； 401-出气管；

402-出气控制阀； 701-排液管。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

在本实施例的可选方案中，如图1所示，本实施例提供的一种扩散尾气冷却装置，包括瓶体100、挡板200、进气口300、出气口400及连通管500；挡板200设置在瓶体100内，挡板200将瓶体100分割成2个独立不连通的瓶区，分别为第一瓶区101和第二瓶区102；进气口300设置在瓶体100上，且进气口300位于第一瓶区101内；出气口400设置在瓶体100上，且出气口400位于第二瓶区102内；连通管500设置在挡板200上，连通管500的一端位于第一瓶区101内，连通管500的另一端位于第二瓶区102内。

在本实施例中，尾气由进气口300进入第一瓶区101，再由连通管500进入第二瓶区102，尾气经过第二瓶区102内的水处理，尾气中的偏磷酸会溶于水，并且，尾气也被冷却；经过本装置处理后，尾气不含偏磷酸且被冷却。

经过本装置处理后，尾气中的偏磷酸被溶解，防止了真空泵与尾气管路被腐蚀，同时，尾气可较大程度地降温，防止了高温气体损害尾气管路与真空泵，避免了设备堵塞。

使用时，在第二瓶区102内加入一定量的水，水的液位高度高于连通管500的另一端，即连通管500的另一端位于水面以下。

正常工作情况下，真空泵通过抽风管路抽气，第一瓶区101内没有水，扩散尾气经过第二瓶区102内水处理后排出；当出现扩散炉内气压低于抽风管道内气压的异常情况时，如图2所示，第二瓶区102内的水会由连通管500压入第一瓶区101内，气体经进气口300进入扩散炉内；恢复正常工作后，第一瓶区101内的部分水又会被重新压入第二瓶区102内。

在尾气处理过程中，机台发生异常(漏气)时，第一瓶区101和第二瓶区102的设置，可防止瓶体100内的废液被压入扩散管及扩散炉内。

在本实施例的可选方案中，瓶体100上设有排废口600；排废口600位于第二瓶区102内。

在本实施例中，排废口600与出气口400位于挡板200的同一侧；正常使用时，排废口600处于关闭状态。

在本实施例中，排废口600位于瓶体100的顶部或底部，用于排出第二瓶区102内的废液；同时，排废口600还可用于加液，可通过排废口600向第二瓶区102内添加水。

在本实施例中，本装置使用一段时间后，可通过排废口600将废液排出，结构加单，使用方便。

在本实施例的可选方案中，排废口600上设有密封盖。

在本实施例中，正常使用时，密封盖盖合在排废口600上，使得排废口600处于关闭状态。

在本实施例中，通过密封盖封闭排废口600，使得瓶体100为一个密封的整体，能够使本装置正常工作。

在本实施例的可选方案中，进气口300连接有进气管301。

在本实施例中，进气管301的一端位于瓶体100内；进气管301的另一端位于瓶体100外，用于与扩散管连接。

在本实施例中，通过进气管301将扩散尾气导入第一瓶区101，进而使得扩散尾气得以冷却和净化，使用方便。

在本实施例的可选方案中，进气管301上还设置有进气控制阀302。

在本实施例中，进气控制阀302的设置，使得进气通断和流量得以调控。

在本实施例的可选方案中，出气口400连接有出气管401。

在本实施例中，出气管401的一端位于瓶体100内；出气管401的另一端位于瓶体100外，用于与尾气管路连接。

在本实施例中，通过出气管401将经过处理后的尾气由第二瓶区102导出，使用方便。

在本实施例的可选方案中，出气管401上还设置有出气控制阀402。

在本实施例中，出气控制阀402的设置，使得出气通断和流量得以调控。

在本实施例的可选方案中，瓶体100上设有排液口700；排液口700位于第一瓶区101内。

在本实施例中，排液口700位于瓶体100的底部或侧壁上，用于排出被压入第一瓶区101内的水。

在本实施例中，排液口700的设置，使得被由第二瓶区102压入到第一瓶区101内的水得以排出。

在本实施例的可选方案中，排液口700连接有排液管701。

在本实施例中，排液管701的一端连接在排液口700上。

在本实施例中，排液管701上也设有排液控制阀，用于控制排液与否、排液快慢。

在本实施例中，通过排液管701将被压入第一瓶区101内的水导出，使用方便。

关于本装置的尺寸，优选地，瓶体100的直径为20-25cm，瓶体100的壁厚为0.3-0.4cm，连通管500的直径为1.5-2cm，进气管301和出气管401的直径均为1.5-2cm，排废口600的直径为3-4cm。

实施例二：

在本实施例的可选方案中，区别于实施例一，如图3所示，瓶体100上不设有排液口700。

在本实施例中，连通管500延伸至第一瓶区101的底部，被压入第一瓶区101的水，在装置恢复正常工作后，第一瓶区101内的水被重新压入第二瓶区102内。

实施例三：

在本实施例的可选方案中，本实施例提供的一种扩散尾气冷却系统，包括真空泵(图中未示出)及如实施例一或实施例二所述的扩散尾气冷却装置；真空泵通过尾气管路与出气口400连接。

在本实施例中，扩散炉的扩散管与进气管301连通，尾气管路与出气管401连通；通过控制中心，根据实际使用需求，控制进气量、出气量及排液量，实现对扩散尾气的智能化冷却和净化。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。